压电驱动大行程无耦合二维精密微定位平台的制作方法

文档序号:12252890阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种压电驱动大行程无耦合二维精密微定位平台,其特征在于:该平台包括外层支座(1)、菱形位移放大机构、压电陶瓷驱动器、对称长臂铰链、内层基板(5)和工作台(6);工作台(6)嵌套在内层基板(5)上,工作台(6)的Y向一端通过Y向对称长臂铰链(4-1)连接内层基板(5),工作台(6)的Y向另一端通过Y向菱形位移放大机构连接内层基板(5);内层基板(5)嵌套在外层支座(1)上,内层基板(5)的X方向的一端通过X方向长臂铰链(4-2)连接外层支座(1),内层基板(5)的X方向的另一端通过X方向菱形位移放大机构(2-1)连接外层支座(1);压电陶瓷驱动器(3)设置在每个菱形位移放大机构中间,压电陶瓷驱动器(3)顶住菱形位移放大机构内部凸缘(7)。

2.根据权利要求1所述的压电驱动大行程无耦合二维精密微定位平台,其特征在于:工作台(6)、Y方向菱形位移放大机构、Y向对称长臂铰链(4-1)、内层基板(5)、X方向长臂铰链(4-2)、X方向菱形位移放大机构(2-1)与外层支座(1)是一体整体式机构。

3.根据权利要求1或2所述的压电驱动大行程无耦合二维精密微定位平台,其特征在于:Y方向菱形位移放大机构为两个,分别是第一Y方向菱形位移放大机构(2-2)和第二Y方向菱形位移放大机构(2-3);两个Y方向菱形位移放大机构串联;增大位移量。

4.根据权利要求1所述的压电驱动大行程无耦合二维精密微定位平台,其特征在于:X方向菱形位移放大机构以及对称长臂机构是基于内层基板X方向中轴线的对称式机构,Y方向菱形位移放大机构以及对称长臂机构是基于工作台Y方向中轴线的对称式机构,具有无耦合的运动特性。

5.根据权利要求1所述的压电驱动大行程无耦合二维精密微定位平台,其特征在于:菱形位移放大机构具有位移放大功能,菱形位移放大机构采用了斜式开口,斜式开口是指菱形位移放大机构的弹性杆(8)与内部凸缘(7)之间开口,开口与竖直或横向方向夹角30度,增大位移量,便于加工。

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