1.一种多通道气路和水路集成的磁流体密封传动装置，包括传动轴（1），该传动轴（1）从大气端穿过IBE设备腔室侧壁进入到腔室内部，传动轴（1）的大气端连接电机和同步带轮，真空端连接基片座，其特征在于所述传动轴（1）上套接设置有壳体（2）及水冷套（3），所述壳体（2）与传动轴（1）围成的空腔内设置有磁流体密封结构，所述水冷套（3）内集成有多通道气路和水路。
2.如权利要求1所述的一种多通道气路和水路集成的磁流体密封传动装置，其特征在于所述磁流体密封结构包括钕铁硼永久磁钢（4）、磁极（5）、对应设置在传动轴（1）上的磁液槽。
3.如权利要求1所述的一种多通道气路和水路集成的磁流体密封传动装置，其特征在于所述壳体（2）与传动轴（1）之间设置有两个深沟球轴承（6）及星形密封圈（7）。
4.如权利要求1所述的一种多通道气路和水路集成的磁流体密封传动装置，其特征在于所述水冷套（3）上设置有保护气进出口（8）、冷却水进出口（9）、氦气通口（10）。
5.如权利要求1所述的一种多通道气路和水路集成的磁流体密封传动装置，其特征在于所述水冷套（3）与传动轴（1）之间设置有多个密封环（11）。
6.如权利要求1所述的一种多通道气路和水路集成的磁流体密封传动装置，其特征在于所述壳体（2）为带六角法兰的壳体，壳体端面设置有氟胶O型圈（12），用于壳体法兰与IBE设备腔体侧壁之间的静密封。