一种真空泵的解决方案的制作方法

文档序号:12259587阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种真空泵的解决方案,其特征在于:圆台形泵盖由刚体外沿、刚体底面和非刚体侧面密封在一起,形成一个完整的整体;泵盖外沿的直径大于泵盖底面的直径;泵盖底面经由泵盖外延的中间穿梭于泵盖外沿所处平面的两侧时,泵盖非刚体侧面处于弯曲的状态;泵盖底面处于泵盖外沿所处平面的任意一侧的最远位置时,泵盖非刚体侧面处于平直的状态;圆台形泵壳是一个完整的刚体,由外沿、底面和平直侧面组成;泵盖和泵壳的组成材料要求耐真空负压和水蒸气;泵盖非刚体侧面的材料要求结实、耐用、不透气和弹性形变小;泵壳底面留有吸气孔和排气孔分别外接吸气阀和排气阀;用密封圈和螺栓将泵盖外沿和泵壳外沿密封在一起,泵壳处于泵盖外沿所处平面的同一侧;泵壳底面、泵壳平直侧面、泵盖非刚体侧面和泵盖底面围成泵腔;泵盖底面和其外侧的泵柄形成刚性垂直连接;导轨引导泵柄的运动轨迹垂直于泵壳底面,导轨处于泵盖外沿所处平面的另一侧,与泵壳一侧相对;导轨位于泵盖底面和泵盖非刚体侧面的运动范围以外;传动机构采用曲柄连杆传动或者齿轮传动等任何适用的方式驱动泵柄进行往复运动,使得与泵柄刚性垂直连接的泵盖底面穿梭于泵盖外沿所处平面的两侧;在泵盖底面从泵壳一侧向导轨一侧运动的过程中,泵腔容积增大,排气阀关闭,经由吸气阀吸气,在泵盖底面运动到导轨一侧的最远位置时,此处为最大吸气位置,泵盖底面与泵壳底面相对于泵盖外沿所处平面处于对称位置,泵盖非刚体侧面处于平直的状态,泵腔容积达到最大;在泵盖底面从导轨一侧向泵壳一侧运动的过程中,泵腔容积减小,吸气阀关闭,经由排气阀排气,在泵盖底面运动到泵壳一侧的最远位置时,此处为最大排气位置,泵盖底面充分贴合泵壳底面,泵盖非刚体侧面处于平直的状态,得以充分贴合泵壳平直侧面,泵腔容积达到最小;交替进行的吸气和排气两个过程能够实现抽气功能。

2.权利要求1所述的真空泵的解决方案,其特征在于:两个真空泵共用泵柄、导轨和传动机构,构成一个真空泵组;泵柄的两端分别与两个真空泵的泵盖底面形成刚性垂直连接,使得两个真空泵并列相向;共用的泵柄使得两个真空泵交替吸气,始终处于相反的工作状态,当一个真空泵吸气时另一个真空泵排气,当一个真空泵处于最大吸气位置时另一个真空泵处于最大排气位置,反之亦然;通过外部导气管的不同连接方式能够实现真空泵组的两个真空泵的串联和并联两种工作模式;在串联工作模式下,前级真空泵的排气阀直接向外部空间排气,前级真空泵的吸气阀经外部导气管连接到后级真空泵的排气阀,后级真空泵的吸气阀经外部导气管连接到被抽容器的排气孔,因为前级真空泵能为后级真空泵提供一定真空度的排气环境,使得后级真空泵能为被抽容器提供更高真空度的排气环境,所以真空泵组的交替吸气的两个串联的真空泵能够实现更高真空度的抽气功能;在并联工作模式下,两个真空泵的排气阀直接向外部空间排气,两个真空泵的吸气阀经外部导气管连接到被抽容器的排气孔,因为任何时刻都有一个真空泵处于吸气过程,所以真空泵组的交替吸气的两个并联的真空泵能够实现连续的抽气功能。

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