一种用于靶材加工后的粉末阻燃装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种用于靶材加工后的粉末阻燃装置，按国际专利分类表(IPC)划分属于靶材加工中剩余粉末处理技术领域。
【背景技术】
[0002]镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。
[0003]目前，为确保靶材质量优选选择器在真空环境下将粉末溅射在基体上进行加工，而靶材加工完成后真空罐体内回复常压状态，其中必定会留有残余粉末(未被融化使用的粉末)，多次加工后聚集很多粉末，直接影响靶材的加工，而现有的残余粉末处理结构为真空罐直接连通除尘器，而这种结构在粉末处理过程中微粉容易自燃吸入除尘器导致除尘器内部滤芯易发生着火。
[0004]由此，本发明人考虑对现有的靶材加工后的粉末处理结构进行改进，本案由此产生。
【实用新型内容】
[0005]针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于靶材加工后的粉末阻燃装置，其设置在真空罐体与除尘器之间，且其利用增加粉末从真空罐体至除尘器的间距，进而有效实现粉末阻燃的目的。
[0006]为达到上述目的，本实用新型是通过以下技术方案实现的:
[0007]—种用于靶材加工后的粉末阻燃装置，该阻燃装置包括两段硬质管及滤筒，所述滤筒位于两段硬质管之间，并与两段硬质管分别连通。
[0008]进一步，所述滤筒的首、尾两端分别与一个硬质管尾端、另一个硬质管首段相连通；所述一个硬质管的首端套设有软管，而该软管与用于靶材喷涂的真空罐体的除尘口连通；所述另一个硬质管的尾端与除尘器相连通，从而形成在真空喷涂罐体与除尘器之间的粉末阻燃结构。
[0009]进一步，所述滤筒包括筒体及筒盖，所述筒体两侧面均有开口，且所述开口分别于两段硬质管连通；所述筒盖扣设在筒体上端面。
[0010]与现有技术相比较，本实用新型的优点:
[0011]本实用新型所述的粉末阻燃装置设置在真空罐体与除尘器之间，且其利用增加粉末从真空罐体至除尘器的间距，粉末通过管吸入至一个滤筒沉淀后在进入除尘，在过程中自燃的粉末将熄灭，不会造成除尘设备着火。
【附图说明】
[0012]图1是本实用新型结构示意图。
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
[0014]实施例:请参阅图1所示，一种用于靶材加工后的粉末阻燃装置，该阻燃装置包括两段硬质管I及滤筒2，所述滤筒2位于两段硬质管I之间，并与两段硬质管I分别连通。
[0015]请参阅图1所示，前述滤筒2的首、尾两端分别与一个硬质管尾端1、另一个硬质管I首段相连通；所述一个硬质管的I首端套设有软管C，而该软管C与用于靶材喷涂的真空罐体A的除尘口连通；所述另一个硬质管I的尾端与除尘器B相连通，从而形成在真空喷涂罐体A与除尘器B之间的粉末阻燃结构。
[0016]前述滤筒2包括筒体21及筒盖22，所述筒体21两侧面均有开口，且所述开口分别于两段硬质管连通；所述筒盖22扣设在筒体上端面。
[0017]以上所记载，仅为利用本创作技术内容的实施例，任何熟悉本项技艺者运用本创作所做的修饰、变化，皆属本创作主张的专利范围，而不限于实施例所揭示者。
【主权项】
1.一种用于靶材加工后的粉末阻燃装置，其特征在于:该阻燃装置包括两段硬质管及滤筒，所述滤筒位于两段硬质管之间，并与两段硬质管分别连通。
2.根据权利要求1所述的一种用于靶材加工后的粉末阻燃装置，其特征在于:所述滤筒的首、尾两端分别与一个硬质管尾端、另一个硬质管首段相连通；所述一个硬质管的首端套设有软管，而该软管与用于靶材喷涂的真空罐体的除尘口连通；所述另一个硬质管的尾端与除尘器相连通，从而形成在真空喷涂罐体与除尘器之间的粉末阻燃结构。
3.根据权利要求2所述的一种用于靶材加工后的粉末阻燃装置，其特征在于:所述滤筒包括筒体及筒盖，所述筒体两侧面均有开口，且所述开口分别于两段硬质管连通；所述筒盖扣设在筒体上端面。
【专利摘要】本实用新型公开一种用于靶材加工后的粉末阻燃装置，该阻燃装置包括两段硬质管及滤筒，所述滤筒位于两段硬质管之间，并与两段硬质管分别连通。本实用新型所述的粉末阻燃装置设置在真空罐体与除尘器之间，且其利用增加粉末从真空罐体至除尘器的间距，粉末通过管吸入至一个滤筒沉淀后在进入除尘，在过程中自燃的粉末将熄灭，不会造成除尘设备着火。
【IPC分类】C23C14-34
【公开号】CN204325481
【申请号】CN201420816850
【发明人】曾青云, 罗永春, 石煜, 罗承钦
【申请人】厦门映日新材料科技有限公司
【公开日】2015年5月13日
【申请日】2014年12月22日