技术特征：
1.一种超滑骨架，用于与超滑片组合构成超滑副，所述超滑片置于所述超滑骨架上，其特征在于：包括基底和设于所述基底上的薄膜层，所述薄膜层上设有若干个孔结构，所述薄膜层的表面是原子级平整表面，所述超滑片置于所述薄膜层上，且所述超滑片的面积大于所述孔结构的面积。2.如权利要求1所述的超滑骨架，其特征在于：所述孔结构的长度和宽度尺寸为100nm至5μm，所述超滑片的长度和宽度为1μm至20μm，且所述超滑片可以同时至少覆盖一个所述孔结构。3.如权利要求1所述的超滑骨架，其特征在于：所述孔结构为通孔或盲孔。4.如权利要求1所述的超滑骨架，其特征在于：所述薄膜层的材质为二氧化硅、氮化硅、氧化铝、氧化铪、氮化铝或高分子薄膜。5.如权利要求1所述的超滑骨架，其特征在于：所述孔结构的形状为方形、圆形、矩形和三角形。6.如权利要求1至5任一项所述的超滑骨架，其特征在于：所述孔结构呈阵列分布，且所述孔结构之间的间距相等或不相等。7.如权利要求1至5任一项所述的超滑骨架，其特征在于：所述薄膜层的厚度为100nm至300nm。
技术总结
本实用新型提供了一种超滑骨架，用于与超滑片组合构成超滑副，所述超滑片置于所述超滑骨架上，包括基底和设于所述基底上的薄膜层，所述薄膜层上设有若干个孔结构，所述薄膜层的表面是原子级平整表面，所述超滑片置于所述薄膜层上，且所述超滑片的尺寸大于所述孔结构的尺寸。本实用新型提供的超滑骨架，薄膜层的表面满足原子级平整，且孔结构的边缘不影响薄膜层的表面平整度，且超滑片的尺寸大于孔结构的尺寸，超滑片可以在超滑骨架上同时覆盖多个孔结构，从而可以避免超滑骨架上形成的凹凸结构影响其表面平整度，不仅有效的减小了摩擦力，且降低了对于超滑平面的加工要求，降低了加工难度。难度。难度。
技术研发人员：徐芦平 李闯 向小健 郑泉水
受保护的技术使用者：深圳清华大学研究院
技术研发日：2021.07.21
技术公布日：2022/1/11