超滑滑块的制备方法

文档序号:24690793发布日期:2021-04-16 10:45阅读:来源:国知局

技术特征:
1.超滑滑块的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1,从超滑岛的侧边推动所述超滑岛,使得所述超滑岛分离为第一部分和第二部分,且所述第一部分和所述第二部分未完全分离;步骤2,侧边的推力撤回后,所述第一部分和所述第二部分自动回位;步骤3,从所述超滑岛的顶部继续推动所述超滑岛,使得所述第一部分和所述第二部分完全分离,分离后的所述第一部分或所述第二部分为超滑滑块。2.如权利要求1所述的超滑滑块的制备方法,其特征在于:在所述步骤1中,从所述超滑岛侧面的长度方向的1/3至2/3处,高度方向的1/4

4/5处推动所述超滑岛。3.如权利要求1所述的超滑滑块的制备方法,其特征在于:在所述步骤1中,朝向所述超滑岛施加的推力范围为5至50μn。4.如权利要求1所述的超滑滑块的制备方法,其特征在于:在所述步骤1后,所述第一部分的推出距离为所述超滑岛的边长的1/10至1/2。5.如权利要求1所述的超滑滑块的制备方法,其特征在于:在所述步骤2中,若所述第一部分和所述第二部分未自动回位,则更换超滑岛并重复所述步骤1和所述步骤2。6.如权利要求1所述的超滑滑块的制备方法,其特征在于:在所述步骤3中,从所述超滑岛的顶面的长度方向的1/2处,宽度方向的1/4至3/4处推动所述超滑岛。7.如权利要求1所述的超滑滑块的制备方法,其特征在于:在所述步骤3中,朝向所述超滑岛施加的推力范围为30至300μn。8.如权利要求1至7任一项所述的超滑滑块的制备方法,其特征在于:在所述步骤1前还设有加热步骤,将所述超滑岛置于氮气气氛下加热,并逐渐冷却至室温。9.如权利要求8所述的超滑滑块的制备方法,其特征在于:所述超滑岛的加热温度为100至300摄氏度,加热时间为5分钟以上。10.如权利要求1至7任一项所述的超滑滑块的制备方法,其特征在于:在所述步骤1和所述步骤3中,均采用探针推动所述超滑岛,优选的,所述探针是钨探针。
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