本发明涉及一种镀覆用单元及包括该镀覆用单元的镀覆装置。
背景技术：
作为镀覆装置，已知一种离心镀覆装置，将被镀覆物放入储存有镀覆液的镀覆用单元内，使镀覆用单元旋转，并使被镀覆物与设于外周部的环状的阴极电极接触，以对被镀覆物进行电镀(例如，参照专利文献1)。
参照图9，对现有的离心镀覆装置300的一例进行说明。离心镀覆装置300包括：镀覆用单元310；容器320，上述容器320从外侧将镀覆用单元310包围；阳极电极330，上述阳极电极330插入镀覆用单元310内；以及旋转装置340，上述旋转装置340以垂直轴线j为中心使镀覆用单元310旋转。镀覆用单元310具有圆板状的底板311、环状的多孔体312、环状的阴极电极313和大致圆锥台状的盖体314，并构成对镀覆液进行储存的收容部315。底板311与旋转装置340的转轴341连接。多孔体312设于底板311的外周部，并将收容部315内的镀覆液排出至容器320。阴极电极313设于多孔体312之上。用沿垂直轴线j的平面剖切后的阴极电极313的截面形状是矩形。更为详细而言，阴极电极313的内周面313a是与垂直轴线j平行的表面。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利特许第3328216号公报
然而，在离心镀覆装置300中，通过镀覆用单元310的旋转使被镀覆物的集合体即被镀覆物组350朝径向外侧移动，从而堆积于多孔体312和阴极电极313的内侧。在这种情况下，如图9所示，被镀覆物组350在阴极电极313的内周面313a的下端部(底板311侧的端部)的堆积厚度比被镀覆物组350在阴极电极313的内周面313a的上端部(盖体314侧的端部)的堆积厚度大。因而，被镀覆物组350的径向内侧的与阴极电极313的下端部相对的区域r的被镀覆物不易被镀覆。其结果为，被镀覆物的镀覆厚度可能会产生不均。另外，在用沿垂直轴线j的平面剖切后的镀覆用单元310的剖视观察时，被镀覆物组350的堆积厚度是被镀覆物堆积在阴极电极313的内周面313a的径向内侧的厚度tr。
技术实现要素：
本发明的目的在于提供一种抑制被镀覆物的镀覆厚度的不均的镀覆用单元及包括该镀覆用单元的镀覆装置。
解决上述技术问题的镀覆用单元，能储存镀覆液且能对被镀覆物组进行收容，并通过旋转装置以垂直轴线为中心旋转，包括：底板；上爬构件，上述上爬构件具有电绝缘性，并具有第一倾斜面，上述第一倾斜面随着从上述底板的上表面向上方而朝与上述垂直轴线正交的径向的外侧倾斜；以及阴极电极，上述阴极电极配置成在沿上述垂直轴线方向上与上述上爬构件相邻，并具有第二倾斜面，上述第二倾斜面随着朝向上方而朝上述径向的外侧倾斜。
根据上述结构，在镀覆用单元旋转的状态下，爬上上爬构件的被镀覆物组在被镀覆物组的堆积厚度的不均被第一倾斜面抑制的同时移动至阴极电极。此外，移动至阴极电极的被镀覆物组的堆积厚度还能进一步被第二倾斜面抑制。由于被镀覆物如上所述在被镀覆物组的堆积厚度的不均被抑制的状态下被镀覆，因而能抑制被镀覆物的镀覆厚度的不均。在此，被镀覆物组是被镀覆物的集合体。此外，在用沿垂直轴线的平面剖切后的镀覆用单元的剖视观察时，被镀覆物组的堆积厚度是被镀覆物在与阴极电极的第二倾斜面垂直的方向上堆积后的厚度。
较为理想的是，在上述镀覆用单元中，上述第二倾斜面与正交于上述垂直轴线的平面所成的角度是70°以上且85°以下。
根据上述结构，从而能进一步抑制堆积于第二倾斜面的被堆积物组的堆积厚度的不均。
较为理想的是，在上述镀覆用单元中，上述第二倾斜面相对于上述第一倾斜面的角度是140°以上且155°以下。
根据上述结构，从而能使被镀覆物组顺利地从第一倾斜面移动至第二倾斜面。
较为理想的是，在上述镀覆用单元中，上述第二倾斜面与正交于上述垂直轴线的平面所成的角度比上述第一倾斜面与正交于上述垂直轴线的平面所成的角度大。
根据上述结构，由于第二倾斜面与正交于垂直轴线的平面所成的角度比第一倾斜面与上述平面所成的角度大，因而在镀覆用单元旋转时，在堆积于第二倾斜面上的被镀覆物组由于镀覆用单元的旋转停止而因自身重力从第二倾斜面朝下方移动时容易朝径向内侧移动。藉此，堆积于位于比第一倾斜面靠上方的第二倾斜面的被镀覆物组在因镀覆用单元的旋转停止而朝下方移动时，被镀覆物组中的被镀覆后的被镀覆物与未被镀覆的被镀覆物容易搅拌。因而，能抑制被镀覆物组的各被镀覆物被阴极电极镀覆的机会的不均。
此外，由于位于比第二倾斜面靠下方的第一倾斜面与正交于垂直轴线的平面所成的角度比第二倾斜面与上述平面所成的角度小，因而在镀覆用单元旋转时被镀覆物组容易在第一倾斜面上上爬。因而，被镀覆物组容易堆积于阴极电极。
较为理想的是，在上述镀覆用单元中，上述第一倾斜面的上端缘的内径与上述第二倾斜面的下端缘的内径彼此相等。
根据上述结构，从而能抑制在第一倾斜面与第二倾斜面之间形成朝径向内侧突出的台阶，因而与第一倾斜面接触的被镀覆物能顺利地移动至第二倾斜面。
较为理想的是，在上述镀覆用单元中，上述第一倾斜面的上端缘与上述第二倾斜面的下端缘之间形成有台阶，上述台阶是由上述第一倾斜面的上端缘在上述径向上的位置与上述第二倾斜面的下端缘在上述径向上的位置错开而引起的，上述台阶的大小是构成上述被镀覆物组的被镀覆物的最小尺寸的1/2以下。
根据上述结构，在第一倾斜面与第二倾斜面之间朝径向内侧突出的台阶较小，因而与第一倾斜面接触的被镀覆物能越过台阶而朝第二倾斜面移动。因而，能使被镀覆物顺利地从第一倾斜面移动至第二倾斜面。
在上述镀覆用单元中，具有盖体，上述盖体配置成在沿上述垂直轴线的方向上与上述阴极电极相邻，上述盖体具有第三倾斜面，上述第三倾斜面随着朝向上方而朝上述径向的内侧倾斜。
根据上述结构，在镀覆用单元旋转的状态下，能通过盖体的第三倾斜面限制被镀覆物组朝比第二倾斜面的上边缘靠上方的位置移动。此外，在镀覆用单元停止旋转时，位于第二倾斜面的上边缘的被镀覆物组容易通过第三倾斜面而朝径向内侧移动。因而，被镀覆物组中的被镀覆后的被镀覆物与未被镀覆的被镀覆物容易搅拌。
较为理想的是，在上述镀覆用单元中，上述第三倾斜面相对于上述第二倾斜面的角度是130°以上且145°以下。
根据上述结构，在镀覆用单元旋转的状态下，能通过盖体的第三倾斜面容易地限制被镀覆物组朝比第二倾斜面的上边缘靠上方的位置移动。
较为理想的是，在上述镀覆用单元中，上述第二倾斜面相对于上述第一倾斜面的角度与上述第三倾斜面相对于上述第二倾斜面的角度彼此相等。
根据上述结构，能抑制第二倾斜面的下边缘的被镀覆物组的堆积厚度与第二倾斜面的上边缘的被镀覆物组的堆积厚度的不均。因而，能进一步抑制堆积于第二倾斜面的被镀覆物组的堆积厚度的不均，并能进一步抑制被镀覆物的镀覆厚度的不均。
较为理想的是，在上述镀覆用单元中，上述第二倾斜面的上端缘的内径与上述第三倾斜面的下端缘的内径彼此相等。
根据上述结构，从而抑制被镀覆物嵌入第二倾斜面与第三倾斜面之间。因而，能抑制批量间的被镀覆物的混入。
较为理想的是，在上述镀覆用单元中，上述镀覆用单元的上方开口，上述镀覆液通过上述镀覆用单元的开口排出。
在现有的由镀覆装置300的多孔体312进行的镀覆液的排出中，在被镀覆物尺寸微小的情况下，被镀覆物有时会嵌入多孔体312的孔中，从而镀覆液难以排出。
这一点，根据本镀覆用单元，由于镀覆液通过镀覆用单元的开口排出，即由于无需设置现有的镀覆装置300的多孔体312，因而能从镀覆用单元顺利地排出镀覆液。
解决上述技术问题的镀覆装置包括：上述镀覆用单元；阳极电极，上述阳极电极从上述镀覆用单元的开口插入；以及上述旋转装置，上述旋转装置使上述镀覆用单元旋转。
根据上述结构，从而能获得与上述镀覆用单元的效果相同的效果。
根据本发明的镀覆用单元及镀覆装置，从而能抑制被镀覆物的镀覆厚度的不均。
附图说明
图1关于镀覆装置的一个实施方式，是用沿垂直轴线的平面剖切上述镀覆装置得到的剖视图。
图2是被镀覆物的立体图。
图3是图1的阴极电极及其周边的放大图。
图4是镀覆用单元开始旋转时的图1的阴极电极及其周边的放大图。
图5是镀覆用单元以规定的转速旋转时的图1的阴极电极及其周边的放大图。
图6是镀覆用单元停止旋转时的图1的阴极电极及其周边的放大图。
图7是第一比较例的镀覆装置的局部剖视图。
图8是第二比较例的镀覆装置的局部剖视图。
图9是现有例的镀覆装置的局部剖视图。
(符号说明)
1镀覆装置；10镀覆用单元；12底板；13上爬构件；13a第一倾斜面；14阴极电极；14a第二倾斜面；15盖体；15a第三倾斜面；20阳极电极；30旋转装置；100被镀覆物；100a被镀覆物组；j垂直轴线；θc第二倾斜面与正交于垂直轴线的平面所成的角度；θr第一倾斜面与正交于垂直轴线的平面所成的角度；θ1第二倾斜面相对于第一倾斜面的角度；θ2第三倾斜面相对于第二倾斜面的角度。
具体实施方式
以下，参照附图，对镀覆装置的一实施方式进行说明。另外，为了便于理解，附图有时将构成要素放大表示。此外，构成要素的尺寸比率有时与实际的尺寸比率或其它附图中的尺寸比率不同。
如图1所示，镀覆装置1包括镀覆用单元10、阳极电极20、旋转装置30、供给配管40、容器50和控制装置60。镀覆用单元10作为能储存镀覆液的收容部发挥作用。在镀覆用单元10中投入有被镀覆物100(参照图2)的集合体(以下为“被镀覆物组100a”)。镀覆用单元10具有上方开口的开口部11。阳极电极20从镀覆用单元10的开口部11插入镀覆用单元10内。供给配管40插入镀覆用单元10的开口部11。镀覆液从储存有镀覆液的镀覆储槽(省略图示)通过供给配管40供给至镀覆用单元10内。容器50对镀覆用单元10进行收容。容器50对从镀覆用单元10排出的镀覆液进行回收，并且通过排出配管51将镀覆液排出至镀覆储槽。
旋转装置30使镀覆用单元10绕垂直轴线j旋转。旋转装置30包括：旋转板31，上述旋转板31对镀覆用单元10进行支承；转轴32，上述转轴32沿垂直轴线j延伸，并与旋转板31一体旋转；以及驱动装置33，上述驱动装置33使转轴32旋转。驱动装置33例如具有：电动机；以及减速器，上述减速器与电动机的输出轴连接，并使电动机的转速减小。减速器的输出部与转轴32连接。
控制装置60对通过供给配管40朝镀覆用单元10供给镀覆液、由旋转装置30进行的镀覆用单元10的旋转及停止、对阳极电极20及镀覆用单元10的阴极电极14的通电等镀覆装置1的动作进行控制。
被镀覆物100是层叠陶瓷电容器、热敏电阻、电感、可变电阻等电子元器件。如图2所示，被镀覆物100的一例是例如在大致长方体或大致立方体的基部101的两端形成有外部电极102的层叠陶瓷电容器。被镀覆物100的长度l比0.1mm大且比5mm小(0.1mm＜l＜5mm)。被镀覆物100的宽度w比0.05mm大且比4mm小(0.05mm＜w＜4mm)。被镀覆物100的厚度t比0.01mm大且比4mm小(0.05mm＜t＜4mm)。被镀覆物100的一例是被镀覆物100的长度l为0.4mm，宽度w为0.2mm，厚度t为0.13mm。
接着，参照图1和图3对镀覆用单元10的详细结构进行说明。另外，在以下的说明中，将与垂直轴线j正交的方向称作径向。如图1所示，镀覆用单元10包括底板12、上爬构件13、阴极电极14和盖体15。通过由底板12、上爬构件13、阴极电极14及盖体15围成的空间，从而形成能储存镀覆液且能收容被镀覆物组100a的收容部。通过盖体15的上方开口，从而形成有镀覆用单元10的开口部11。底板12、上爬构件13、阴极电极14及盖体15配置成与垂直轴线j同心。
底板12安装于旋转装置30的旋转板31。底板12由树脂材料等电绝缘性的材料形成为圆板状。底板12例如通过螺栓固定于旋转装置30的旋转板31。
上爬构件13由树脂材料等电绝缘性的材料形成为圆环状。上爬构件13配置于底板12的上表面12a的外周部。上爬构件13在径向内侧具有第一倾斜面13a。第一倾斜面13a随着朝向上方而朝径向外侧倾斜。即，第一倾斜面13a随着朝向上方而内径变大。上爬构件13使被镀覆物组100a随着镀覆用单元10的旋转而朝上方移动。
阴极电极14配置成在沿垂直轴线j的方向上与上爬构件13相邻。更为详细而言，阴极电极14配置于上爬构件13的上表面13b。阴极电极14形成为圆环状。阴极电极14在径向内侧具有第二倾斜面14a。阳极电极14通过与阳极电极20一起通电，从而对被镀覆物100的外部电极102(均参照图2)进行镀覆。另外，阴极电极14既可以在电绝缘性的环状的接触构件的周向的一部分设置一个，也可以以在周向上隔开间隔的方式设置多个。
盖体15配置成在沿垂直轴线j的方向上与阴极电极14相邻。更为详细而言，盖体15配置于阴极电极14的上表面14b。盖体15由树脂材料等电绝缘性的材料形成。盖体15具有直径朝向上方而缩小的圆锥台状。因而，盖体15在径向内侧具有第三倾斜面15a。第三倾斜面15a随着朝向上方而朝径向内侧倾斜。即，第三倾斜面15a的内径随着朝向上方而变小。藉此，盖体15对镀覆液的逐渐上升进行抑制。
如图3所示，阴极电极14的第二倾斜面14a随着朝向上方而朝径向外侧倾斜。较为理想的是，第二倾斜面14a与水平面(与垂直轴线j正交的平面，阴极电极14的下表面)所成的角度θc是45°以下且小于90°。较为理想的是，角度θc是70°以上且85°以下。本实施方式的角度θc是75°。角度θc比上爬构件13的第一倾斜面13a与水平面所成的角度θr大。较为理想的是，角度θr是45°以下。
阴极电极14的第二倾斜面14a相对于上爬构件13的第一倾斜面13a的角度θ1是140°以上且155°以下。盖体15的第三倾斜面15a相对于阴极电极14的第二倾斜面14a的角度θ2是130°以上且145°以下。本实施方式的角度θ1和θ2均是140°。换言之，在用沿垂直轴线j的平面剖切镀覆用单元10后的剖视观察时，上爬构件13的第一倾斜面13a、阴极电极14的第二倾斜面14a及盖体15的第三倾斜面15a具有以第二倾斜面14a的中央的垂线ln为中心的线对称形状。
较为理想的是，上爬构件13的第一倾斜面13a与阴极电极14的第二倾斜面14a平滑地连接。即，较为理想的是，在第一倾斜面13a的上端缘与第二倾斜面14a的下端缘之间未形成台阶。因而，较为理想的是，第一倾斜面13a的上端缘的内径与第二倾斜面14a的下端缘的内径彼此相等。例如，通过在将上爬构件13与阴极电极14接合之后，通过机械加工同时形成第一倾斜面13a和第二倾斜面14a，从而能实现上爬构件13的第一倾斜面13a与阴极电极14的第二倾斜面14a平滑地连接的结构。
另外，上述台阶是由于第一倾斜面13a的上端缘的径向位置与第二倾斜面14a的下端缘的径向位置彼此错开而形成的。较为理想的是，即使在第一倾斜面13a的上端缘与第二倾斜面14a的下端缘之间形成台阶，该台阶也是被镀覆物100(参照图2)的最小尺寸的1/2以下。由于本实施方式的被镀覆物100的最小尺寸是被镀覆物100的厚度t的0.13mm，因而台阶的尺寸是65μm以下(优选为50μm以下)。
较为理想的是，阴极电极14的第二倾斜面14a与盖体15的第三倾斜面15a平滑地连接。即，较为理想的是，在第二倾斜面14a的上端缘与第三倾斜面15a的下端缘之间未形成台阶。因而，较为理想的是，第二倾斜面14a的上端缘的内径与第三倾斜面15a的下端缘的内径彼此相等。另外，第二倾斜面14a的上端缘与第三倾斜面15a的下端缘之间的台阶是由于第二倾斜面14a的上端缘的径向位置与第三倾斜面15a的下端缘的径向位置彼此错开而形成的。
接着，对镀覆装置1对被镀覆物100进行镀覆的方法及其作用进行说明。如图1所示，在储存有镀覆液的镀覆用单元10中投入大量的被镀覆物100(参照图2)。镀覆用单元10内的被镀覆物组100a由于自身重力而堆积于底板12的中央部。被投入的被镀覆物100的数量是例如1000个～200000个，并能任意地改变。
接着，例如在操作者操作了镀覆处理的开始按钮的基础上，控制装置60对旋转装置30进行控制，并且在阳极电极20与阴极电极14之间施加规定的电压。控制装置60交替反复执行第一循环和第二循环，其中，在上述第一循环中，使镀覆用单元10在规定期间内以规定的转速旋转，随后停止镀覆用单元10，在上述第二循环中，使镀覆用单元10在规定期间内以规定的转速反向旋转，随后停止镀覆用单元10。在第一循环和第二循环中，本实施方式的规定的转速均是300rpm。另外，能任意地改变规定的转速。此外，第一循环的转速与第二循环的转速也可以不同。此外，代替交替地反复第一循环及第二循环，也可以在执行多次第一循环之后执行多次第二循环。此外，第一循环的执行次数与第二循环的执行次数也可以不同。
被镀覆物组100a随着镀覆用单元10的旋转开始而沿底板12朝径向外侧的上爬构件13的第一倾斜面13a移动。接着，如图4所示，被镀覆物组100a随着镀覆用单元100的转速的上升，在离心力的作用下爬上上爬构件13的第一倾斜面13a，即沿第一倾斜面13a朝斜上方移动。此时，被镀覆物组100a在离心力的作用下分散于第一倾斜面13a的整个表面并堆积成层状。在此，由于上爬构件13的第一倾斜面13a与水平面所成的角度θr是45°以下，因而被镀覆物100的离心力中的沿着第一倾斜面13a的分力变得比被镀覆物100自身的重力大。因而，被镀覆物组100a容易爬上第一倾斜面13a。
接着，如图5所示，在镀覆用单元10的转速进一步上升至规定的转速的状态下，被镀覆物组100a在离心力的作用下从上爬构件13的第一倾斜面13a爬上阴极电极14的第二倾斜面14a，即沿第二倾斜面14a朝斜上方移动。此时，被镀覆物组100a在离心力的作用下分散于第二倾斜面14a的整个表面并堆积成层状，并被向阴极电极14按压。此外，被镀覆物组100a的欲朝比第二倾斜面14a的上端缘靠上方的位置移动的一部分的移动被盖体15的第三倾斜面15a限制。在此，由于阴极电极14的第二倾斜面14a是75°以上且85°以下，因而被镀覆物100的离心力中的沿第二倾斜面14a的分力变得比被镀覆物100自身的重力小。因而，爬上上爬构件13的第一倾斜面13a的被镀覆物组100a的势能被第二倾斜面14a减弱。藉此，能抑制被镀覆物组100a过度堆积于第二倾斜面14a的上端缘。
如图5所示，通过这种被镀覆物组100a的动作使被镀覆物组100a在阴极电极14的第二倾斜面14a的整个表面上的堆积厚度tg大致相等。另外，被镀覆物组100a的堆积厚度tg是被镀覆物100相对于第二倾斜面14a在与第二倾斜面14a正交的方向(沿图3的垂线ln的方向)上堆积的厚度。
如上所述，在图1所示的阳极电极20与阴极电极14之间施加规定的电压。藉此，堆积于第二倾斜面14a的被镀覆物100的外部电极102(均参照图2)被镀覆。由于被镀覆物组100a相对于阴极电极14的堆积厚度tg在阴极电极14的整个表面上大致相等，因而被镀覆物100的镀覆厚度的不均变小。
如图6所示，当停止镀覆用单元10的旋转时，堆积于阴极电极14的第二倾斜面14a的上部的被镀覆物组100a(双点划线)会因自身的重力而朝下方移动。此时，由于第二倾斜面14a与径向所成的角度θc较大，因而堆积于第二倾斜面14a的上部的被镀覆物组100a(双点划线)会在朝径向内侧移动的同时朝下方移动。因而，在被镀覆物组100a中，被镀覆后的被镀覆物100(参照图2)与未被镀覆的被镀覆物100容易搅拌。随后，如被镀覆物组100a(实线)那样堆积于底板12和上爬构件13的下部。
此外，在第二循环中，通过使镀覆用单元10朝与第一循环的旋转方向相反的方向旋转，从而被镀覆后的被镀覆物100与未被镀覆的被镀覆物100容易搅拌。因而，使被镀覆物组100a所包含的所有被镀覆物100与阴极电极14接触，并对被镀覆物100的外部电极102(参照图2)进行镀覆。
如以上叙述的那样，根据本实施方式，获得以下的效果。(1)例如，在图7所示的第一比较例的镀覆用单元200中，在圆板状的底板210的上表面211的外周端部配置有阴极电极220。在阴极电极220的上表面221上配置有环状的多孔体230，在多孔体230的上表面231上配置有圆锥台状的盖体240。阴极电极220在径向内侧具有倾斜面222。倾斜面222随着朝向径向外侧而朝上方倾斜。
在镀覆用单元200旋转时，在其转速大的情况下，被镀覆物组100a(单点划线)在爬上阴极电极220的倾斜面222的基础上移动至多孔体230及盖体240的下部。因而，被镀覆物组100a堆积于阴极电极220的上部、多孔体230及盖体240的下部。即，被镀覆物组100a有时不会堆积于阴极电极220的下部。由此，有时会成为阴极电极220的下部自身会被镀覆，被镀覆物100的外部电极102(均参照图2)未被镀覆的状态。其结果是，在被镀覆物100上进行镀覆的效率可能会降低。
另一方面，在镀覆用单元200的转速小的情况下，被镀覆物组100a(双点划线)中，爬上至阴极电极220的倾斜面222的上部的被镀覆物100较少。其结果是，倾斜面222的上部的被镀覆物组100a的堆积厚度与倾斜面222的下部的被镀覆物组100a的堆积厚度不同。因而，被镀覆物100朝外部电极102的镀覆厚度有时会产生不均。除此之外，在镀覆用单元200中，在其旋转停止时，被镀覆物组100a仅沿倾斜面222移动，被镀覆物组100a中的被镀覆后的被镀覆物100与未被镀覆的被镀覆物100不易发生搅拌。
此外，例如在图8所示的第二比较例的镀覆用单元250中，在圆板状的底板260的上表面261的外周端部配置有第一倾斜部270，在第一倾斜部270的上表面271配置有环状的阴极电极280。此外，在阴极电极280的上表面281配置有第二倾斜部290。第一倾斜部270在径向内侧具有第一倾斜面272。第一倾斜面272随着朝向径向外侧而朝上方倾斜。阴极电极280的内周面282是沿作为镀覆用单元250的旋转中心的垂直轴线j的形状。第二倾斜部290在径向内侧具有第二倾斜面291。第二倾斜面291随着朝向径向内侧而朝上方倾斜。
在镀覆用单元250旋转时，由于阴极电极280的内周面282是沿垂直轴线j的形状，因而在被镀覆物100的离心力的作用下不易移动至阴极电极280的内周面282的上部。藉此，阴极电极280的内周面282的上部的被镀覆物组100a的堆积厚度变得比内周面282的下部的被镀覆物组100a的堆积厚度小。因而，被镀覆物100朝外部电极102(均参照图2)的镀覆厚度有时会产生不均。
相对于上述第一比较例和第二比较例，本实施方式的镀覆用单元10包括：上爬构件13，上述上爬构件13具有第一倾斜面13a；以及阴极电极14，上述阴极电极14具有第二倾斜面14a。藉此，随着镀覆用单元10的旋转，爬上上爬构件13的被镀覆物组100a在通过第一倾斜面13a抑制堆积于第一倾斜面13a的被镀覆物组100a的堆积厚度的不均的同时，移动至阴极电极14。此外，移动至阴极电极14的被镀覆物组100a在被镀覆物100的离心力的作用下在第二倾斜面14a的整个表面上移动，并且被镀覆物组100a的堆积厚度tg被进一步抑制。如上所述在被镀覆物组100a在第二倾斜面14a上的堆积厚度tg的不均被抑制的状态下镀覆于被镀覆物100的外部电极102，因而能抑制被镀覆物100的镀覆厚度的不均。
除此之外，由于在底板12与阴极电极14之间配置有上爬构件13，因而底板12与阴极电极14之间的距离变大。在镀覆用单元10停止旋转时，被镀覆物100从阴极电极14向上爬构件13及底板12移动的距离变长，因而被镀覆物组100a中的被镀覆后的被镀覆物100与未被镀覆的被镀覆物100容易搅拌。
(2)本申请发明者们发现在镀覆用单元10旋转时，堆积于与垂直轴线j平行的表面上的被镀覆物组100a存在倾斜角度。更为详细而言，本申请发明者们发现与垂直轴线j平行的表面的下部的被镀覆物组100a的堆积厚度比与垂直轴线j平行的表面的上部的被镀覆物组100a的堆积厚度大。具体而言，本申请发明者们发现在镀覆用单元10以规定的转速旋转时，堆积于与垂直轴线j平行的表面的被镀覆物组100a的倾斜角度处于70°以上且85°以下的范围。另外，能通过例如与垂直轴线j平行的表面的下部的被镀覆物组100a的堆积厚度和与垂直轴线j平行的表面的上部的被镀覆物组100a的堆积厚度运算出被镀覆物组100a的倾斜角度。
因而，在本实施方式中，阴极电极14的第二倾斜面14a与垂直于垂直轴线j的平面即水平面所成的角度θc设定为70°以上且85°以下。藉此，被镀覆物组100a在镀覆用单元10以规定的转速旋转时的倾斜角度与第二倾斜面14a大致平行。因而，能进一步抑制第二倾斜面14a上的被镀覆物组100a的堆积厚度tg的不均。因而，能进一步抑制被镀覆物100的镀覆厚度的不均。
(3)由于上爬构件13的第一倾斜面13a与阴极电极14的第二倾斜面14a之间的角度θ1是140°以上且155°以下，因而被镀覆物组100a能从第一倾斜面13a顺利地移动至第二倾斜面14a。因而，被镀覆物组100a容易堆积于第二倾斜面14a。
(4)阴极电极14的第二倾斜面14a与正交于垂直轴线j的平面即水平面所成的角度θc比上爬构件13的第一倾斜面13a与水平面所成的角度θr大。藉此，在随着镀覆用单元10的旋转而堆积于第二倾斜面14a上的被镀覆物组100a因镀覆用单元10的旋转停止而从第二倾斜面14a利用自身的重力朝下方移动时，被镀覆物组100a的移动速度大。因而，堆积于第二倾斜面14a的被镀覆物组100a并非沿第二倾斜面14a朝下方移动，而是在朝径向内侧离开第二倾斜面14a的状态下朝下方移动。藉此，在堆积于第二倾斜面14a的被镀覆物组100a由于镀覆用单元10的旋转停止而朝下方移动时，被镀覆物组100a中的被镀覆后的被镀覆物100与未被镀覆的被镀覆物100容易搅拌。因而，能抑制被镀覆物组100a的各被镀覆物100被阴极电极14镀覆的机会的不均。
此外，由于位于比第二倾斜面14a靠下方的位置的第一倾斜面13a与正交于垂直轴线j的平面即水平面所成的角度θr比第二倾斜面14a与水平面所成的角度θc小，因而在镀覆用单元10旋转时被镀覆物组100a容易爬上第一倾斜面13a。因而，被镀覆物组100a容易堆积于阴极电极14。
(5)由于盖体15的第三倾斜面15a随着朝向径向内侧而朝上方倾斜，因而能限制被镀覆物组100a朝比阴极电极14的第二倾斜面14a的上端缘靠上方的位置移动。此外，在镀覆用单元10停止旋转时，位于第二倾斜面14a的上端缘的被镀覆物组100a容易通过第三倾斜面15a而朝径向内侧移动。因而，被镀覆物组100a中的被镀覆后的被镀覆物100与未被镀覆的被镀覆物100容易搅拌。
(6)由于阴极电极14的第二倾斜面14a与盖体15的第三倾斜面15a之间的角度θ2为130°以上且145°以下，因而在镀覆用单元10旋转的状态下，容易通过第三倾斜面15a来限制被镀覆物组100a朝比第二倾斜面14a的上端缘靠上方的位置移动。除此之外，能抑制被镀覆物组100a在第二倾斜面14a的上端缘上的堆积厚度tg过度地变大。
(7)上爬构件13的第一倾斜面13a与阴极电极14的第二倾斜面14a之间的角度θ1和第二倾斜面14a与盖体15的第三倾斜面15a之间的角度θ2彼此相等。藉此，能抑制被镀覆物组100a在阴极电极14的第二倾斜面14a的下端缘上的堆积厚度tg与被镀覆物组100a在第二倾斜面14a的上端缘上的堆积厚度tg的不均。因而，能进一步抑制被镀覆物组100a在第二倾斜面14a的堆积厚度tg的不均，并能进一步抑制被镀覆物100的镀覆厚度的不均。
(8)镀覆用单元10的上方开口，镀覆液通过镀覆用单元10的开口排出。如此，由于镀覆用单元10无需如现有的镀覆装置300那样设置多孔体312，因而能从镀覆用单元10顺利地排出镀覆液。
除此之外，通过镀覆将外部电极102彼此接合的多个被镀覆物100或比规定尺寸小的被镀覆物100这种次品的浮力容易变大，容易朝镀覆液的液面附近移动。因而，次品的被镀覆物容易与镀覆液一起通过镀覆用单元10的旋转而从镀覆用单元10的开口排出。
(9)上爬构件13的第一倾斜面13a的上端缘的内径与阴极电极14的第二倾斜面14a的下端缘的内径彼此相等。藉此，由第二倾斜面14a的下端缘位于比第一倾斜面13a的上端缘靠径向内侧的位置导致的台阶的形成被抑制。因而，能随着镀覆用单元10的旋转顺利地从第一倾斜面13a移动至第二倾斜面14a。此外，由第一倾斜面13a的上端缘位于比第二倾斜面14a的下端缘靠径向内侧的位置导致的台阶的形成被抑制。因而，堆积于第二倾斜面14a的被镀覆物100随着镀覆用单元10的旋转停止而残留在台阶上的情况被抑制。因而，能抑制随着镀覆用单元10的旋转停止的被镀覆物组100a中的被镀覆后的被镀覆物100与未被镀覆的被镀覆物100的搅拌效率的降低。
此外，即使在第一倾斜面13a与第二倾斜面14a之间形成台阶，上述台阶也是被镀覆物100的最小尺寸的1/2以下。藉此，被镀覆物100能随着镀覆用单元10的旋转从第一倾斜面13a越过台阶而朝第二倾斜面14a移动。此外，能随着镀覆用单元10的旋转停止而从第二倾斜面14a越过台阶朝第一倾斜面13a移动。
(10)由于阴极电极14的第二倾斜面14a的上端缘的内径与盖体15的第三倾斜面15a的下端缘的内径相等，因而被镀覆物100嵌入第二倾斜面14a与第三倾斜面15a之间的情况被抑制。因而，能抑制批量间的被镀覆物的混入。
(変形例)
上述实施方式所涉及的说明是本发明的镀覆用单元及镀覆装置能获得的实施方式的例示，并不意味着对上述实施方式进行限制。本发明的镀覆用单元及镀覆装置能获得例如以下所示的上述实施方式的变形例及彼此不矛盾的至少两个变形例组合而成的实施方式。
在上述实施方式中，上爬构件13的第一倾斜面13a也可以随着朝向径向外侧而朝上方呈弯曲状地倾斜。在上述实施方式中，底板12与上爬构件13也可以形成为一体。在这种情况下，也可以在底板12的上表面12a与上爬构件13的第一倾斜面13a的下端缘的接缝处形成r形的倒角。
在上述实施方式中，上爬构件13的第一倾斜面13a与正交于垂直轴线j的平面即水平面所成的角度θr也可以与阴极电极14的第二倾斜面14a与水平面所成的角度θc相等。
在上述实施方式中，也可以从盖体15中省略第三倾斜面15a。省略了第三倾斜面15a的盖体15的形状的一例是圆筒状。在上述实施方式中，在被镀覆物100的尺寸大的情况下，镀覆用单元10也可以还包括多孔体，上述多孔体用于将镀覆液排出至镀覆用单元10的外部。多孔体配置于例如阴极电极14与盖体15之间。