一种阶梯型微纳米尺度槽道模型及其制备方法与流程

文档序号:14852868发布日期:2018-07-04 01:04阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供了一种阶梯型微纳米尺度槽道模型及其制备方法,该阶梯型微纳米尺度槽道模型包括基底(9),基底(9)的上表面内含有依次连通的微槽道发展段(3)、纳米槽道(4)和微槽道测量段(5),基底(9)还设有通孔状的入口(1)和出口(7),纳米槽道(4)的底面到基底(9)的上表面的距离小于微槽道发展段(3)的底面到基底(9)的上表面的距离,纳米槽道(4)的底面到基底(9)的上表面的距离小于微槽道测量段(5)的底面到基底(9)的上表面的距离。该阶梯型微纳米尺度槽道模型结构简单,通过两次刻蚀的刻蚀方法可以实现纳米级槽道的制备,同时可以通过微槽道测量段内的流动可视化测量得到纳米槽道内部的流动速度。

技术研发人员:郝鹏飞;何枫;高叶
受保护的技术使用者:中国石油天然气股份有限公司
技术研发日:2016.12.26
技术公布日:2018.07.03
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