具有螺杆转子和槽的干式真空泵的制作方法

本发明涉及干式真空泵，更详细地，涉及如下的具有螺杆转子和槽的干式真空泵，即，优化在干式真空泵形成真空的螺杆转子的叶片的形状及结合结构，通过在壳体的内部形成槽来实现高真空和高效率，并防止冷凝及腐蚀。

背景技术：

一般而言，真空泵为用于去除密闭容器内的气体分子的装置，通过在低于大气压的低压吸入、压缩气体后向大气中排出来提高容器内的真空度。这种真空泵大体分为分别以干式和湿式表示的机械式真空泵和扩散/离子泵。为实现高真空，扩散/离子泵为使用油或水银的湿式泵，与此不同地，虽然机械式真空泵的真空度相对低，但由于是不使用油的干式型泵，其结构相对简单、耐久性优秀，并且由于显示出稳定的真空度，具有使用人员可以容易操作、维持费用低的优点，因此被广泛使用于各产业领域。但是，在干式真空泵中，聚合物、单体、粉末、灰尘等与冷凝性蒸汽一同冷凝的情况下，螺杆及壳体容易受损，在流入具有腐蚀性的其他工序物质的情况下，存在发生内部腐蚀的问题。

韩国授权专利公报第10-1074633号公开了设置有二级螺杆的水冷式干式真空泵，上述设置有二级螺杆的水冷式干式真空泵包括：主动螺杆转子及从动螺杆转子，在一对主动轴及从动轴安装有一级螺杆及二级螺杆，上述一级螺杆及二级螺杆以不同的导螺杆的长度加工而成，并与上述一对主动轴及从动轴形成为一体；前端盖体，包括与冷却水注入口、用于防止气体的泄露的油封、单轴承、安全轴以法兰连接的方式相紧固的定时齿轮；前端框架，由排出口的水套、用于防止气体的泄露的机械密封件及双列轴承构成；本体，在本体的上部形成有吸入口和冷却水排出口，在本体的上部的两侧面分别形成有冷却水循环空间，在本体的左侧部安装有用于防止上述主轴及从轴的工作或设置时所产生的晃动的导向板，在与上述主轴及从轴相紧固的右侧末端安装有油封、唇型密封件、滚子轴承；以及油脂盖体，安装于上述本体的右侧端，用于密封上述本体的内部。但这也如上述记载，仍然存在螺杆及壳体受损以及内部腐蚀的问题。

技术实现要素：

技术问题

为解决上述问题，本发明的目的在于提供如下的具有螺杆转子和槽的干式真空泵，即，与设置有一个螺杆的干式真空泵相比，可以提高泵的效率，并在同等动力条件下，可通过高旋转来实现高真空，同时可以节减动力，在异物流入内部的情况下，也能够最小化螺杆及壳体受损以及内部的腐蚀。

解决问题的方案

为实现上述目的，本发明的具有螺杆转子和槽的干式真空泵包括：主动螺杆，设置有以主动轴为中心旋转的三个以上的转子；从动螺杆，设置有以从动轴为中心旋转的三个以上的转子，以与上述主动螺杆相啮合的方式旋转；壳体，内置有上述主动螺杆和从动螺杆；至少两个槽，设置于上述壳体的内周面。

本发明的再一特征在于，上述槽横向设置于主动轴与从动轴之间，更具体地，在上述主动螺杆从流体吸入部向流体排气部的方向依次设置有主动螺杆一级转子、主动螺杆二级转子、主动螺杆三级转子、主动螺杆四级转子、主动螺杆五级转子，在上述从动螺杆从流体吸入部向流体排气部的方向依次设置有从动螺杆从动螺杆一级转子、从动螺杆二级转子、从动螺杆三级转子、从动螺杆四级转子、从动螺杆五级转子，在设置有主动螺杆二级转子及从动螺杆二级转子的壳体的内周面设置有第一槽，在设置有主动螺杆三级转子及从动螺杆三级转子的壳体的内周面设置有第二槽，在设置有主动螺杆四级转子及从动螺杆四级转子的壳体的内周面设置有第三槽，在设置有主动螺杆五级转子及从动螺杆五级转子的壳体的内周面设置有第四槽。

本发明的另一特征在于，上述槽横向设置于主动轴与从动轴之间，并以与转子的倾斜度平行的方式倾斜。

发明的效果

如上所述，本发明的具有螺杆转子和槽的干式真空泵具有如下的效果，即，与设置有一个螺杆的干式真空泵相比，可以提高泵的效率，并在同等动力条件下，可通过高旋转来实现高真空，同时可以节减动力。并且，防止在壳体的内部所发生的冷凝并灵活移动及去除发生冷凝时所生成的冷凝物，从而在异物流入内部的情况下，也最小化螺杆及壳体受损以及内部的腐蚀。

附图说明

图1为现有的设置有二级螺杆的水冷式干式真空泵的横向剖视图。

图2为现有的具有螺杆转子的干式真空泵的压力和温度平行图。

图3为本发明的具有螺杆转子和槽的干式真空泵的主动螺杆的侧视图。

图4为本发明的具有螺杆转子和槽的干式真空泵的横向剖视图。

图5为本发明的具有螺杆转子和槽的干式真空泵的s-s’剖视图。

图6为本发明的具有螺杆转子和槽的干式真空泵的实施例的横向剖视图。

具体实施方式

图4和图5分别为本发明的具有螺杆转子和槽的干式真空泵横向剖视图和s-s’部分的剖视图，参照其对本发明的结构进行如下的说明。

具有螺杆转子和槽的干式真空泵的特征在于，包括：主动螺杆10，设置有以主动轴11为中心旋转的三个以上的转子；从动螺杆20，设置有以从动轴21为中心旋转的三个以上的转子，以与上述主动螺杆10相啮合的方式旋转；壳体30，内置有上述主动螺杆10和从动螺杆20；以及至少两个槽40，设置于上述壳体30的内周面。

并且，上述槽40的特征在于，横向设置于主动轴11与从动轴21之间。

图2为现有的具有螺杆转子的干式真空泵的压力和温度平行图，图3为本发明的具有螺杆转子和槽的干式真空泵的主动螺杆的侧视图，参照其对本发明的原理进行如下说明。

在一般的螺杆干式真空泵中，通过流体吸入部a流入的气体借助一级转子a及二级转子b开始进行压缩。此时，因较低的温度和高真空状态而容易发生气体的冷凝。与此相比，三级转子c及四级转子d通过执行正式的压缩过程来获得较高的温度和低真空状态，从而显著减少气体冷凝的发生。并且，五级转子e执行以相比大气压高的压力向流体排气部b排气的过程。如上所述，为解决因在具有螺杆转子的干式真空泵壳体的内部所发生的冷凝而产生的问题，尤其需要在一级转子a及二级转子b的位置防止冷凝或者去除因冷凝而生成的冷凝物的对策。

图6为本发明的具有螺杆转子和槽的干式真空泵的实施例的横向剖视图，参照其对用于解决上述问题的实施例的结构进行如下的说明。

具有螺杆转子和槽的干式真空泵的特征在于，包括：主动螺杆10，设置有以主动轴11为中心旋转的三个以上的转子；从动螺杆20，设置有以从动轴21为中心旋转的三个以上的转子，以与上述主动螺杆10相啮合的方式旋转；壳体30，内置有上述主动螺杆10和从动螺杆20；以及至少两个槽40，设置于上述壳体30的内周面，在上述主动螺杆10从流体吸入部a向流体排气部b的方向依次设置有主动螺杆一级转子10a、主动螺杆二级转子10b、主动螺杆三级转子10c、主动螺杆四级转子10d、主动螺杆五级转子10，在上述从动螺杆20从流体吸入部a向流体排气部b的方向依次设置有从动螺杆一级转子20a、从动螺杆二级转子20b、从动螺杆三级转子20c、从动螺杆四级转子20d、从动螺杆五级转子20e，在设置有主动螺杆二级转子10b及从动螺杆二级转子20b的壳体30的内周面设置有第一槽41，在设置有主动螺杆三级转子10c及从动螺杆三级转子20c的壳体30的内周面设置有第二槽42，在设置有主动螺杆四级转子10d及从动螺杆四级转子20d的壳体30的内周面设置有第三槽43，在设置有主动螺杆五级转子10e及从动螺杆五级转子20e的壳体30的内周面设置有第四槽44。

压力借助上述第一槽41相对降低，由此可以防止流入壳体30的内部的异物的冷凝。但是，在第一槽41的面积充分大的情况下，防止冷凝效果虽然得到提高，但存在真空泵的效果降低的问题，因此槽的面积受限制。由此，脱离第一槽41的防止冷凝效果而发生的冷凝物通过第二槽42、第三槽43移动至流体排气部b侧。以如上所述的方式移动的冷凝物因积蓄在第四槽44而容易被排出。

而且，如图5所示，在设置本发明的具有螺杆转子和槽的干式真空泵的情况下，由于上述槽40仅设置于朝向底部的部分，冷凝物由螺杆转子和重力积蓄在各个槽40，若积蓄至高于槽40的高度，则冷凝物由螺杆转子被强制提取，从而冷凝物从流体吸入部a侧的槽41依次向流体排气部b侧的槽44移动并被排出。

由此，具有以下效果，即，可以防止因冷凝物在真空泵壳体30的内部无法排出而被积蓄从而发生的螺杆和壳体的内部的破损。

除了上述优选实施例，对于一般的二级螺杆干式真空泵，可以适用如下的结构，即，在流体吸入部a侧中频繁发生冷凝的转子部位的内部壳体设置槽40，并向流体排气部b依次设置槽40，来排出冷凝物。并且，上述槽40横向设置于主动轴11与从动轴21之间，并能够以与转子的倾斜度平行的方式倾斜，此外，也可以适用公知的多种槽形状。

本发明对于特定的实施例及适用例进行了图示及说明，但在不脱离通过附加的发明要求保护范围来示出的发明的思想及范围内，本发明所属技术领域的普通技术人员可以进行多种改造及变化。

附图标记的说明

a：流体吸入部b：流体排气部

a：一级转子b：二级转子

c：三级转子d：四级转子

e：五级转子10：主动螺杆

10a：主动螺杆一级转子10b：主动螺杆二级转子

10c：主动螺杆三级转子10d：主动螺杆四级转子

10e：主动螺杆五级转子11：主动轴

20：从动螺杆20a：从动螺杆一级转子

20b：从动螺杆二级转子20c：从动螺杆三级转子

20d：从动螺杆四级转子20e：从动螺杆五级转子

21：从动轴30：壳体

40：槽41：第一槽

42：第二槽43：第三槽

44：第四槽