一种不同高度微纳米柱衬底制备装置的制作方法

文档序号:11975048阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种不同高度微纳米柱衬底制备装置,包括盒体(101)、设置于盒体(101)内的水浴锅(201)、间隔设置于水浴锅(201)内的电镀材料(701)和电镀样品(801),与所述水浴锅(201)中电镀材料(701)和电镀样品(801)分别通过电源正负极连接的恒定电流源模块盒(401),其特征在于:还包括提升机构和电镀距离调节机构,所述提升机构与电镀样品(801)连接,所述电镀距离调节机构与电镀材料(701)连接。

2.根据权利要求1所述的一种不同高度微纳米柱衬底制备装置,其特征在于:所述提升机构和电镀距离调节机构固定于设置在水浴锅(201)上方的固定板(501)上。

3.根据权利要求2所述的一种不同高度微纳米柱衬底制备装置,其特征在于:所述固定板(501)固定于盒体(101)内壁上。

4.根据权利要求2所述的一种不同高度微纳米柱衬底制备装置,其特征在于:所述提升机构包括步进电机(301)、滚珠丝杠副(305)、移动连接板(303)、定滑轮(307)、导轨(304)和连接绳(308);所述滚珠丝杠副(305)的一端通过联轴器(302)与步进电机(301)连接,所述移动连接板(303)与所述滚珠丝杠副(305)的丝杠螺母固定,所述滚珠丝杠副(305)的另一端固定于两端的轴承座(306)上,所述导轨(304)设置于轴承座(306)之间,所述移动连接板(303)滑动设置于导轨(304)上,所述移动连接板(303)与连接绳(308)一端固定,所述连接绳(308)另一端绕过定滑轮(307)与电镀样品(801)连接。

5.根据权利要求4所述的一种不同高度微纳米柱衬底制备装置,其特征在于:所述定滑轮(307)通过转轴设置于滑轮座(309)上,所述轴承座(306)与滑轮座(309)均固定于固定板(501)上部。

6.根据权利要求2所述的一种不同高度微纳米柱衬底制备装置,其特征在于:所述电镀距离调节机构包括电推杆(601)、连接板(603)、移动轴(604),所述移动轴(604)一端连接电推杆(601),另一端连接连接板(603),所述电镀材料(701)固定于连接板(603)底部。

7.根据权利要求6所述的一种不同高度微纳米柱衬底制备装置,其特征在于:所述电推杆(601)固定于固定板(501)底部。

8.根据权利要求1所述的一种不同高度微纳米柱衬底制备装置,其特征在于:所述恒定电流源模块盒(401)设置于盒体(101)内 水浴锅(201)一侧。

9.根据权利要求1所述的一种不同高度微纳米柱衬底制备装置,其特征在于:所述盒体(101)上方连接盒盖(104),所述盒体(101)外部设置电源键(102)和液晶屏(103)。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1