一种双向振动的压电能量收集装置的制作方法

文档序号:18796946发布日期:2019-09-29 19:49阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种双向振动的压电能量收集装置,涉及能量收集技术,本发明是为了解决传统的能量收集装置结构繁琐、能量采集效率低、输出低的问题。本发明所述的一种双向振动的压电能量收集装置中,两个质量块对称施加在硅衬底自由端两侧;硅衬底上开有水平方向和竖直方向的两个长方形通孔,形成水平悬臂梁与竖直悬臂梁;材料层附着在水平悬臂梁与竖直悬臂梁外表面,每个长方形通孔每个侧面上的压电层按照振动条件下受应力状态的不同分为两部分;每个悬臂梁振动条件下同一时刻受力状态相同的电极层相互串联,形成两个串联电路,两个串联电路并联后接入外部能量收集电路。该装置适用于集成电路、微机电系统及无线传感网络等领域。

技术研发人员:敖宏瑞;高珊;姜洪源
受保护的技术使用者:哈尔滨工业大学
技术研发日:2019.05.09
技术公布日:2019.09.27
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