在线监测TOC的电镀溶液净化系统的制作方法

文档序号:15974616发布日期:2018-11-16 23:44阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种在线监测TOC的电镀溶液净化系统,其特征在于,包括:

控制装置,所述控制装置包括控制器;

电镀液槽,所述电镀液槽包括循环管路;

净化装置,所述净化装置通过所述循环管路与所述电镀液槽接通;及

TOC在线监测装置,所述TOC在线监测装置包括与所述控制器电性连接的TOC在线监测仪、两端分别与所述循环管路和所述TOC在线监测仪接通的液流旁路、及连通于所述液流旁路中的启闭元件,所述启闭元件还与所述控制器电性连接;其中,所述TOC在线监测仪内预设有监测间隔时间和TOC期望值。

2.根据权利要求1所述的在线监测TOC的电镀溶液净化系统,其特征在于,还包括与所述控制器电性连接的压力传感器,所述压力传感器设置于所述净化装置内,所述控制装置还包括与所述控制器电性连接的警报器,所述警报器包括声音报警元件、灯光报警元件或声、光报警元件。

3.根据权利要求1所述的在线监测TOC的电镀溶液净化系统,其特征在于,还包括与所述控制器电性连接的液流驱动件,所述循环管路包括供液管路和回液管路,所述液流驱动件连通于所述供液管路或所述回液管路中,所述供液管路的一端接通于所述电镀液槽的出液口,另一端接通于所述净化装置的进液口;所述回液管路的一端接通于所述净化装置的排液口,另一端接通于所述电镀液槽的回液口。

4.根据权利要求3所述的在线监测TOC的电镀溶液净化系统,其特征在于,还包括过滤装置,所述过滤装置连通于所述供液管路中并位于所述液流驱动件的上游。

5.根据权利要求2所述的在线监测TOC的电镀溶液净化系统,其特征在于,包括均与所述控制器通信连接的至少两个压力传感器,所述净化装置包括均接通于所述循环管路中的至少两个填料桶,所述压力传感器一一对应地设置于所述填料桶内。

6.根据权利要求5所述的在线监测TOC的电镀溶液净化系统,其特征在于,所述填料桶包括盛装桶体、及设置于所述盛装桶体内的净化介质;其中,相邻两个所述盛装桶体内的净化介质的种类相同或相异。

7.根据权利要求5所述的在线监测TOC的电镀溶液净化系统,其特征在于,至少两个所述填料桶之间彼此串联或并联连接。

8.根据权利要求5所述的在线监测TOC的电镀溶液净化系统,其特征在于,所述压力传感器为无线压力传感器或有线压力传感器。

9.根据权利要求1至8任一项所述的在线监测TOC的电镀溶液净化系统,其特征在于,所述控制装置还包括定时器,所述定时器与所述控制器电性连接。

10.根据权利要求5至8任一项所述的在线监测TOC的电镀溶液净化系统,其特征在于,所述控制装置还包括压力监测屏,所述压力监测屏与所述压力传感器电性连接。

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