纳米复合金刚石线锯切割液的制作方法

文档序号:12408108阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种纳米复合金刚石线锯切割液,以重量百分比计,其制备原料包括:极压剂1~5%,润滑剂10~60%,稳定剂2~10%,消泡剂0.1~2%,防腐剂0.1~5%,纳米添加剂0.05~2%,余量为去离子水;极压剂为硼酸酯类极压剂;消泡剂为有机硅烷消泡剂;的纳米添加剂为水溶性纳米添加剂。本发明纳米复合金刚石线锯切割液具有良好的润滑、冷却、清洗性能;所用原料无毒或低毒、环保,符合绿色环保的生产要求;加入了纳米添加剂,该添加剂能够完全溶解到切割液中,在硅锭切割中能在硅锭表面与金刚石线锯之间形成保护层,起到减小摩擦、防止污片或划伤硅片,提高成品率。

技术研发人员:阳辉;张晟卯;辛玲;杨正宏;申君来;孙毅
受保护的技术使用者:河南易成新能源股份有限公司
文档号码:201611192729
技术研发日:2016.12.21
技术公布日:2017.05.31

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