技术特征：
技术总结
本发明提供了一种3D管道形成方法，在第一介质层中制作第一凹槽；在所述第一凹槽的底壁和侧壁上形成第一金属层，获得第一空腔；在所述第一介质层上形成第二金属层，覆盖所述第一空腔；刻蚀所述第一空腔顶部的所述第二金属层，形成第二空腔并露出所述第一空腔；在所述第二金属层上形成第二介质层；以及在所述第二介质层中制作第二凹槽，所述第二凹槽与所述第二空腔连通。通过形成第一空腔和第二空腔，所述第二凹槽与所述第二空腔连通，进而所述第二凹槽通过第二空腔与第一空腔连通。最后使得相邻两金属层中的金属管道连通，形成3D金属管道，从而增加了管道总长度，能够实现更多的功能。
技术研发人员：黎坡
受保护的技术使用者：上海华虹宏力半导体制造有限公司
技术研发日：2018.07.20
技术公布日：2018.12.11