用于惯性传感器的微机械弹簧的制作方法

文档序号:15284438发布日期:2018-08-28 23:55阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种用于惯性传感器的微机械弹簧(10),具有:‑第一和第二弹簧元件(1、2),所述弹簧元件相对彼此平行地布置并且锚固在所述惯性传感器的锚固元件(20)上;和‑布置在所述两个弹簧元件(1、2)之间的、锚固在所述锚固元件(20)上的第三弹簧元件(4),该第三弹簧元件在两个外侧上具有限定数量的节状元件(5a…5n),所述节状元件构造为随着相对于锚固元件(20)的距离的增大而相对于所述弹簧元件(1、2)限定地增大距离。

技术研发人员:S·卡尔达诺比莱
受保护的技术使用者:罗伯特·博世有限公司
技术研发日:2017.01.11
技术公布日:2018.08.28
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