专利名称：一种复合分子泵的整体转子的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种复合分子泵的整体转子。
背景技术：
分子泵一般有牵引分子泵、涡轮分子泵和复合分子泵等。牵引分子泵靠高速运动 的刚体表面来携带气体分子实现抽气，涡轮分子泵是以高速旋转的动叶片和静止的定叶片 相互配合来实现抽气，复合分子泵是由涡轮级和牵引级组成的，兼具前两种泵的优点。分子 泵的核心是转子，不同的泵配备不同形式的转子。涡轮分子泵的抽气性能和使用寿命都与 转子有很大关系。当转子的工作频率需要越过其固有频率时，就会发生剧烈的动片共振，极 易损害设备。当泵口压力突然升高(如大气冲入)时，如果转子的叶片很薄很长，在大气压 力作用下，会使动片与定片相接触，使转子叶片被打得七零八落，损坏严重。组合叶片虽然 加工容易，但是组装过程中带来的误差，降低了转子的回转精度，增加了平衡校正的难度， 进而影响泵的整体性能。鉴于上述原因，本实用新型所述的整体转子有针对性的解决了上 述问题。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题是，针对已有的复合分子泵的转子的运转不稳定 的问题，提供一种复合分子泵的整体转子，其抽速大，压缩比高，回转精度高，叶片强度高。本实用新型通过下列技术方案解决上述技术问题一种复合分子泵的整体转子，包括涡轮叶片级和沟槽拖动级，所述的涡轮叶片级 和沟槽拖动级为一整体结构。所述的涡轮叶片级和沟槽拖动级采用铝合金材料。所述的涡轮叶片级的叶片厚度从根部向外逐渐减小。所述的涡轮叶片级的叶片倾角在40度至12度之间，且呈逐渐变化的关系。本实用新型的优点是，复合分子泵的整体转子使用一整块材料加工而成，涡轮叶 片级和沟槽拖动级为一整体材料，涡轮叶片厚度自根部到边缘厚度逐渐减小，抽气沟槽自 顶向下深度逐渐减小，转子固有频率远高于工作频率，使用高强度铝合金。
图1为本实用新型的整体结构示意图。图中标记说明1——涡轮叶片级2——沟槽拖动级具体实施方式
图1所示，一种复合分子泵的整体转子，包括涡轮叶片级1和沟槽拖动级2，所述的 涡轮叶片级1和沟槽拖动级2为一整体结构。[0014]所述的涡轮叶片级1和沟槽拖动级2采用铝合金材料。所述的涡轮叶片级1的叶片厚度从根部向外逐渐减小。所述的涡轮叶片级1的叶片倾角在40度至12度之间，涡轮叶片抽气级1由8级 叶片组成，且呈逐渐变化的关系，前几级具有大的抽速，后几级具有大的压缩比。沟槽拖动 级2由六条深度渐浅的螺旋沟槽组成。叶片和沟槽由高速四轴联动数控铣床加工而成。
权利要求一种复合分子泵的整体转子，包括涡轮叶片级和沟槽拖动级，其特征在于所述的涡轮叶片级和沟槽拖动级为一整体结构。
2.根据权利要求1所述的一种复合分子泵的整体转子，其特征在于所述的涡轮叶片 级和沟槽拖动级采用铝合金材料。
3.根据权利要求1所述的一种复合分子泵的整体转子，其特征在于所述的涡轮叶片 级的叶片厚度从根部向外逐渐减小。
4.根据权利要求1所述的一种复合分子泵的整体转子，其特征在于所述的涡轮叶片 级的叶片倾角在40度至12度之间，且呈逐渐变化的关系。
专利摘要本实用新型公开一种复合分子泵的整体转子，包括涡轮叶片级和沟槽拖动级，涡轮叶片级和沟槽拖动级为一整体结构。其优点是涡轮叶片级和沟槽拖动级为一整体材料，涡轮叶片厚度自根部到边缘厚度逐渐减小，抽气沟槽自顶向下深度逐渐减小，转子固有频率远高于工作频率，使用高强度铝合金。
文档编号F04D29/02GK201615070SQ20102003274
公开日2010年10月27日 申请日期2010年1月5日 优先权日2010年1月5日
发明者郭盘林 申请人:上海三井真空设备有限公司