专利名称：风机过滤器固定装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及风机配套的附属部件结构技术领域，尤其涉及一种风机过滤器固
定装置。
背景技术：
随着半导体工艺设备的发展，对集成电路硅片的清洗制造工艺要求也越来越高。集成电路清洗工艺过程中，风机过滤器(Fan Filter Unit，简称为“FFU”)主要用于微小颗粒过滤、产生较均匀的风速以求得到一个良好的层流环境。因此，对于风机过滤器的安装要求也必然越来越高。目前，国内外大多数的半导体设备生产商均采用一种如图1和图2所示的固定装置I来对风机过滤器a进行安装，当固定装置I周围无其他物体时，安装过程简单方便。但当固定装置I周围有其他物体时，如两个或者多个FFU的边缘均需要固定装置I进行紧固时，由于FFU的高度较高，通常在300mm以上，受工艺腔室微空间需求的限制，这两个或多个FFU之间的间隙通常是宜小而不宜大的，一般在50mnT60mm之间，如图3所示，固定装置I的通孔5很靠近FFU a的边缘，在实际安装时没有合适的工具对其进行安装，导致安装困难和拆卸不便；而且如果安装时固定装置I无法正常拧紧，会导致FFU a各部分受机械应力不均匀，存在局部漏气的危险。
实用新型内容(一)要解决的技术问题本实用新型提供一种风机过滤器固定装置，用以解决现有的风机过滤器固定装置存在的上述问题。(二)技术方案本实用新型提供一种风机过滤器固定装置，所述风机过滤器固定装置为T型结构，且所述风机过滤器固定装置的上底面两端均具有凸起，其中，T型结构与所述凸起之间的卡槽与风机过滤器的边缘匹配；所述风机过滤器固定装置上设置有贯穿上、下底面的通孔。如上所述的风机过滤器固定装置，优选的是，所述通孔设置在所述风机过滤器固定装置上下底面的中间位置。如上所述的风机过滤器固定装置，优选的是，所述通孔的横截面为圆形或长圆形。如上所述的风机过滤器固定装置，优选的是，所述固定装置的材质为铝合金。(三)有益效果本实用新型所提供的风机过滤器固定装置为T型结构，且风机过滤器固定装置的上底面两端均具有凸起，其中，T型结构与凸起之间的卡槽与风机过滤器的边缘匹配，风机过滤器固定装置上还设置有贯穿上、下底面的通孔，使得当风机过滤器固定装置周围有其他物体时，如两个或者多个FFU的边缘需要固定时，增加了通孔与FFU边缘的距离，便于风机过滤器的安装固定，且拆卸方便。
图1为现有技术中风机过滤器固定装置的结构示意图；图2为图1的剖视图；图3为现有技术中风机过滤器固定装置固定FFU时的位置关系示意图；图4为本实用新型实施例中风机过滤器固定装置的结构示意图；图5为图4的剖视图；图6为本实用新型实施例中风机过滤器固定装置固定FFU时的位置关系示意图；图中，1:风机过滤器固定装直；a :风机过滤器；2 :螺钉；3 :常封塾圈；4 :招板；5 通孔；6 :凸起；7 :卡槽。
具体实施方式
以下结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式
作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。图4所示为本实用新型实施例中风机过滤器固定装置的结构示意图。结合图4和图5所示，本实施例中风机过滤器固定装置I为T型结构，且风机过滤器固定装置I上底面两端均具有凸起6，其中，T型结构与凸起6之间的卡槽7与风机过滤器a的边缘匹配；风机过滤器固定装置I上还设置有贯穿上、下底面的通孔5。其中，通孔5的横截面可以为任意形状，如圆形或长圆形；本实施例中优选将通孔5设置在风机过滤器固定装置I上底面的中间位置，这样在安装和拆卸风机过滤器a时较为方便，还可以保证在工作过程中风机过滤器a受力均匀，防止发生应力集中，损坏风机过滤器a。在生产风机过滤器固定装置I时，可以根据各FFU a之间的实际尺寸和安装要求调整风机过滤器固定装置I的长度和宽度，标上不同的型号以便进行批量生产，并根据需要调整通孔5的位置和数量，比如长度、宽度较大时，可以在风机过滤器固定装置I上底面中间设置两排通孔5，保证FFU a安装紧密且受力均匀。风机过滤器固定装置I选择强度比较高的材质，如铝合金，以保证FFU a安装牢靠。本实用新型所提供的风机过滤器固定装置为T型结构，且风机过滤器固定装置的上底面两端均具有凸起，其中，T型结构与凸起之间的卡槽与风机过滤器的边缘匹配，并设置有贯穿上下底面的通孔，使得当风机过滤器固定装置周围有其他物体时，如两个或者多个FFU a的边缘需要固定时，增加了通孔与FFU边缘的距离，便于风机过滤器的安装固定，且拆卸方便。图6所示为本实用新型实施例中风机过滤器固定装置固定FFU a时的位置关系示意图。本实施例中以固定两个FFU a之间的边缘为例来说明风机过滤器固定装置I固定FFU a的方法，如图6所示，工艺腔室的内壁铝板4上开有螺钉孔，该螺纹孔与风机过滤器固定装置I上的通孔5配合，使得可以通过螺钉2将风机过滤器固定装置I固定在铝板4上。同时，风机过滤器固定装置I的T型结构与凸起6之间的卡槽7与风机过滤器a的边缘匹配，将FFU a压紧固定到铝板4上，从实现对FFU a的固定。[0027]为了达到良好的密封效果，可以在FFU a与铝板4之间设置密封垫片3，防止出现局部漏气。为了防止因加工误差导致通孔5与铝板4上的螺纹孔有偏差，本实施例中优选通孔5的横截面为长圆形，当出现上述情况时，可以在通孔5中微调螺钉2的位置正对铝板4上的螺纹孔，大大降低次品率，节省材料。本实用新型实施例中当仅固定一个FFU a的边缘时，可以采用图1所示的风机过滤器固定装置1，也可以采用图4所示的本实用新型实施例中的风机过滤器固定装置1，只要满足安装方便、牢固即可。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种风机过滤器固定装置，其特征在于，所述风机过滤器固定装置为T型结构，且所述风机过滤器固定装置的上底面两端均具有凸起，其中，T型结构与所述凸起之间的卡槽与风机过滤器的边缘匹配；所述风机过滤器固定装置上设置有贯穿上、下底面的通孔。
2.根据权利要求1所述的风机过滤器固定装置，其特征在于，所述通孔设置在所述风机过滤器固定装置上底面的中间位置。
3.根据权利要求1所述的风机过滤器固定装置，其特征在于，所述通孔的横截面为圆形或长圆形。
4.根据权利要求1所述的风机过滤器固定装置，其特征在于，所述风机过滤器固定装置的材质为铝合金。
专利摘要本实用新型提供一种风机过滤器固定装置，该风机过滤器固定装置为T型结构，且风机过滤器固定装置的上底面两端均具有凸起，其中，T型结构与凸起之间的卡槽与风机过滤器的边缘匹配，该风机过滤器固定装置上还设置有贯穿上、下底面的通孔，使得当风机过滤器固定装置周围有其他物体时，如两个或者多个FFU的边缘需要固定时，增加了通孔与FFU边缘的距离，便于风机过滤器的安装固定，且拆卸方便。
文档编号F04D29/00GK202833248SQ20122034486
公开日2013年3月27日 申请日期2012年7月16日 优先权日2012年7月16日
发明者徐俊成, 贾星杰, 王营营, 李广义, 高 浩 申请人:北京七星华创电子股份有限公司