网式过滤器的制造方法及网式过滤器与流程

本发明涉及使用表面设有dlc图案的附带dlc图案的辊通过连续镀敷而制作的金属制的网式过滤器的制造方法及网式过滤器。

背景技术：

以往，以金属制作的网式过滤器已为人熟知。金属制网式过滤器例如使用于过滤等的用途。

这样的金属制网式过滤器有：使用金属线材形成网状的金属制网式过滤器、在板状的金属基材上通过冲孔加工而开穿孔的金属制网式过滤器等。

就以往的通过冲孔加工对金属基材制作的网式过滤器而言，难以开设μ单位的细微的孔。另外，就以往的用冲孔金属制作的网式过滤器而言，在同一基材上，仅能形成相同网眼的网，因此在改变流量时，需要准备网眼不同的各种各样的网式过滤器。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平9-131506号公报

技术实现要素：

发明所要解决的课题

本发明的目的在于，提供一种网式过滤器的制造方法及网式过滤器，所述网式过滤器的制造方法可形成比冲孔加工更细微的孔，在同一基材上形成网眼不同的网，由此，可通过各种网眼尺寸任意变更流量、光量。

用于解决课题的手段

为解决上述课题，本发明的网式过滤器的制造方法，包括：准备可镀敷的圆筒状金属基材的工序；在上述圆筒状金属基材的表面涂布光抗蚀剂，使其曝光、显影而形成网式过滤器状抗蚀剂图案的工序；在上述圆筒状金属基材及网式过滤器状抗蚀剂图案的表面形成dlc覆膜的工序；将形成在上述网式过滤器状抗蚀剂图案上的dlc覆膜、与上述网式过滤器状抗蚀剂图案一起剥离，在上述圆筒状金属基材的表面形成dlc图案，制作附带dlc图案的辊的工序；及使用上述附带dlc图案的辊，对可镀敷的金属进行连续镀敷，由此制作网式过滤器的工序，上述网式过滤器状抗蚀剂图案是将网眼不同的两个以上的网式过滤器状抗蚀剂图案形成于同一上述圆筒状金属基材而成的网式过滤器状抗蚀剂图案。

优选的是：涂布上述光抗蚀剂的金属基材由从镍、钨、铬、钛、金、银、铂、不锈钢、铁、铜、铝组成的组中选择的至少一种的材料构成。

优选的是：上述dlc覆膜的厚度为0.1μm～20μm。

优选的是：上述网眼不同的两个以上的网式过滤器状抗蚀剂图案是网眼以无级方式变化的无级渐变图案。

本发明的网式过滤器是通过如下方式制造而成的网式过滤器：在可镀敷的圆筒状金属基材的表面涂布光抗蚀剂，使其曝光、显影而形成网式过滤器状抗蚀剂图案，在上述圆筒状金属基材及网式过滤器状抗蚀剂图案的表面形成dlc覆膜，将形成在上述网式过滤器状抗蚀剂图案上的dlc覆膜与上述网式过滤器状抗蚀剂图案一起剥离，使用在上述圆筒状金属基材的表面形成dlc图案而制造的附带dlc图案的辊，对可镀敷的金属进行连续镀敷，上述网式过滤器状抗蚀剂图案是将网眼不同的两个以上的网式过滤器状抗蚀剂图案形成于同一上述圆筒状金属基材而成的网式过滤器状抗蚀剂图案，上述网式过滤器具备网眼不同的两个以上的网式过滤部。

优选的是：涂布有上述光抗蚀剂的金属基材由从镍、钨、铬、钛、金、银、铂、不锈钢、铁、铜、铝组成的组中选择的至少一种的材料构成。

优选的是：上述dlc覆膜的厚度为0.1μm～20μm。

优选的是：上述网眼不同的两个以上的网式过滤器状抗蚀剂图案是网眼以无级方式变化的无级渐变图案。

本发明的流体流量调整机构，具有：上述具备网眼不同的两个以上的网式过滤部的网式过滤器；及使上述网式过滤器滑动的滑动机构，上述流体流量调整机构通过使上述网式过滤器滑动，从而能够以任意的网眼的网式过滤部进行流体流量的调整。

本发明的光量调整机构，具有：上述具备网眼不同的两个以上的网式过滤部的网式过滤器；及使上述网式过滤器滑动的滑动机构，上述光量调整机构通过使上述网式过滤器滑动，从而能够以任意的网眼的网式过滤部进行光量的调整。

发明效果

根据本发明，提供一种网式过滤器的制造方法及网式过滤器，所述网式过滤器具有可形成比冲孔加工更细微的孔，在同一基材上形成网眼不同的网，任意变更流量或光量的显著效果。

本发明的网式过滤器例如能够以网眼10μm～500μm的尺寸将两个以上的不同的网形成在同一基材上，因此使上述网式过滤器滑动，从而成为网眼尺寸可任意变更的网式过滤器。上述任意网眼可变更的网式过滤器可适宜用于种种的用途。作为用途，例如可作为用于进行气体或液体等流体的流量调整或光量调整的网式过滤器来使用。

附图说明

图1为表示在本发明的网式过滤器上设置了滑动机构的一个实施方式的概略图。

图2为表示本发明的网式过滤器的制造方法所使用的附带dlc图案的辊的一个实施方式的概略图。

图3为示意性地表示本发明的网式过滤器的制造方法所使用的附带dlc图案的辊的一例的说明图，(a)为在圆筒状金属基材的表面涂布了光抗蚀剂的状态的主要部分剖面图，(b)为使其曝光、显影而形成网式过滤器状抗蚀剂图案的状态的主要部分剖面图，(c)为在圆筒状金属基材及网式过滤器状抗蚀剂图案的表面形成了dlc覆膜的状态的主要部分剖面图，(d)为表示将形成在网式过滤器状抗蚀剂图案上的dlc覆膜与网式过滤器状抗蚀剂图案一起剥离后的状态的主要部分剖面图。

图4为表示图3所示的附带dlc图案的辊的制造方法的工序顺序的流程图。

图5为表示拍摄实施例1中制造的网式过滤器的照片。

具体实施方式

以下说明本发明的实施方式，但这些实施方式仅为例示性表示，只要不脱离本发明的技术思想则当然可进行种种的变形。

在图1中，符号10表示本发明的网式过滤器。网式过滤器10是通过镀敷而制造的过滤器，因此为金属制。

网式过滤器10开穿有网眼尺寸不同的多个孔。本发明的网式过滤器的网形状包括网状、孔状等。

在图1的例子中，网式过滤器10分别开穿有网眼尺寸不同的多个孔12、14、16，分别构成网式过滤部42、44、46。孔12例如为直径100μm，孔14例如为直径50μm，孔16例如为直径10μm。

图1的例子中，网式过滤器10具有设置在上下的滑动机构18a、18b，而成为流体流量或光量调整机构20。

滑动机构18a、18b为轨道，夹着板状的网式过滤器10。由此，使网式过滤器10左右滑动，从而可以按照直径100μm的孔12、直径50μm的孔14、直径10μm的孔16的方式任意地变更孔的大小。

在图2中，符号22为附带dlc图案的辊。就附带dlc图案的辊22而言，在中央形成有贯穿孔24的圆筒状金属基材26的表面形成有dlc图案28。在图2的例子中，作为dlc图案28，形成有例如直径100μm的圆形凸部30、例如直径50μm的圆形凸部32、例如直径10μm的圆形凸部34。

圆筒状金属基材26只要是可镀敷的金属则可应用任意金属，例如可以由从镍、钨、铬、钛、金、银、铂、不锈钢、铁、铜、铝组成的组中选择的至少一种的材料构成。

另外，圆筒状金属基材26可以设为设置在cfrp(碳纤维强化树脂)材料上的构成，也可以设为设置在包含橡胶、或具缓冲性的树脂的缓冲层之上的构成。

基于图3及图4说明附带dlc图案的辊22的制造方法。首先，准备圆筒状金属基材26，如图3(a)所示，在上述圆筒状金属基材26的表面涂布光抗蚀剂36(图4的步骤100)，使上述光抗蚀剂36曝光、显影而在上述圆筒状金属基材26的表面形成网式过滤器状抗蚀剂图案38(图4的步骤102)。作为上述光抗蚀剂36，负型光抗蚀剂是适宜的。如此，成为图3(b)所示的状态。

然后，在上述圆筒状金属基材26及网式过滤器状抗蚀剂图案38的表面形成dlc覆膜40(图4的步骤104)。如此，成为第3(c)所示的状态。

接着，将形成在网式过滤器状抗蚀剂图案38上的dlc覆膜40与上述网式过滤器状抗蚀剂图案38一起剥离，在上述圆筒状金属基材26的表面形成dlc图案28，制作附带图案的辊22(图4的步骤106)。如此成为图3(d)所示的状态。

然后，使用附带dlc图案的辊22，对可镀敷的金属进行连续镀敷，由此形成如图1所示那样的网式过滤器10。关于使用上述附带dlc图案的辊22而进行镀敷的可镀敷的金属，只要是可镀敷的金属则可应用任意金属，例如可以应用镍、钨、铬、钛、金、银、铂、铁、铜、铝等。例如，在圆筒状金属基材26为铜的情况下，作为使用上述附带dlc图案的辊22而进行镀敷的金属，可应用镍。

在dlc覆膜40的形成时，可通过cvd(chemicalvapordeposition)法、溅射法以dlc进行。

上述dlc覆膜40的厚度适宜为0.1μm～20μm。更具体而言，进一步优选为0.1μm～5μm。

上述网眼不同的两个以上的网式过滤器状抗蚀剂图案优选为网眼以无级方式变化的无级渐变图案。无级渐变图案是指：几乎没有感觉到“阶段性变化”的中断线(日文：途切れ目)的无级渐变的图案。

将形成在上述无级渐变图案的网式过滤器状抗蚀剂图案上的dlc覆膜与上述网式过滤器状抗蚀剂图案一起剥离，在上述圆筒状金属基材的表面形成dlc图案，制作了附带图案的辊，使用如此制作的附带dlc图案的辊，对可镀敷的金属进行连续镀敷，由此，成为具有无级渐变的网式过滤部的网式过滤器，所述无级渐变的网式过滤部中，几乎感觉不到网眼不同的两个以上的网式过滤部的网眼尺寸的阶段性变化。上述任意网眼可变的网式过滤器是能够以无级方式进行流体流量调整或光量调整的无级可变网式过滤器。

实施例

列举以下的实施例进一步具体说明本发明，这些实施例仅限于例示性表示，而当然不应以此作为限定式解释。

(实施例1)

准备圆周600mm、面长1100mm的版母材(铝中空辊)，使用newfx装置(株式会社thinklaboratory制全自动激光凹版印制版辊制造装置)制造下述的附带dlc图案的辊。

首先，将版母材(铝中空辊)装设于镀铜槽，使中空辊完全没入镀敷液后以电流密度30a/dm²、电压6.0v形成80μm的镀铜层。镀敷表面无麻点或凹痕的产生，获得均匀的镀铜层。

利用双头型研磨机(株式会社thinklaboratory制研磨机)研磨该镀铜层的表面，将该镀铜层的表面形成均匀的研磨面。以形成的镀铜层为基材，在其表面通过喷注式涂布机涂布感光膜(半导体激光用抗蚀剂：tser-ns(株式会社thinklaboratory制))并干燥。用膜厚计(fillmetrics公司制f20)测量所获得感光膜的膜厚，为15μm。然后，对图像进行激光曝光而显影。关于上述激光曝光，使用laserstreamfx以曝光条件300mj/cm²进行规定的图案曝光。另外，关于上述显影，使用tld显影液(株式会社thinklaboratory制显影液)，以显影液稀释比例(原液1：水7)在24℃下进行90秒钟，形成规定的抗蚀剂图案。作为规定的抗蚀剂图案，制成了如下的无级渐变图案：按照网眼无级式变化的方式，形成10μm至200μm网眼的不同的两个以上的网式过滤器状抗蚀剂图案。

在氩/氢气气氛下，以原料气体六甲基二硅氧烷、成膜温度80-120℃、成膜时间60分钟成膜出膜厚0.1μm的中间层。接着，以原料气体甲苯、成膜温度80-120℃、成膜时间180分钟成膜出膜厚2μm的dlc层。

接着，用5％氢氧化钠水溶液使抗蚀剂剥离，如图2所示，制成使直径不同的两个以上的圆形凸部分别并存的dlc图案。作为dlc图案，直径200μm～10μm的两个以上的圆形凸部按照无级渐变地并存的方式形成在上述基材上。如此，获得附带dlc图案的辊。

接着，装设于镀铜槽，使其完全没入电镀液，以2a/dm²、2.0v获得厚度20μm的铜图案箔。以光学显微镜观察表面，结果如图5所示，为具有无级渐变的网式过滤部的网式过滤器，关于该无级渐变的网式过滤部的网式过滤器，从形成有直径200μm的两个以上的孔(网眼200μm)的网式过滤部到形成有直径10μm的两个以上的孔(网眼10μm)的网式过滤部为止按照无级地发生变化的方式而形成。

符号说明

10：网式过滤器

12、14、16：孔

18a、18b：滑动机构

20：流体流量或光量调整机构

22：附带dlc图案的辊

24：贯穿孔

26：圆筒状金属基材

28：dlc图案

30、32、34：圆形凸部

36：光抗蚀剂

38：网式过滤器状抗蚀剂图案

40：dlc覆膜

42、44、46：网式过滤部