用于镀膜机上的空气过滤器的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及镀膜机的辅助设备，具体地是一种用于镀膜机上的空气过滤器。
【背景技术】
[0002]近年来随着镀膜技术的发展，产品镀膜工艺已经从传统金属加工业延伸至半导体行业以及光电产业。真空镀膜已经成为了非金属电镀过程的重要技术手段，其种类大致可分为蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。
[0003]然而无论是上述的哪种形式的真空镀膜，其镀膜过程都需要一个良好的真空环境，现有技术中依靠抽真空设备，例如机械泵加扩散泵的组合设备，已经可以很好的满足镀膜机的真空度要求，并且，在产品完成镀膜后，通过打开泄压阀即可进行泄压，最终出料。
[0004]不难看出，上述的现有技术的泄压过程将会伴随着较大的吸力，尤其对于使用环境较差的厂房，直接打开泄压阀将会使大量的杂质颗粒被吸入镀膜机内部，不仅影响到后续产品的镀膜过程，而且可能会导致镀膜机内部的部分精密仪表堵塞、损坏。
【发明内容】
[0005]本实用新型所要解决的技术问题是:提供一种用于镀膜机上的可以在镀膜机真空泄压过程中净化镀膜机吸入的空气的空气过滤器。
[0006]本实用新型所采取的技术方案是:提供一种用于镀膜机上的空气过滤器，它包括带有进气口和出气口的壳体，与壳体的出气口相连通的气管，壳体的腔体内位于进气口与出气口之间设有滤芯板组件，所述滤芯板组件包括滤芯和若干相互平行的隔板，奇数块隔板与壳体的内腔顶面固定，偶数块隔板与壳体的内腔底面固定，且全部隔板和壳体内壁围绕成一盘旋前进的气流通道，所述滤芯设于气流通道内近出气口的位置。
[0007]采用以上结构后，本实用新型的用于镀膜机上的空气过滤器与现有技术相比具有以下优点:首先，通过空气过滤器使镀膜机进行真空泄压的过程中，吸附镀膜机的空气的净度较高，有利于镀膜机内镀膜环境的净化，同时也提高镀膜机内精密仪器的使用寿命，其次，通过隔板设置盘旋前进的气流通道便于外部空气进一步的进行净化。
[0008]作为优选，所述壳体上近进气口的位置设有与进气口相连通的防尘气嘴，所述防尘气嘴位于壳体外侧的部分形成折弯。通过折弯的防尘气嘴可以防止大颗粒的杂质落入过滤器中，初步进行防尘作用。
[0009]作为优选，所述气管与出气口相连通是指，所述气管的一端伸入壳体内且沿竖直方向延伸至近壳体内腔底面的位置，所述壳体与气管外侧壁的连接处固定且密封。
[0010]作为改进，所述壳体下方设有积尘腔室，所述积尘腔室与壳体内腔之间通过若干通孔连通，且所述通孔沿竖直方向位于进气口的下方。通过设置积尘腔室可以使气流变向过程中在离心力的作用下将较重的杂质落入积尘腔室内，最后通过滤芯过滤较小粒径的尘埃。
【附图说明】
[0011]图1是本实用新型的用于镀膜机上的空气过滤器的结构示意图。
[0012]图2是本实用新型的俯视图。
[0013]图3为图1中“A-A”方向的剖视图。
[0014]图4为图1中“B”区域的放大示意图。
[0015]其中，1、壳体，1.1、进气口，1.2、出气口，2、气管，3、滤芯，4、隔板，5、防尘气嘴，6、积尘腔室，6.1、通孔。
【具体实施方式】
[0016]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步说明。
[0017]如图所示，本实用新型提供一种用于镀膜机上的空气过滤器，它包括带有进气口1.1和出气口 1.2的壳体1，与壳体I的出气口 1.2相连通的气管2，壳体I的腔体内位于进气口 1.1和出气口 1.2之间设有滤芯板组件，所述滤芯板组件包括滤芯3和若干相互平行的隔板4，奇数块隔板4与壳体I的内腔顶面固定，偶数块隔板4与壳体I的内腔底面固定，且全部隔板4和壳体I内壁围绕成一盘旋前进的气流通道，所述滤芯3设于气流通道内近出气口 1.2的位置。如图所示，所述的壳体为圆柱状，且进气口 1.1设于壳体I的上端面近侧壁的位置，所述的出气口 1.2设于壳体I的上端面的中心位置。所述的隔板4为环形板，作为优选，环形的隔板4的沿竖直方向上的宽度等于壳体I内腔的沿竖直方向上的宽度的 3/4。
[0018]所述壳体I上近进气口 1.1的位置设有与进气口 1.1相连通的防尘气嘴5，所述防尘气嘴5位于壳体I外侧的部分形成折弯。
[0019]进一步地，如图所示，所述防尘气嘴5与外部空气连通的一端呈水平状，且该防尘气嘴5的与外部空气相连通的一端的端面上设有挡边，所述挡边设于防尘气嘴5端面的上方。通过挡边进一步的防止竖直落下的杂质颗粒调入防尘气嘴5内。
[0020]所述气管2与出气口 1.2相连通是指，所述气管2的一端伸入壳体I内且沿竖直方向延伸至近壳体I内腔底面的位置，所述壳体I与气管2外侧壁的连接处固定且密封。且所述的滤芯3套于气管2伸入壳体I内的部分的外侧壁上。
[0021 ] 所述壳体I下方设有积尘腔室6，所述积尘腔室6与壳体I内腔之间通过若干通孔6.1连通，且所述通孔6.1沿竖直方向位于进气口 1.1的下方。
[0022]作为改进，所述的隔板为导电板，且隔板均连通外部电源，通过静电吸附达到一定的除尘效果。
[0023]以上就本实用新型较佳的实施例作了说明，但不能理解为是对权利要求的限制。本实用新型不仅局限于以上实施例，其具体结构允许有变化，凡在本实用新型独立要求的保护范围内所作的各种变化均在本实用新型的保护范围内。
【主权项】
1.一种用于镀膜机上的空气过滤器，它包括带有进气口(1.1)和出气口(1.2)的壳体(1)，与壳体⑴的出气口(1.2)相连通的气管(2)，壳体⑴的腔体内位于进气口(1.1)和出气口(1.2)之间设有滤芯板组件，其特征在于:所述滤芯板组件包括滤芯(3)和若干相互平行的隔板(4)，奇数块隔板(4)与壳体(I)的内腔顶面固定，偶数块隔板(4)与壳体(I)的内腔底面固定，且全部隔板⑷和壳体⑴内壁围绕成一盘旋前进的气流通道，所述滤芯(3)设于气流通道内近出气口(1.2)的位置。
2.根据权利要求1所述的用于镀膜机上的空气过滤器，其特征在于:所述壳体(I)上近进气口(1.1)的位置设有与进气口(1.1)相连通的防尘气嘴(5)，所述防尘气嘴(5)位于壳体(I)外侧的部分形成折弯。
3.根据权利要求1所述的用于镀膜机上的空气过滤器，其特征在于:所述气管(2)与出气口(1.2)相连通是指，所述气管(2)的一端伸入壳体(I)内且沿竖直方向延伸至近壳体(I)内腔底面的位置，所述壳体(I)与气管(2)外侧壁的连接处固定且密封。
4.根据权利要求1所述的用于镀膜机上的空气过滤器，其特征在于:所述壳体(I)下方设有积尘腔室出)，所述积尘腔室(6)与壳体(I)内腔之间通过若干通孔(6.1)连通，且所述通孔(6.1)沿竖直方向位于进气口(1.1)的下方。
【专利摘要】本实用新型公开了一种用于镀膜机上的空气过滤器，它包括带有进气口(1.1)和出气口(1.2)的壳体(1)，与壳体(1)的出气口(1.2)相连通的气管(2)，壳体(1)的腔体内位于进气口(1.1)和出气口(1.2)之间设有滤芯板组件，其特征在于：所述滤芯板组件包括滤芯(3)和若干相互平行的隔板(4)，奇数块隔板(4)与壳体(1)的内腔顶面固定，偶数块隔板(4)与壳体(1)的内腔底面固定，且全部隔板(4)和壳体(1)内壁围绕成一盘旋前进的气流通道。本实用新型提供一种用于镀膜机上的可以在镀膜机真空泄压过程中净化镀膜机吸入的空气的空气过滤器。
【IPC分类】C23C14-56
【公开号】CN204325491
【申请号】CN201420840771
【发明人】林国华
【申请人】江西昌佳鑫科技有限公司
【公开日】2015年5月13日
【申请日】2014年12月25日