技术总结
本实用新型涉及电镀工具技术领域，具体讲的是一种用于深孔电镀的电镀制具，包括分别固定在电镀溶液槽(3)的两侧第一支架(1)和第二支架(2)，连接杆(4)，挂具(5)，用以固定样品(6)的样品固定板(7)，还包括液泵(8)、水用电磁阀(9)和喷液组件(10)，喷液组件(10)上设有多个喷液孔(11)，多个所述喷液孔(11)朝向样品(6)表面，电镀溶液被吸入液泵(8)并从喷液孔(11)喷出喷向样品(6)表面。采用这种结构后，提供一种使电镀溶液容易进入硅片样品上的深孔底部，从而可以获得深宽比较大的金属立柱的用于深孔电镀的电镀制具。
技术研发人员：吴泓均;王怿宁
受保护的技术使用者：宁波工程学院
文档号码：201621493232
技术研发日：2016.12.30
技术公布日：2017.10.03