用于离心电镀机的阳极装置的制作方法

文档序号:26648558发布日期:2021-09-15 07:50阅读:122来源:国知局
用于离心电镀机的阳极装置的制作方法

1.本实用新型主要涉及离心电镀机领域,特指用于离心电镀机的阳极装置。


背景技术:

2.在微型电子元器件的电镀设备领域,离心电镀机主要包括阳极装置和由电机驱动旋转的电镀缸,阳极装置接电流阳极,电镀缸的阴极环接电流阴极,通电后在阳极装置与阴极环之间形成电流。工作时,往电镀缸内加入带镀层金属离子的电镀药水,阳极装置插入电镀药水中不断向电镀药水补充镀层金属离子,利用电镀缸旋转产生的离心力,将电镀缸内的微型电子元器件甩向阴极环内壁碰撞后不断翻滚,使微型电子元器件高效而均匀上镀。
3.阳极装置主要由钛篮和盛装在钛篮内的阳极材料组成,钛篮一般呈圆柱形。如图2所示,由于整个钛篮的侧面和底部都导电,钛篮底部也有电流,所以对应地,阴极环底部空间的电流密度会比上部空间的电流密度大,即阴极环上下空间的电流密度不一致,从而导致阴极环内壁上下侧的电子元器件电镀速度不一致,出现产品电镀厚度不均匀的问题。


技术实现要素:

4.本实用新型要解决的技术问题在于:针对现有技术存在的问题,提供一种可保证电镀厚度均匀性的用于离心电镀机的阳极装置。
5.为解决上述技术问题,本实用新型采用以下技术方案:
6.一种用于离心电镀机的阳极装置,包括用于装载阳极材料的钛篮,所述钛篮可插入离心电镀机的电镀缸内向电镀药水中补充镀层金属离子,所述钛篮的底部设有绝缘块,所述绝缘块由绝缘材料制成。
7.进一步,所述绝缘块刚好覆盖住钛篮的底部。
8.进一步,所述绝缘块通过绝缘螺丝固定连接于钛篮的底部。
9.进一步,所述钛篮呈圆柱形。
10.与现有技术相比,本实用新型的优点在于:本实用新型通过在钛篮的底部设置绝缘块,使钛篮底部绝缘,只有钛篮的侧面通电,所以阴极环上下空间的电流密度接近一致,阴极环内壁上下侧的电子元器件的电镀速度也一致,从而保证产品电镀厚度的均匀性。
附图说明
11.图1为本实用新型在应用中的结构示意图。
12.图2为现有技术中钛篮与阴极环之间的电流密度分布示意图。
13.图3为本实用新型中钛篮与阴极环之间的电流密度分布示意图。
14.图例说明:1、电机;2、传动轴法兰;3、同步轮;4、阴极环;5、底板;6、上盖;7、钛篮;8、绝缘块;9、绝缘螺丝。
具体实施方式
15.以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明,应当指出,本实用新型的保护范围并不仅局限于下述实施例,在不脱离本实用新型原理的前提下,对本实用新型所作出的任何改进和润饰,均应视为本实用新型的保护范围。
16.如图1所示为本实用新型的阳极装置插入于离心电镀机电镀缸的应用示意图,阳极装置包括用于装载阳极材料的钛篮7,钛篮7呈圆柱形,钛篮7可插入离心电镀机的电镀缸内向电镀药水中补充镀层金属离子,钛篮7的底部设有绝缘块8,绝缘块8由绝缘材料制成。电镀缸包括由电机1驱动旋转的缸体,具体地,缸体固定安装于传动轴法兰2上,电机1通过同步轮3带动传动轴法兰2和缸体旋转。缸体包括阴极环4、底板5和上盖6,底板5固定于传动轴法兰2上,阴极环4安装于底板5上,上盖6盖设于阴极环4的顶部,上盖6、阴极环4和底板5共同围成缸体内腔。工作时,往缸体内加入电镀药水,阳极装置7接电流阳极并插入缸体内,阴极环4接电流阴极。阴极环4为环状壁,阴极环4的内径由底部到顶部逐渐增大,使阴极环4的内壁呈平滑的斜坡,便于产品在离心力的作用下沿斜坡向上滑动并均匀分布在斜坡上,提高产品电镀的均匀性。
17.如图3所示,由于钛篮7的底部设有绝缘块8,使钛篮7底部绝缘,只有钛篮7的侧面通电,所以阴极环4上下空间的电流密度接近一致,阴极环4内壁上下侧的电子元器件的电镀速度也一致,从而保证产品电镀厚度的均匀性。
18.优选的,绝缘块8呈圆形,刚好覆盖住钛篮7的底部。绝缘块8通过绝缘螺丝9固定连接于钛篮7的底部。当然,在其他实施例中,绝缘块8也可通过粘接等其他方式与钛篮7连接,这些都属于本实用新型的保护范围。


技术特征:
1.一种用于离心电镀机的阳极装置,包括用于装载阳极材料的钛篮,所述钛篮可插入离心电镀机的电镀缸内向电镀药水中补充镀层金属离子,其特征在于:所述钛篮的底部设有绝缘块,所述绝缘块由绝缘材料制成。2.根据权利要求1所述的用于离心电镀机的阳极装置,其特征在于:所述绝缘块刚好覆盖住钛篮的底部。3.根据权利要求2所述的用于离心电镀机的阳极装置,其特征在于:所述绝缘块通过绝缘螺丝固定连接于钛篮的底部。4.根据权利要求1或2或3所述的用于离心电镀机的阳极装置,其特征在于:所述钛篮呈圆柱形。

技术总结
本实用新型公开了一种用于离心电镀机的阳极装置,包括用于装载阳极材料的钛篮,所述钛篮可插入离心电镀机的电镀缸内向电镀药水中补充镀层金属离子,所述钛篮的底部设有绝缘块,所述绝缘块由绝缘材料制成。本实用新型可提高电镀厚度均匀性。提高电镀厚度均匀性。提高电镀厚度均匀性。


技术研发人员:邓才参 谭炳维
受保护的技术使用者:肇庆市英拓自动化设备科技有限公司
技术研发日:2021.01.05
技术公布日:2021/9/14
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