一种用于精密仪器的基座防漏面板的制作方法

本实用新型涉及精密仪器基础技术领域，具体是一种用于精密仪器的基座防漏面板。

背景技术：

目前半导体行业洁净室内的设备经常会产生液体渗漏问题，因此常采用在基座上方加设防漏盘的方法进行收集漏液。防漏盘就是一种半导体行业中，洁净室内常用的防漏设备，采用聚丙烯制成，防漏盘具有无毒、无味，密度小、耐腐蚀和绝缘性高等优点，并广泛适用于半导体行业和光电领域的洁净室内，但现有的防漏盘，由于防漏面积大，所有必须采用很厚的聚丙烯板制作，才能保证防漏盘的整体刚性，因此造成了材料的浪费，并且每个防漏盘必须通过现场实际测量，来躲避基座上的开口位置，间接延长了制作周期，安装时也需要确认安装位置以及与下部机台连接，费时费力。

技术实现要素：

鉴于以上内容，本实用新型提供一种用于精密仪器的基座防漏面板，以解决上述背景技术中存在的问题。

一种用于精密仪器的基座防漏面板，包括防漏盘和基座顶板，所述防漏盘包括盘底、檐口、集液口，所述盘底与檐口通过焊接相连，所述基座顶板设有下液口，所述下液口为漏斗形，漏斗下部圆柱体设有内螺纹与废液收集管端部相匹配的外螺纹连接，所述基座顶板下部与方管相连，所述方管下部与支撑腿相连，所述防漏盘和基座顶板采用聚丙烯胶水进行粘合。

优选地，所述盘底采用聚丙烯板制作而成。

优选地，所述檐口采用长方体聚丙烯条制作而成。

优选地，所述基座顶板和方管的材质为Q235B。

优选地，所述基座顶板下部与方管、方管下部与支撑腿之间采用焊接固定。

本发明的有益效果为：

本实用新型一种用于精密仪器的基座防漏面板，基座顶板采用薄板制作，大大降低了上部防漏盘聚丙烯材料的用量，另外，防漏盘和基座顶板同时制作，同时安装，避免了二次配置上部防漏盘，同时也节约了二次测量和二次运输的人工成本，也解决了超大防漏盘现场二次焊的问题。

附图说明

图1为本实用新型一种用于精密仪器的基座防漏面板的防漏盘示意图。

图2为本实用新型一种用于精密仪器的基座防漏面板的基座顶板示意图。

图3为本实用新型一种用于精密仪器的基座防漏面板整体安装示意图。

图4为本实用新型一种用于精密仪器的基座防漏面板A-A剖面结构示意图。

图中10-防漏盘，11-盘底，12-檐口，13-集液口，20-基座顶板，21-下液孔，30-废液收集管，40-方管，50-支撑腿。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动成果前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-3所示，一种用于精密仪器的基座防漏面板，包括防漏盘10和基座顶板20，所述防漏盘包括盘底11、檐口12、集液口13，所述盘底11与檐口12通过焊接相连，所述盘底11采用的聚丙烯板制作而成，所述檐口12采用长方体聚丙烯条制作而成，所述基座顶板20设有下液孔21，所述下液孔21为漏斗形，漏斗下部圆柱体设有内螺纹与废液收集管30端部相匹配的外螺纹连接，所述基座顶板20下部与方管40相连，所述方管40下部与支撑腿50相连，所述基座顶板20和方管40的材质为Q235B，所述基座顶板20下部与方管40、方管40下部与支撑腿50之间采用焊接固定，所述防漏盘10和基座顶板20采用聚丙烯胶水进行粘合。

所述一种用于精密仪器的基座防漏面板，可采取如下制作安装操作：

（1）将基座顶板20焊接到方管40上方，并在方管40下方安装支撑腿50；

（2）将基座顶板20在合适的位置加开φ50的圆孔作为下液孔21；

（3）对基座进行整体喷漆，在基座制作的同时，进行上部防漏盘10的制作；

（4）采用2mm厚的聚丙烯板制作防漏盘的盘底11；

（5）采用10mm*20mm的聚丙烯条制作防漏盘10的檐口12，并与盘底11进行焊接连接；

（6）根据基座顶板20的下液孔21位置，在防漏盘10对应的位置上开设集液口13；

（7）采用聚丙烯胶水将防漏盘10与基座顶板20粘合到一起；

（8）采用螺纹连接在下液孔21下部安装废液收集管30；

（9）对基座上的防漏面板进行注水防漏测试。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。