一种MEMS芯片数控加工仪的制作方法

文档序号:16097427发布日期:2018-11-27 23:45阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种MEMS芯片数控加工仪,包括仪器本体(1),所述仪器本体(1)的底面固定连接有基座(2),其特征在于:所述仪器本体(1)的内部安装有夹紧机构(3),所述基座(2)的右侧面安装有储藏机构(5),所述基座(3)的内部安装有移动机构(4),所述夹紧机构(3)包括第一旋转把手(301)、正反螺纹杆(303)、套环(304)、第一滑杆(302)、第一连接杆(307)、第一通孔(308)、施压把手(309)、第一压力弹簧(306)、吸压板(305)、衬套(310)、第一通槽(312)和第一轴承(311),所述仪器本体(1)的左侧面设有第一旋转把手(301),所述第一旋转把手(301)右侧面的底部固定连接有正反螺纹杆(303),所述正反螺纹杆(303)远离第一旋转把手(301)贯穿仪器本体(1)并延伸至仪器本体(1)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种MEMS芯片数控加工仪,其特征在于:所述仪器本体(1)的内侧壁固定镶嵌有第一轴承(311),所述正反螺纹杆(303)的外表面与第一轴承(311)的内圈固定连接,所述仪器本体(1)的内壁固定连接有第一滑杆(302),所述第一滑杆(302)的外表面套设有两个套环(304),所述套环(304)的内圈与第一滑杆(302)的外表面相接触,所述套环(304)的底面开设有螺纹,所述仪器本体(1)的上表面开设有第一通槽(312),两个所述套环(304)的上表面均固定连接有第一连接杆(307),所述第一连接杆(307)的顶端贯穿第一通槽(312)并延伸至仪器本体(1)的上方,所述第一连接杆(307)的内部开设有第一通孔(308),两个所述第一连接杆(307)相互远离的一侧面固定设有施压把手(309)。

3.根据权利要求2所述的一种MEMS芯片数控加工仪,其特征在于:所述施压把手(309)的一端贯穿第一通孔(308)并延伸至第一连接杆(307)的外表面,两个所述施压把手(308)相互靠近的一端均固定连接有吸压板(305),且两个吸压板(305)相互远离的一侧面均固定连接有压力弹簧(306),所述压力弹簧(306)远离吸压板(305)的一端与第一连接杆(307)的外表面固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种MEMS芯片数控加工仪,其特征在于:所述移动机构(4)包括基座(2)、放置板(401)、双轴电机(402)、第一滑槽(403)、第一滑块(404)、挤压板(405)、螺环(406)、缓冲垫(407)、第二连接杆(408)、软质垫(409)、固定块(410)、第二滑槽(411)、滑轮(412)、第一螺纹杆(413)、支撑腿(414)、压缩弹簧(415)、脚轮(416)、底脚(417)和第二通孔(418),所述基座(2)内顶壁的中部固定连接有放置板(401),所述放置板(401)的底面固定连接有双轴电机(402),所述双轴电机(402)的输出端固定连接有第一螺纹杆(413),所述第一螺纹杆(413)的外表面套设有螺环(406),且螺环(406)的内圈与第一螺纹杆(413)的外表面螺纹连接,所述螺环(406)的上表面固定连接有第一滑块(404),所述基座(2)的内顶壁开设有两个相对称的第一滑槽(403),且第一滑块(404)远离螺环(406)的一端卡接在第第一滑槽(403)的内部,所述螺环(406)的底面固定连接有第二连接杆(408),所述第二连接杆(408)的一端通过销轴固定铰接有滑轮(412),且两个第二连接杆(408)相互远离的一端设有固定块(410),所述固定块(410)的内部开设有第二滑槽(411),且第二连接杆(408)的一端贯穿固定块(410)并延伸至第二滑槽(411)的内部,所述滑轮(412)的外表面与第二滑槽(411)的内部相接触,所述固定块(410)的底面固定连接有挤压板(405),所述挤压板(405)的底面固定连接有两个相对称的支撑腿(414),两个所述支撑腿(414)的底面通过销轴固定铰接有脚轮(416),所述基座(2)的底面开设有与脚轮(416)相适配的第二通孔(418),所述挤压板(405)中部的底面固定连接有压缩弹簧(415),所述基座(2)的底面固定连接有两个相对称的底脚(417)。

5.根据权利要求4所述的一种MEMS芯片数控加工仪,其特征在于:所述储藏机构(5)包括固定框(501)、第三通孔(502)、第二螺纹杆(503)、第三滑槽(504)、第二滑块(505)、螺纹管(506)、第二轴承(507)、第三连接杆(508)、滚轮(509)、三角斜块(510)、第三滑块(511)、第三滑槽(512)、强力弹簧(513)、固定柱(514)、卡接杆(515)、连接板(516)、固定杆(517)、第四通孔(518)、凹槽(519)、空腔(520)、放置框(521)和第二通槽(522),所述固定框(501)的内部开设有空腔(520),所述固定框(501)上表面设有固定杆(517),且固定杆(517)的底面贯穿固定框(501)并延伸至固定框(501)的内部,所述固定杆(517)右侧面的上部固定连接有放置框(521),且固定杆(517)右侧面的下方开设有凹槽(519),所述放置框(521)的上表面开设有第二通槽(522),所述固定框(501)上表面的右侧开设有第三通孔(502),所述固定框(501)上表面的右侧设有第二螺纹杆(503),所述固定框(501)内底壁的右侧固定连接有第二轴承(507),且第二螺纹杆(503)的底端贯穿第三通孔(502)并延伸至固定框(501)的内部,所述第二螺纹杆(503)的底端与第二轴承(507)的内圈固定连接,所述第二螺纹杆(503)的外表面套设有螺纹管(506),且螺纹管(506)的内圈与第二螺纹杆(503)的外表面螺纹连接,所述螺纹管(506)的左侧面固定连接有第三连接杆(508),所述第三连接杆(508)远离螺纹管(506)的一端通过销轴固定铰接有滚轮(509),所述固定框(501)的内顶壁固定框(501)的内底壁均开设有第三滑槽(512),两个所述第三滑槽(512)的内部均卡接有第三滑块(511),且两个第三滑块(511)相互靠近的一端均固定连接有连接板(516),所述连接板(516)的右侧面固定连接有三角斜块(510),且三角斜块(510)的右侧面与滚轮(509)的外表面相接触,所述连接板(516)的左侧面固定连接有两个相对称的强力弹簧(513),所述强力弹簧(513)远离连接板(516)的一端固定连接有固定柱(514),所述固定柱(514)的上表面与固定柱(514)的底面均与固定框(501)的内顶壁和固定框(501)的内底壁固定连接,所述固定柱(514)的中部开设有第四通孔(518),所述连接板(516)左侧面的中部固定连接有卡接杆(515),所述卡接杆(515)远离连接板(516)的一端卡接在凹槽(519)的内部。

6.根据权利要求4所述的一种MEMS芯片数控加工仪,其特征在于:所述第一旋转把手(301)的外表面设有衬套(310),且衬套(310)的内圈与第一旋转把手(301)的外表面固定连接,两个所述底脚(417)的底面均固定连接有软质垫(409),且软质垫(409)的底面开设有防滑纹。

7.根据权利要求6所述的一种MEMS芯片数控加工仪,其特征在于:所述固定框(501)的内侧壁开设有第三滑槽(504),所述第三滑槽(504)的内部卡接有第二滑块(505),且第二滑块(505)远离第三滑槽(504)的一端与螺纹管(506)的右侧面固定连接,所述基座(2)的内底壁固定连接有缓冲垫(407),所述压缩弹簧(415)远离挤压板(405)的一端与缓冲垫(407)的上表面固定连接。

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