技术总结
本发明公开了一种分子牵引型真空动密封结构和超高速真空旋转设备，该分子牵引型真空动密封结构用于转子和真空腔室二者之间的动密封，所述转子的密封面和所述真空腔室的密封面二者之间形成密封间隙，所述真空腔室的密封面上设有导引槽，所述导引槽的出口与排气腔连通，其中，高速旋转的所述转子将动量传递给气体分子，所述气体分子在所述导引槽内被牵引至所述排气腔中排出。本发明利用线速度达到分子热运动速度的刚体表面对气体分子的牵引作用，实现超高速旋转条件下对大直径真空室的真空动密封。利用该结构，可以实现大直径转子超高速旋转时，装置两端的气压从105Pa到10‑7Pa的跨越。
技术研发人员：吴宜灿;王文;刘超;季翔;宋勇
受保护的技术使用者：中国科学院合肥物质科学研究院
文档号码：201611226615
技术研发日：2016.12.27
技术公布日：2017.10.13