专利名称：真空室角阀的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空室角阀，特别是涉及一种用于对真空室进行抽真空的真空室角阀。
背景技术：
近些年来，真空工业发展十分迅速，究其原因，主要是利用真空这个物理条件来完成在大气压下无法实现的各种崭新工艺。目前，其他工业技术领域特别是高新技术领域对真空技术的需求还在不断增加，比如在纳米技术领域中，需要利用真空环境来实现纳米级加工。然而，应用真空技术的前提是要创造出一个真空的环境即通过一定的抽真空设备在某一封闭空间中产生、改善和维持真空。在抽真空时，抽真空装置往往需要通过角阀与真空室即被抽气封闭空间进行密封连接，该角阀除了起到密封连接作用外，还需要对整个抽真空过程起辅助控制作用以满足实际生产中对封闭空间中真空度的要求。但是，针对上述需求，现有的只具有简单开关功能的普通角阀已不能再胜任。综上所述，亟待解决的问题是，针对抽真空过程中的特殊要求，设计出相应的角阀以满足实际生产要求。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种真空室角阀，其除了具有更好的密封性和稳定性外，还可以对角阀中分子泵的开与关进行自动控制，进而能够满足抽真空过程中对角阀的要求。为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是一种真空室角阀，该角阀包括气缸，其固定于角阀体上，该气缸的活塞杆通过无油轴承伸入所述角阀体内部；进气口，其用于与真空室密封连接；抽气口一，其与外部机械泵密封连接；抽气口二，其作为分子泵的出气口；以及密封片，其安装于所述活塞杆的顶端，该密封片通过所述活塞杆的压力可以密封住所述分子泵的进气口。所述的真空室角阀中，所述进气口、抽气口一、以及抽气口二通过法兰与外部管件密封连接。本实用新型的优点是，本实用新型真空室角阀上固定有一个气缸，通过气缸可以实现对角阀中分子泵的开与关进行自动控制；另外，所述气缸的活塞杆通过无油轴承伸入所述角阀内部，该无油轴承可以保证缸的活塞杆的在工作时作直线往复运动，进而保证密封片对所述分子泵的进气口进行密封时其位置不会产生偏差，使得密封片具有更好的密封性和稳定性；最后，本实用新型真空室角阀通过所述进气口、抽气口一、以及抽气口二之间配合对真空室进行抽真空。
图1为本实用新型真空室角阀的整体结构示意图。
具体实施方式
为进一步揭示本实用新型的技术方案，兹结合附图详细说明本实用新型的实施方式。图1为本实用新型真空室角阀的整体结构示意图，图中，包括气缸11，其固定于角阀体10上，该气缸11的活塞杆12通过无油轴承13伸入所述角阀体10内部，该无油轴承13可以保证活塞杆12沿直线作往复运动；进气口 19，其用于与真空室即被抽气封闭空间密封连接；抽气口一 14，其与外部机械泵密封连接以通过外部机械泵对真空室进行粗抽气；抽气口二 18，其作为分子泵17的出气口，该分子泵17在上述机械泵通过抽气口一 14 对真空室进行粗抽气后，可对真空室进行进一步的抽气；以及密封片15，其通过接头16安装于所述活塞杆12的顶端，该密封片15通过所述活塞杆12的压力可以密封住所述分子泵 17的进气口 ；另外，所述进气口 19、抽气口一 14、以及抽气口二 18通过法兰与外部管件密封连接。
以下结合附图说明本实用新型真空室角阀在工作时的动作情况。首先，所述进气口 19、抽气口一 14和抽气口二 18分别通过法兰与真空室、机械泵和出气管道密封连接，所述密封片15通过所述活塞杆12的压力密封住所述分子泵17的进气口 ；然后，通过机械泵对真空室进行粗抽真空；最后，在进行粗抽真空后，通过控制气缸 11中活塞杆12的运动使得密封片15离开分子泵17的进气口，并通过该分子泵12继续对真空室抽真空直至达到生产要求。同时，在以上过程中，所述气缸11可接收外部的控制，实现了对角阀中分子泵的开与关的自动控制。以上通过对所列实施方式的介绍，阐述了本实用新型的基本构思和基本原理。但本实用新型绝不限于上述所列实施方式，凡是基于本实用新型的技术方案所作的等同变化、改进及故意变劣等行为，均应属于本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种真空室角阀，其特征在于，该角阀包括气缸(11)，其固定于角阀体(10)上，该气缸(11)的活塞杆(12)通过无油轴承(13)伸入所述角阀体(10)内部；进气口(19)，其用于与真空室密封连接；抽气口一(14)，其与外部机械泵密封连接；抽气口二(18)，其作为分子泵(17)的出气口 ；以及密封片(15)，其安装于所述活塞杆(12)的顶端，该密封片(15)通过所述活塞杆(12)的压力可以密封住所述分子泵(17)的进气口。
2.根据权利要求1所述的真空室角阀，其特征在于，所述进气口(19)、抽气口一(14)、 以及抽气口二( 18)通过法兰与外部管件密封连接。
专利摘要本实用新型公开了一种真空室角阀，该角阀包括气缸、进气口、抽气口一、抽气口二、以及密封片。本实用新型真空室角阀中，通过气缸可以实现对角阀中分子泵的开与关进行自动控制；另外，所述气缸的活塞杆通过无油轴承伸入所述角阀内部，该无油轴承可以保证缸的活塞杆的在工作时作直线往复运动，进而保证密封片对所述分子泵的进气口进行密封时其位置不会产生偏差，使得密封片具有更好的密封性和稳定性；最后，本实用新型真空室角阀通过所述进气口、抽气口一、以及抽气口二之间配合对真空室进行抽真空。
文档编号F04D27/00GK202091229SQ20112020832
公开日2011年12月28日 申请日期2011年6月20日 优先权日2011年6月20日
发明者康进昌, 阮佳龙 申请人:昆山振昆纳米科技有限公司