一种非共振式自适应可换向微型压电泵装置的制作方法

文档序号:15871205发布日期:2018-11-07 21:26阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种非共振式自适应可换向微型压电泵装置,其特征在于:自适应压电泵整体由上盖、泵体、下盖、密封圈和3个压电振子组成;压电振子通过螺栓与密封圈进行连接和密封。

2.根据权利要求1所述的一种非共振式自适应可换向微型压电泵装置,其特征在于:压电振子由金属基板和压电陶瓷粘接而成,采用分割电极法在压电陶瓷的表面电极上分割出面积较小传感单元和面积较大驱动单元。

3.根据权利要求1所述的一种非共振式自适应可换向微型压电泵装置,其特征在于:驱动模块连接驱动单元与金属基板,感应模块连接传感单元与金属基板。

4.根据权利要求1所述的一种非共振式自适应可换向微型压电泵装置,其特征在于:感应模块感知主动阀部压电振子的振动频率和变形幅度,监测主动阀部的开度,并反馈给控制模块,驱动模块受控制模块指示,通过改变主动阀部压电振子驱动电压与频率的方式并结合感应模块信号,使主动阀部的压电振子在吸入和排出过程中实现完全开启或关闭。

5.根据权利要求1所述的一种非共振式自适应可换向微型压电泵装置,其特征在于:感应模块感知动力部压电振子的振动频率和变形幅度,可得到压电泵的实际输出流量,通过改变低电力部压电振子驱动电压与频率的方式并结合感应模块信号,获得设定的输出流量。

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