先导阀的制作方法

本发明涉及先导阀。

背景技术：

以往，已知在气缸的一端和另一端分别设有先导阀并进行活塞驱动的往返运动活塞泵(例如，参照专利文献1、2)。通过活塞推压先导阀，压缩气体被供给到气缸主体的一端与活塞之间的第一空间和气缸主体的另一端与活塞之间的第二空间中之一，气体从余下的第一空间或者第二空间进行放气，活塞被驱动。

更加具体地说，往返运动活塞泵中设有气体操作阀。气体操作阀与控制向第一空间及第二空间的气体的供给及放气的先导阀联动。该气体操作阀通过控制向第一空间及第二空间的气体的供给及放气，实现活塞的驱动。

例如，气体操作阀具有在一端和另一端之间往返运动的切换阀。气体总是从一方的先导阀被供给到气体操作阀的一端和切换阀之间的一方的空间，气体总是从另一方的先导阀被供给到气体操作阀的另一端与切换阀之间的另一方的空间。

而且，当一方的先导阀被活塞推压时，仅在此时，一方的先导阀进行动作，将一方的空间的气体放气，利用与另一方空间的压力差，切换阀向一端侧移动。相反地，当另一方的先导阀被活塞推压时，仅在此时，另一方的先导阀进行动作，将另一方的空间的气体放气，利用与一方的空间的压力差，切换阀向另一端侧移动。

当先导阀的由活塞引起的推压结束时，放气动作返回气体供给动作，但由于在一方空间与另一方空间之间供给着的气体压力相同，因此切换阀不移动。

通过随着该先导阀的放气动作的切换阀的移动，气体操作阀切换向气缸的第一空间供给压缩气体并对第二空间的气体进行放气的状态，以及向第二空间供给压缩气体并对第一空间的气体进行放气的状态。

另外，作为气体操作阀的其他的形式，也存在如下的情况：在一方的空间与另一方的空间设有与外部连通的放气口，作为总是放气的状态，仅在先导阀通过活塞动作时，压缩气体被供给到一方的空间或者另一方的空间，切换阀进行移动。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特表2012-527592号公报

专利文献2:日本特表2009-503340号公报

技术实现要素：

发明要解决的课题

然而，在具有如上述结构的往返运动活塞泵中，存在如下这样的情况：在先导阀被活塞推压的瞬间未恰好完成气体操作阀的切换阀的移动，切换阀停止在气体操作阀的一端与另一端之间的中间的位置。该情况下存在如下这样的问题：无法进行从气体操作阀向气缸供给气体以及无法进行来自气缸的气体的放气，往返运动活塞泵的驱动停止。

本发明是鉴于上述情况而做出的，其目的在于提供一种先导阀，其用于确实地进行气体操作阀的切换阀的移动。

用于解决课题的手段

本发明为了达到所述目的，利用以下的结构进行掌握。

(1)本发明的先导阀具备：在一端开口的有底筒状的阀主体；能够滑动地收纳在所述阀主体内的滑阀；和弹性体，其配置在与所述阀主体的开口侧成为相反侧的所述滑阀的另一端侧，并使所述滑阀向所述开口侧施力，所述阀主体具有在长度方向上大致等间隔地设置的至少三个贯通孔部，所述滑阀能够将所述阀主体的相邻接的至少两个贯通孔部之间连通，所述弹性体与推压手段共同将所述滑阀向所述开口侧推压，由此所述滑阀从位于与所述开口侧相反侧的状态成为位于所述开口侧的状态。

(2)在所述(1)的结构中，在所述阀主体设有导入气体的施力气体导入部，所述施力气体导入部作为将所述滑阀向所述开口侧施力的所述推压手段。

(3)在所述(1)或者(2)的结构中，所述滑阀包括能够滑动地收纳在所述阀主体内的中空状的第一滑阀和能够滑动地收纳在所述第一滑阀内的第二滑阀，所述弹性体包括第一弹性体和第二弹性体，所述第一弹性体配置在与所述开口侧成为相反侧的所述第一滑阀的另一端侧，将所述第一滑阀向所述开口侧施力，所述第二弹性体配置在与所述开口侧成为相反侧的所述第二滑阀的另一端侧，具有将所述第二滑阀向所述开口侧施力的比所述第一弹性体小的弹性力，在所述第一滑阀位于所述开口侧时，所述第一滑阀具有与所述阀主体的三个贯通孔部重合的至少三个贯通孔部，所述第二滑阀具有连通部，该连通部能够连通所述第一滑阀的三个贯通孔部的中的至少邻接的两个贯通孔部之间。

(4)在所述(3)的结构中，所述第一弹性体具有能够抵抗在所述第一滑阀的所述开口侧的端部施加的气体压力并使所述第一滑阀位于所述开口侧的弹性力，所述第二弹性体具有如下这样的小的弹性力：仅利用所述第二弹性体的弹性力，不能抵抗在所述第二滑阀的所述开口侧的端部施加的气体压力并使所述第二滑阀位于所述开口侧。

(5)在所述(3)或者(4)的结构中，所述阀主体与所述第一滑阀之间利用密封件进行密封，另一方面，所述第一滑阀与第二滑阀之间利用所述第一滑阀的内周面及所述第二滑阀的外周面的表面精度进行密封。

(6)在所述(3)～(5)的任一结构中，所述阀主体具备：在所述一端与另一端开口的中空状的筒部，其具有所述贯通孔部；闭塞所述筒部的另一端的盖部；和复位钮，其被设置在所述盖部的与所述第二滑阀的另一端对应的位置，所述第二滑阀的另一端位于与所述第二滑阀的开口侧相反的位置，该复位钮能够进行操作，以将所述第二滑阀的另一端向所述开口侧推压。

发明效果

根据本发明，能够提供一种先导阀，其用于确实地进行气体操作阀的切换阀的移动。

附图说明

图1是本发明的一实施方式的往返式活塞泵的剖视图。

图2是本发明的一实施方式的先导阀的分解立体图。

图3是本发明的一实施方式的先导阀的剖视图。

图4是用于说明本发明的一实施方式的先导阀的动作的图。

图5是用于说明本发明的一实施方式的先导阀的动作的图。

图6是用于说明本发明的一实施方式的往返式活塞泵的动作的图。

图7是用于说明本发明的一实施方式的往返式活塞泵的动作的图。

图8是用于说明本发明的一实施方式的往返式活塞泵的动作的图。

图9是用于说明本发明的一实施方式的往返式活塞泵的动作的图。

图10是用于说明本发明的一实施方式的往返式活塞泵的动作的图。

图11是用于说明本发明的一实施方式的往返式活塞泵的动作的图。

图12是用于说明本发明的一实施方式的往返式活塞泵的动作的图。

图13是用于说明本发明的一实施方式的往返式活塞泵的动作的图。

图14是用于说明本发明的一实施方式的往返式活塞泵的动作的图。

具体实施方式

以下，参照附图，对用于实施本发明的方式(以下称为实施方式)进行详细说明。另外，相同元件在整个实施方式的全部说明中附加相同编号。

图1是表示本发明的一实施方式的往返式活塞泵10的剖视图。

如图1所示，往返式活塞泵10具备气缸20、第一先导阀30、第二先导阀40和气体操作阀50。

(气缸)

气缸20具备气缸主体24和能够往返运动地收纳在气缸主体24内的活塞25。

活塞25具备活塞头26和活塞杆27。本实施方式中，活塞头26和活塞杆27是分体部件，活塞头26被组装于活塞杆27。然而，活塞25也可以是将活塞头26和活塞杆27一体形成的。

气缸主体24具备中空状的气缸筒部21、构成气缸主体24的一端的气缸一端侧盖部22’、构成气缸主体24的另一端的气缸另一端侧盖部23’。

另外，本实施方式表示气缸主体24是由气缸筒部21、气缸一端侧盖部22’和气缸另一端侧盖部23’构成的情况，但是可以将气缸筒部21与气缸一端侧盖部22’一体形成，或者也可以将气缸筒部21与气缸另一端侧盖部23’一体形成，可以适当决定具体怎样地构成气缸主体24。

因此，以下不称盖部，只是单纯地将气缸一端侧盖部22’的部分称为气缸主体24的一端22，将气缸另一端侧盖部23’的部分称为气缸主体24的另一端23。

但是考虑到气缸20的组装工作的简易性和气缸20的供活塞头26滑动的内面的内面精度的制造经济性(出し安さ)，优选如本实施方式那样由气缸筒部21、气缸一端侧盖部22’及气缸另一端侧盖部23’构成。

在气缸主体24的一端22设有第一先导阀30，以使得活塞25能够推压第一先导阀30的滑阀31。

同样地，在气缸主体24的另一端23设有第一先导阀40，以使得活塞25能够推压第二先导阀40的滑阀41。

另外，在气缸主体24的另一端23设有用于使活塞杆27从气缸主体24的外部延伸的、贯通气缸主体24的另一端23的活塞杆取出贯通孔部28。活塞杆27通过活塞杆取出贯通孔部28延伸至气缸主体24的外部。

另一方面，气缸主体24内被分成由活塞头26分隔的两个空间。

即，气缸20具备气缸主体24的一端22与活塞25(活塞头26)之间的第一气缸内空间a和气缸主体24的另一端23与活塞25(活塞头26)之间的第二气缸内空间b。

而且，在气缸20连接有第一气体路线61，所述第一气体路线61用于向第一气缸内空间a进行气体供给以及排出来自第一气缸内空间a的气体。

本实施方式中，表示第一气体路线61与第一气缸气体出入口61a相连接的情况，所述第一气缸气体出入口61a设在气缸筒部21的靠近气缸主体24的一端22侧的位置。然而，也可以将该第一气缸气体出入口61a设在气缸主体24的一端22，第一气体路线61与设在气缸主体24的一端22的第一气缸气体出入口61a相连接。

另外，在气缸20连接有第二气体路线62，所述第二气体路线62用于向第二气缸内空间b进行气体供给以及排出来自第二气缸内空间b的气体。

本实施方式中，表示第二气体路线62与第二气缸气体出入口62a相连接的情况，所述第二气缸气体出入口62a设在气缸筒部21的靠近气缸主体24的另一端23侧的位置。然而，与上述同样地，也可以将该第二气缸气体出入口62a设在气缸主体24的另一端23，第二气体路线62与设在气缸主体24的另一端23的第二气缸气体出入口62a相连接。

由于如此构成，当成为压缩空气从第一气体路线61供给到第一气缸内空间a，并且第二气缸内空间b的气体通过第二气体路线62被排出的状态时，活塞25向气缸主体24的另一端23侧移动。

相反地，当成为压缩气体从第二气体路线62供给到第二气缸内空间b中，并且第一气缸内空间a的气体通过第一气体路线61被排出的状态时，活塞25向气缸主体24的一端22侧移动。

通过反复进行这样的动作，活塞反复进行往返运动。

(气体操作阀)

当第一先导阀30的滑阀31被活塞25推压时，气体操作阀50成为向所述第一气缸内空间a供给压缩气体，并且从第二气缸内空间b排出气体的状态。

当成为该状态，如上所述，活塞25向气缸主体24的另一端23侧移动。

另外，该活塞25移动的结果是，当活塞25推压第二先导阀40的滑阀41时，之后，气体操作阀50成为向第二气缸内空间b中供给压缩气体，并且从第一气缸内空间a排出气体的状态，活塞25向气缸主体24的一端22侧移动。

对具体的气体操作阀50的结构进行说明，气体操作阀50具备操作阀主体54和气体排出口切换阀57。

操作阀主体54主要具备操作阀筒部51、构成操作阀主体54的一端的操作阀一端侧盖部52’和构成操作阀主体54的另一端的操作阀另一端侧盖部53’。

另外，在本实施方式中，表示操作阀主体54主要由操作阀筒部51、操作阀一端侧盖部52’以及操作阀另一端侧盖部53’构成的情况，但是也可以将操作阀筒部51与操作阀一端侧盖部52’一体形成等，和对气缸主体24所述的相同，适当决定具体怎样地构成操作阀主体54。

因此，以下不称盖部，只是单纯地将操作阀一端侧盖部52’的部分称为操作阀主体54的一端52，将操作阀另一端侧盖部53’的部分称为操作阀主体54的另一端53。

但是考虑到操作阀主体54的组装工作的简易性和操作阀主体54的供气体排出口切换阀57滑动的内面的内面精度的制造经济性，优选如本实施方式那样由操作阀主体54、操作阀一端侧盖部52’及操作阀另一端侧盖部53’构成。

另外，对于第一气体路线61与第二气体路线62相连接的部分，本实施方式中表示将部件嵌入操作阀筒部51的一部分而构成的情况。然而，对于该部分而言，也没有必要设为分体部件，如图1所示，将气体排出口切换阀57的形状不设为向操作阀筒部51内突出的形状，即，也可以选择能够收容于操作阀筒部51的尺寸，使成为该分体部件的部分与操作阀筒部51一体形成。

操作阀主体54具有：气体供给口54a,该气体供给口54a接受来自未图示的气体供给源(例如压缩机)的空气供给；第一气体排出口54b；第二气体排出口54c；和放气口54d。在第一气体排出口54b连接有第一气体路线61，所述第一气体路线61向上述的第一气缸内空间a进行气体供给并排出来自第一气缸内空间a的气体。

另外，在第二气体排出口54c连接有第二气体路线62，所述第二气体路线62向第二气缸内空间b进行气体供给并排出来自第二气缸内空间b的气体。

而且，由体部55和放气口连接部56形成的气体排出口切换阀57以能够在操作阀主体54内的一端52和另一端53之间进行往返运动的方式设在操作阀主体54内。通过该气体排出口切换阀57，选择使从气体供给口54a供给的气体从第一气体排出口54b或第二气体排出口54c中的任一排出口向气缸20侧排出，并且和被选择的排出口相反的第一气体排出口54b或第二气体排出口54c与放气口54d相连接。

图1表示第二先导阀40的滑阀41被活塞25推压后的状态，表示活塞25朝向第一先导阀30侧移动的中途的状态。

稍后详细说明先导阀(第一先导阀30和第二先导阀40)的结构以及动作，从活塞25推压第二先导阀40的滑阀41，直到活塞25推压第一先导阀30的滑阀31的期间，成为持续对来自第一气体操作阀内空间c的气体进行放气的状态，该第一气体操作阀内空间c位于操作阀主体54的一端52和气体排出口切换阀57之间。

另外，成为持续向操作阀主体的另一端53和气体排出口切换阀57之间的第二气体操作阀内空间d进行气体供给的状态。

因此，第二先导阀40的滑阀41被活塞25推压后，直到活塞25推压第一先导阀30的滑阀31的期间，维持第二气体操作阀内空间d内的压力高而第一气体操作阀内空间c内的压力低的状态。

因此，第二先导阀40的滑阀41被活塞25推压前，气体排出口切换阀57位于操作阀主体54的另一端53侧，当第二先导阀40的滑阀41被活塞25推压时，通过该压力差(处于第二气体操作阀内空间d的压力高而第一气体操作阀内空间c内的压力低的状态时的、第二气体操作阀内空间d与第一气体操作阀内空间c之间的压力差)，使气体排出口切换阀57确实地移动到操作阀主体54的一端52侧，气体排出口切换阀57位于操作阀主体54的一端52。

即，该压力差不是仅在第二先导阀40的滑阀41被活塞25推压的瞬间产生，而是维持到活塞25推压先导阀30的滑阀31，所以，以往即使存在气体排出口切换阀57的运动不良的瞬间，气体排出口切换阀57也不会在操作阀主体54的一端52和另一端53之间的中间停止，而是确实地移动到位于操作阀主体54的一端52侧。

而且，在气体排出口切换阀57位于操作阀主体54的一端52侧的状态时，从未图示的气体供给源向气体供给口54a供给的气体通过气体排出口切换阀57的体部55和操作阀主体54之间的间隙，供给到第二气体排出口54c，并从第二气体排出口54c排出到气缸内空间b侧。

即，从第二气体排出口54c通过第二气体路线62向气缸内空间b侧供给压缩气体。

另外，在该状态时，第一气体排出口54b通过气体排出口切换阀57的放气口连接部56与放气口54d相连接，所以第一气缸内空间a内的气体通过第一气体路线61放气到外部。

因此，活塞25向气缸主体24的一端22侧移动。

该移动的结果是，当第一先导阀30的滑阀31被活塞25推压时，此时，直到活塞25推压第二先导阀40的滑阀41为止，持续向第一气体操作阀内空间c进行气体供给的状态，并持续对来自第二气体操作阀内空间d的气体的放气状态。

因此，和先前相反，维持第一气体操作阀内空间c内的压力高而第二气体操作阀内空间d内的压力低的状态,所以气体排出口切换阀57确实地移动到操作阀主体54的另一端53侧。

而且，在气体排出口切换阀57位于操作阀主体54的另一端53侧的状态时，从未图示的气体供给源向气体供给口54a供给的气体通过气体排出口切换阀57的体部55和操作阀主体54之间的间隙，供给到第一气体排出口54b，此时，从第一气体排出口54b向气缸内空间a侧排出。

即，压缩空气从第一气体排出口54b通过第一气体路线61供给到气缸内空间a。

另外，在该状态时，第二气体排出口54c通过气体排出口切换阀57的放气口连接部56与放气口54d相连接，所以第二气缸内空间b内的气体通过第二气体路线62放气到外部。

因此，与先前相反，活塞25向气缸主体24的另一端23侧移动。

通过反复进行上述动作来进行活塞25的往返运动。

(先导阀)

因为第一先导阀30及第二先导阀40是相同结构，因此以下不对第一先导阀30及第二先导阀进行区别，仅将其单纯地作为先导阀80进行说明。

图2是先导阀80的分解立体图，图3是将先导阀80进行组装的状态的剖视图。

如图2及图3所示，先导阀80具备在一端具有开口81d的有底筒状的阀主体84，有底筒状的阀主体84具有中空状的筒部81；闭塞筒部81另一端的盖部82和设在盖部82的复位钮83。

如图2所示，筒部81在长度方向上大致等间隔地设有三个贯通孔部81a，该各贯通孔部81a在周向上设有多个贯通孔81b。

即，阀主体84具有相对于长度方向大致等间隔地设置的三个贯通孔部81a。

另外，设置在贯通孔部81a的贯通孔81b的数量本身并不特别限定，也可以为一个。

另外，在各贯通孔部81a的长度方向的两侧设有密封件81c。

该密封件81c在将先导阀80安装在气缸主体24时，用于进行阀主体84(筒部81)与气缸主体24之间的密封。

如图2及图3所示，先导阀80具备能够滑动地收纳在阀主体84内的中空状的第一滑阀85。

如图2所示，对于该第一滑阀85也在长度方向上以与设置在阀主体84(筒部81)的贯通孔部81a相同的间隔设有三个贯通孔部85a。该各贯通孔部85a在周向上设有多个贯通孔85b。

另外，设置在贯通孔部85a的贯通孔85b的数量本身并不特别限定，也可以为一个。

另外，在各贯通孔部85a的长度方向的两侧设有密封件85c，将阀主体84(筒部81)与第一滑阀85之间密封。

图3表示第一滑阀85位于阀主体84的开口81d侧的状态。如看图3可知的那样，当第一滑阀85位于开口81d侧时，第一滑阀85的三个贯通孔部85a与阀主体84(筒部81)的三个贯通孔部81a重合。

另外，如图2及图3所示，先导阀80具备：使第一滑阀85向开口81d侧施力的第一弹性体86，该第一弹性体86配置在与阀主体84(筒部81)的开口81d侧相反侧的第一滑阀85的另一端侧；能够滑动地收纳在第一滑阀85内第二滑阀87；和使第二滑阀87向开口81d侧施力的、与第一弹性体86相比弹性力较小的第二弹性体88，该第二弹性体88配置在与开口81d侧相反侧的第二滑阀87的另一端侧。

如图3所示，复位钮83设置在盖部82中的与位于第二滑阀87的开口81d侧相反位置的另一端(第二弹性体88的抵接端)对应的位置。当以压入的方式按压该复位钮83时，进行将第二滑阀87的另一端向开口81d侧推压的操作。

关于设置该复位钮83的意义稍后进行说明。

第二滑阀87与第一滑阀85之间利用所谓的金属密封而进行密封。

即，利用第一滑阀85的内周面及第二滑阀87的外周面的表面精度对第二滑阀87与第一滑阀85之间进行密封。

如图2所示，第二滑阀87在长度方向上的中间部设有外径变小的凹槽部。

该凹槽部如图3所示，成为能够连通第一滑阀85的三个贯通孔部85a中的邻接的两个贯通孔部85a的连通部87a。

另外，本实施方式中将连通部87a构成为凹槽部，但是没有必要限定为凹槽状的构件。

像这样，本实施方式的先导阀80具有能够分别滑动的两个滑阀(第一滑阀85及第二滑阀87)作为上述的第一先导阀30的滑阀31及第二先导阀40的滑阀41，滑阀成为复动的结构。

一边参照图4～图6，一边对该滑阀(第一滑阀85及第二滑阀87)的动作进行说明。

另外，稍后详细叙述有关与往返运动活塞泵10的动作配合的滑阀(第一滑阀85及第二滑阀87)的运动，此处，对滑阀(第一滑阀85及第二滑阀87)所取得的状态和此时气体怎样流动进行说明，该气体从图1所示的气体供给源(未图示)通过先导阀用气体供给路线63供给到先导阀(第一先导阀30及第二先导阀40)。

图4是表示和图3相同状态的图，图5是表示第一滑阀85及第二滑阀87一起位于与开口81d相反侧的状态的图，图6是表示第一滑阀85位于开口81d侧，第二滑阀87位于与开口81d相反侧的状态的图。

首先，为了说明的简略化，参照图4对阀主体84的三个贯通孔部81a赋予名称。

另外，在以后的说明中也存在使用该名称来区别阀主体84的贯通孔部81a并记载的情况。

图4所示的贯通孔部81a的图最下方侧的贯通孔部81a，如看图1的第一先导阀30可知的那样，因为与大气开放路线相连接，所以称为放气端口91。

同样地，图4所示的贯通孔部81a的从下数第二个的贯通孔部81a(即，中央的贯通孔部81a)，如看图1的第一先导阀30可知的那样，因为与气体操作阀50相连接，所以称为气体操作阀端口92。

另外，图4所示的贯通孔部81a的最上方的贯通孔部81a，如看图1的第一先导阀30可知的那样，由于是从气体供给源(未图示)侧接受气体的供给的端口，所以称为气体供给端口93。

进一步地，贯通孔部81a之外，在阀主体84设有气体供给口(施力气体导入部94)，该气体供给口在供第二弹性体88抵接的、第二滑阀87的与开口81d相反的另一端的地方供给气体。关于动作稍后进行说明，其是作为推压手段的用于导入气体的施力气体导入部94，与第二弹性体88一起将第二滑阀87向开口81d侧施力，以将图6所示的第二滑阀87位于与开口81d相反侧的状态变为图4所示的位于开口81d侧的状态。

另外，图1所示的第二先导阀40仅仅与第一先导阀30上下朝向相反，与上述以第一先导阀30为例进行说明的内容相同。

以下，对具体的气体的流动进行说明。

在图4所示的第一滑阀85及第二滑阀87一起位于阀主体84的开口81d侧的状态时，被供给到阀主体84的气体供给端口93的气体向第一滑阀85的最上方的贯通孔部85a供给，但该部分气体由于第二滑阀87而被封闭，所以不会被进一步地供给。

而且，在该状态时，成为阀主体84的气体操作阀端口92经由第一滑阀85的中央贯通孔部85a、最下方的贯通孔部85a及第二滑阀87的连通部87a，与阀主体84的放气端口91相连接的状态。

因此，例如，在该状态的先导阀80是第一先导阀30的情况下，与气体操作阀端口92相连接的是参照图1进行说明的来自第一气体操作阀内空间c的气体路线64a，所以第一气体操作阀内空间c内的气体通过放气端口91放出(放气)到外部，第一气体操作阀内空间c内的压力变低。

另外，在该状态的先导阀80是第二先导阀40的情况下，同样地，参照图1进行说明的第二气体操作阀内空间d内的气体通过气体路线64b放出(放气)到外部，所以第二气体操作阀内空间d内的压力变低。

其次，在图5所示的第一滑阀85及第二滑阀87一起位于阀主体84的开口81d的相反侧的状态时，即，在通过活塞25推压滑阀(第一滑阀85及第二滑阀87)的状态时，供给到阀主体84的气体供给端口93的气体通过第一滑阀85的中央贯通孔部85a，经由第二滑阀87的连通部87a，再次通过第一滑阀85的最下方的贯通孔部85a而供给到阀主体84的气体操作阀端口92。

因此，例如，在该状态的先导阀80是第一先导阀30的情况下，与气体操作阀端口92相连接的是参照图1进行说明的来自第一气体操作阀内空间c的气体路线64a，所以气体供给到第一气体操作阀内空间c，使第一气体操作阀内空间c的压力变高。

另外，在该状态的先导阀80是第二先导阀40的情况下，同样地，通过气体路线64b，参照图1进行说明的第二气体操作阀内空间d内的压力变高。

而且，当成为所述的图5所示的状态时，没有被活塞25推压的一方的先导阀成为参照图4进行说明的状态。

更加具体地说，成为图5所示的状态，即，活塞25推压第一滑阀85及第二滑阀87后，当活塞25从第一滑阀85及第二滑阀87分离时，第一滑阀85如图6所示，通过第一弹性体86自动地位于开口81d侧。

因此，没有被活塞25推压的一方的先导阀成为如图6所示的状态。

例如，如上所述，图1是第二先导阀40的滑阀41(第一滑阀85及第二滑阀87)被活塞25推压后，活塞25朝向第一先导阀30侧的中途的状态，所以第二先导阀40处于图6所示的状态。

而且，如图1所示，在连接第一气体操作阀内空间c与第一先导阀30的气体操作阀端口92的气体路线64a的中途设置分支路线64aa。经由该分支路线64aa，施力气体导入部94中也被供给气体，该施力气体导入部94用于导入将第二先导阀40的图4所说明的第二滑阀87向开口81d侧施力的气体。

因此，如参考图5进行说明的那样，当第一先导阀30的滑阀31(第一滑阀85及第二滑阀87)被活塞25推压，将气体供给到气体路线64a时，气体也供给到分支路线64aa，处于图1所示的图6的状态的第二先导阀40的第二滑阀87通过从施力气体导入部94导入的气体，被推压到开口81d侧，如图4所示的状态那样，第二滑阀87位于开口81d侧。

上述也提及到，图6表示如图5所示那样，活塞25推压第一滑阀85及第二滑阀87后，活塞25从第一滑阀85及第二滑阀87分离地移动时的状态。

在该状态时，从活塞25分离运动的状态可知，对于成为该状态的先导阀80而言，第一滑阀85及第二滑阀87被置于被供给有压缩气体的气氛中。

而且，将第一滑阀85向开口81d侧施力的第一弹性体86使用比该压缩气体使第一滑阀85的开口81d侧的端部向开口81d的相反侧推压的力更强的、将第一滑阀85向开口81d施力的弹性体。

即，第一弹性体86具有抵抗在第一滑阀85的开口81d侧的端部施加的气体压力而能够使第一滑阀85位于开口81d侧的弹性力。

另一方面，虽然第二滑阀87通过第二弹性体88向开口81d侧被施力，但是即使活塞25分离，第二滑阀87也不会仅因此而向开口81d侧移动。

即，第二弹性体88具有如下这样的小的弹性力：仅仅利用第二弹性体88的弹性力，不能抵抗在第二滑阀87的开口81d侧的端部施加的气体压力而使第二滑阀87位于开口81d侧。

已经提及到，当从施力气体导入部94导入气体时，第二滑阀87的开口81d侧的端部与相反侧的端部(第二弹性体88抵接的端部)成为相同压力，所以当成为该状态时，即使第二弹性体88的弹性力是小的弹性力，第二滑阀87也移动到位于开口81d侧。

另外，当从施力气体导入部94导入气体时，第二滑阀87移动到位于开口81d侧。虽然几乎没有不移动的情况，但因为选择了小的弹性力作为第二弹性体88的弹性力，因此，为了万一在第二滑阀87没有移动到位于开口81d侧时能够强制性地复位到开口81d侧，本实施方式中设有上述的复位钮83。

而且，如观看比较图5和图6可知的那样，当从第一滑阀85及第二滑阀87被活塞25推压的状态(图5)变化到活塞25从第一滑阀85及第二滑阀87分离的状态时，第一滑阀85成为位于开口81d侧，但第二滑阀87维持与被活塞25推压时相同的位置，所以没有作为先导阀80的路线的切换。

即，即使在图6的活塞25分离的状态下也维持图5的被活塞25推压着的状态时的气体向操作阀端口92供给的状态。

因此，例如，如看图1的第二先导阀40可知的那样，持续维持向第二气体操作阀内空间d的气体供给状态。

即，向第二气体操作阀内空间d的气体供给状态继续持续。

另一方面，如上所述，作为与其相反侧的先导阀的第一先导阀30在第二先导阀40被活塞25推压时，如上所述，第二滑阀87位于开口81d侧，如图1所示，第一气体操作阀内空间c成为放气的状态，在第一先导阀30的滑阀31(第一滑阀85及第二滑阀87)被活塞25推压之前一直维持该状态。

即，自第一气体操作阀内空间c的气体放气状态继续持续。

其结果是，如上所述，本实施方式的气体操作阀50不仅在第一先导阀30的滑阀31及第二先导阀40的滑阀41被活塞25推压的瞬间，而且在第一先导阀30的滑阀31及第二先导阀40的滑阀41被活塞25推压，直到在操作阀主体54内气体排出口切换阀57应该位于的一端侧或者另一端侧的关系发生变化的期间，持续维持压力差，以使气体排出口切换阀57位于应该位于的一侧，所以能够抑制气体排出口切换阀57在移动中途在中间位置停止这样的动作不良。

(往返运动活塞泵动作)

上述已经对各部分的动作进行了详细说明，所以以下一边参照图7至图14，一边说明将这些动作作为连续动作时的往返运动活塞泵的动作。

首先，图7是对应于图1的图，是表示活塞25朝向气缸主体24的一端22侧移动中的状态的图。

在该状态时，第二先导阀40处于图6所示的状态，第一先导阀30处于图4所示的状态。

因此，从未图示的气体供给源通过先导阀用气体供给路线63供给到第二先导阀的压缩气体，从第二先导阀40通过气体路线64b向气体操作阀50的第二气体操作阀内空间d供给压缩气体。另一方面，气体操作阀50的第一气体操作阀内空间c通过气体路线64a且经由第一先导阀30成为放气的状态。

因此，气体操作阀50的气体排出口切换阀57位于操作阀主体54的一端52侧。这时，从未图示的气体供给源通过气体供给口54a供给到气体操作阀50的压缩气体，从气体操作阀50通过第二气体路线62向气缸20的第二气缸内空间b供给压缩气体，并且第一气缸内空间a内的气体通过第一气体路线61，经由气体操作阀50被放气。因此，活塞25朝向气缸主体24的一端22侧移动。

而且，当活塞25如图8所示推压第一先导阀30的滑阀31时，第一先导阀30成为图5的状态。

当成为该状态时，开始从第一先导阀30通过气体路线64a向气体操作阀50的第一气体操作阀内空间c进行压缩气体的供给。

相应地，通过气体路线64a的中途的分支路线64aa对第二先导阀40的施力气体导入部94也开始进行压缩气体的供给。

现在，第二先导阀40处于图6所示的状态，通过利用导入到第二先导阀40的施力气体导入部94的气体，第二先导阀40的第二滑阀87移动到位于开口81d侧，由此第二先导阀40的驱动状态首次发生变化，从图8的第二先导阀40通过气体路线64b，对气体操作阀50的第二气体操作阀内空间d供给压缩气体，从此状态变为第二气体操作阀内空间d内的气体通过图9所示的气体路线64b经由第二先导阀40被放气的状态。

该动作发生后，产生气体操作阀50的第一气体操作阀内空间c与第二气体操作阀内空间d的压力差，引起气体排出口切换阀57的移动，气缸20的第一气缸内空间a与第二气缸内空间b的气体的供给、放气状态发生变化，活塞25的移动方向发生改变。

因此，该最初阶段的第二先导阀40的第二滑阀87是否平滑地进行移动到位于开口81d侧的动作，影响往返运动活塞泵10的驱动的平滑性。

此处，在本实施方式中，如上所述，第一滑阀85与第二滑阀87之间采用金属密封，即，利用表面精度实现密封的结构，相对于使用一般的o形圈等密封件情况减少滑动阻力，提高运动的平滑性，从而平滑地从图8的状态变化到图9的状态。

当成为图9所示的状态时，如上所述，气体操作阀50的第二气体操作阀内空间d通过气体路线64b经由第二先导阀40被放气。

另外，此时，从气体路线64b的中途分支的分支路线64bb也与第一先导阀30的施力气体导入部94相连，所以为了与第二弹性体88一起对第一先导阀30的第二滑阀87施力，也将供给于第二滑阀87的第二弹性体88抵接侧的端部侧的气体进行放气。

因此，即使活塞25从第一先导阀30的滑阀31(第一滑阀85及第二滑阀87)分离，第一先导阀30的第二滑阀87也不会移动，而是留在图9的状态的位置。

而且，当成为图9的状态，产生气体操作阀50的第一气体操作阀内空间c(高压)与第二气体操作阀内空间d(低压)的压力差时，如图10所示，气体操作阀50的气体排出口切换阀57移动到位于操作阀主体54的另一端53侧。

通过该气体排出口切换阀57的移动，压缩气体从气体操作阀50通过第一气体路线61供给到气缸20的第一气缸内空间a，并且气缸20的第二气缸内空间b的气体通过第二气体路线62经由气体操作阀50而被放气，活塞25移动到气缸主体24的另一端23侧。

另外，如上所述，随着该移动，如图11所示，即使活塞25从第一先导阀30的滑阀31分离，滑阀31的第二滑阀87也不移动，仅第一滑阀85移动到位于开口81d侧，维持第一先导阀30的滑阀31被活塞25推压着时的第一先导阀30的驱动状态。

即，继续持续从第一先导阀30通过气体路线64a，向气体操作阀50的第一气体操作阀内空间c的气体供给状态。

而且，如图12所示，当活塞25推压第二先导阀40的滑阀41时，从第二先导阀40通过气体路线64b向气体操作阀50的第二气体操作阀内空间d的压缩气体的供给开始，并且用于将第一先导阀30的第二滑阀87向开口81d侧施力的气体，通过气体路线64b的中途的分支路线64bb被供给到第一先导阀30的施力气体导入部94。

因此，如图13所示，第一先导阀30的第二滑阀87位于开口81d侧，气体操作阀50的第一气体操作阀内空间c内的气体通过气体路线64a经由第一先导阀30被放气，在气体操作阀50的第一气体操作阀内空间c(低压)与第二气体操作阀内空间d(高压)产生压力差。

另外，此时，向与第二先导阀40的第二滑阀87相抵接的第二弹性体88侧被供给着的气体从气体路线64a的中途被分支，并通过与第二先导阀40的施力气体导入部94相连接的分支路线64aa进行放气，即使活塞25从第二先导阀40的滑阀41分离，第二先导阀40的第二滑阀87也会维持图13所示的位置状态。

因此，即使活塞25从第二先导阀40分离，向气体操作阀50的第二气体操作阀内空间d的气体供给状态也会持续。

而且，通过气体操作阀50的第一气体操作阀内空间c(低压)与第二气体操作阀内空间d(高压)的压力差，如图14所示，气体操作阀50的气体排出口切换阀57移动到位于操作阀主体54的一端52侧。

通过该移动，压缩气体从气体操作阀50通过第二气体路线62向气缸20的第二气缸内空间进行供给，并且气缸20的第一气缸内空间a内的气体通过第一气体路线61并经由气体操作阀50被放气，活塞25再次移动到气缸主体24的一端22侧，到达图7的状态。

这样，驱动本实施方式的往返运动活塞泵10。

如上所述，如果是本实施方式的先导阀80，如详细说明的那样，使气体操作阀50的第一气体操作阀内空间c与第二气体操作阀内空间d的内压中的一方增高，另一方降低而能够产生压力差的状态总是被维持，先导阀被活塞推压，由此，能够实现该压力差的关系反转的动作，所以可以确实地进行气体操作阀50的气体排出口切换阀57的移动。

以上，基于具体的实施方式对于本发明的先导阀进行了说明，但本发明并不限定于实施方式。

例如，在本实施方式的先导阀80中，对于第一弹性体86及第二弹性体88使用了螺旋弹簧，但也可以选择螺旋弹簧以外的弹性体。

另外，在本实施方式的先导阀80中，表示了作为贯通孔部81a，85a而设有三个贯通孔部的情况，但贯通孔部81a、85a也可以是三个以上，在该情况下，连通部87a也可以作为连通两个以上的邻接的贯通孔部85a的部分。

如果这样做，在如上所述之外，进一步地，由于被作成气体流动的端口，因此能够将该端口用于其他的动作。

进一步地，在本实施方式中表示了作为先导阀80的滑阀，即，作为第一先导阀30的滑阀31及第二先导阀40的滑阀41，由第一滑阀85及第二滑阀87这两个滑阀构成的情况，但也可以是：将第一滑阀85省略，第二滑阀87与阀主体84的内周面接触且能够滑动，对第二滑阀87施力的第二弹性体88具有仅利用第二弹性体88的弹性力不能抵抗在第二滑阀87的开口81d侧的端部施加的气体压力而使第二滑阀87位于开口81d侧的小的弹性力。

即使这样，先导阀80自身的动作也能够为相同的动作。

然而，使用本实施方式中所示的第一滑阀85及第二滑阀87的由两个滑阀构成的结构的情况能够平滑地进行滑阀的动作，因此优选。

即，如看图6可知的那样，第一滑阀85先移动到开口81d侧，由此，成为第二滑阀87的滑动面的一部分不与第一滑阀85一部分接触的状态，因此，由于从图6所示的状态成为图4所示的状态，从施力气体导入部94供给气体，能够将第二滑阀87向开口81d侧开始移动的瞬间的滑动阻力抑制得较小，可以得到移动开始时的平滑性。

因此，作为阀80的滑阀，即，作为第一先导阀30的滑阀31及第二先导阀40的滑阀41，优选由第一滑阀85及第二滑阀87这两个滑阀构成。

这样，本发明并不限定于具体的实施方式，适当地实施了变形或改良的内容也包含在本发明的技术范围内，对本领域技术人员来说，从权利要求书的记载可以明白这一点。

以上，只对本发明的几个实施方式进行了说明，但是本领域技术人员能够容易地理解到在没有实质超出本发明的新的教导、优点地能够对例示的实施方式追加多种变更或者改良。因此，意欲将添加了这样变更或改良的方式也含在本发明的技术范围内。上述实施方式也可以任意地进行组合。

本申请主张基于2015年2月23日申请的日本国专利申请第2015－33164号的优先权。2015年2月23日申请的日本国专利申请第2015－33164号的包括说明书、权利要求书、附图以及摘要的全部公开内容通过参照作为整体而引入到本申请中。

附图标记说明

10：往返运动活塞泵；20：气缸；21:气缸筒部；22:一端；22’:气缸一端侧盖部；23:另一端；23’:气缸另一端侧盖部；24:气缸主体；25:活塞；26:活塞头；27:活塞杆；28:活塞杆取出贯通孔部；30:第一先导阀；31:滑阀；40:第二先导阀；41:滑阀；50:气体操作阀；52：一端；52’：操作阀一端侧盖部；53：另一端；53’：操作阀另一端侧盖部；54：操作阀主体；54a：气体供给口；54b：第一气体排出口；54c：第二气体排出口；54d：放气口；55：体部；56：放气口连接部；57：气体排出口切换阀；61：第一气体路线；61a：第一气缸气体出入口；62：第二气体路线；62a：第二气缸气体出入口；63：先导阀用气体供给路线；64a：气体路线；64aa：分支路线；64b：气体路线；64bb：分支路线；80:先导阀；81:筒部；81a：贯通孔部；81b：贯通孔；81c：密封件；81d：开口；82：盖部；83：复位钮；84：阀主体；85：第一滑阀；85a：贯通孔部；85b：贯通孔85c：密封件；86：第一弹性体；87：第二滑阀；87a：连通部；88：第二弹性体；91：放气端口；92：气体操作阀端口；93:气体供给端口；94:施力气体导入部；a:第一气缸内空间；b:第二气缸内空间c:第一气体操作阀内空间；d:第二气体操作阀内空间。