1.一种角阀，其特征在于，所述角阀包括：
角阀腔室，所述角阀腔室设有角阀管口；
角阀清洁腔，所述角阀清洁腔与所述角阀腔室相连，并与所述角阀管口相对设置；所述角阀清洁腔包括收纳空间及清洁腔阀门，所述收纳空间内设有角阀清洁装置，所述角阀清洁装置包括驱动部件及清洁部件，所述清洁部件通过所述驱动部件伸入所述角阀管口内，以清洁所述角阀管口的内壁。
2.根据权利要求1所述的角阀，其特征在于：所述驱动部件包括伸缩单元。
3.根据权利要求2所述的角阀，其特征在于：所述驱动部件还包括旋转单元。
4.根据权利要求1所述的角阀，其特征在于：所述清洁部件包括刮刷及研磨块中的一种或组合。
5.根据权利要求1所述的角阀，其特征在于：所述清洁部件包括陶瓷部件、氟胶部件及氧化铝部件中的一种或组合。
6.根据权利要求1所述的角阀，其特征在于：所述清洁部件的移动方式包括平移式或由平移式与旋转式形成的组合中的一种。
7.根据权利要求1所述的角阀，其特征在于：所述清洁部件与所述角阀管口具有相同的水平截面形貌。
8.根据权利要求1所述的角阀，其特征在于：所述清洁腔阀门还连接有清洁腔阀门伸缩单元。
9.根据权利要求1所述的角阀，其特征在于：所述清洁腔阀门与所述角阀腔室的内壁具有同一水平面。
10.根据权利要求1～9中任一所述的角阀，其特征在于：所述角阀包括应用于半导体设备中的角阀。