角阀的制作方法

本实用新型属于半导体加工设备领域，涉及一种角阀。

背景技术：

在半导体制程工艺中，反应腔通常需要与抽气部件相连接，用以移除反应腔中的污染物。而角阀由于具有流路简单，死区及涡流区较小，流阻小，流量系数大的特点被广泛应用于工业生产设备中。

在半导体制程工艺中，通常将角阀进口与反应腔相连接，角阀出口与抽气部件相连接，通过角阀移除反应腔中的污染物，并控制反应腔的压力。然而，在角阀进行工作的过程中，部分污染物依然会沉积在角阀中，尤其附着于角阀进口的内壁上，随着污染物的堆积，该部分污染物会导致角阀控压异常，在工艺参数设定的范围内，无法对设定的压力进行控制，且沉积的污染物还会影响抽气部件对反应腔的抽气效果，以至于影响产品质量。因此，为确保正常生产及产品质量，需消耗较多的时间对角阀进行人工维修保养，从而造成资源的浪费及生产效率的降低。

基于以上所述，提供一种新型的角阀，以有效去除角阀中堆积的污染物，实属必要。

技术实现要素：

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种角阀，用于解决现有技术中在角阀中尤其是堆积在角阀管口的内壁上的污染物的清洁问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种角阀，所述角阀包括：

角阀腔室，所述角阀腔室设有角阀管口；

角阀清洁腔，所述角阀清洁腔与所述角阀腔室相连，并与所述角阀管口相对设置；所述角阀清洁腔包括收纳空间及清洁腔阀门，所述收纳空间内设有角阀清洁装置，所述角阀清洁装置包括驱动部件及清洁部件，所述清洁部件通过所述驱动部件伸入所述角阀管口内，以清洁所述角阀管口的内壁。

可选的，所述驱动部件包括伸缩单元。

可选的，所述驱动部件还包括旋转单元。

可选的，所述清洁部件包括刮刷及研磨块中的一种或组合。

可选的，所述清洁部件包括陶瓷部件、氟胶部件及氧化铝部件中的一种或组合。

可选的，所述清洁部件的移动方式包括平移式或由平移式与旋转式形成的组合中的一种。

可选的，所述清洁部件与所述角阀管口具有相同的水平截面形貌。

可选的，所述清洁腔阀门还连接有清洁腔阀门伸缩单元。

可选的，所述清洁腔阀门与所述角阀腔室的内壁具有同一水平面。

可选的，上述角阀包括应用于半导体设备中的角阀。

如上所述，本实用新型中的角阀，增加了包括收纳空间及清洁腔阀门，并与角阀腔室相连，且与角阀管口相对设置的角阀清洁腔；通过收纳空间内设置的包括驱动部件及清洁部件的角阀清洁装置，实现对角阀管口的内壁的自清洁，有效去除位于角阀管口的内壁上的污染物，缩短角阀的维修保养周期，可提高产品质量，节约资源及提高生产效率。

附图说明

图1显示为本实用新型中的角阀在应用于半导体设备中的结构示意图。

图2显示为图1中的角阀的一种工作状态结构示意图。

元件标号说明

100 角阀

101 角阀腔室

102 角阀进口

103 角阀出口

104 角阀阀门

105 螺纹管

111 角阀清洁腔

106 收纳空间

107 清洁腔阀门

108 清洁腔阀门伸缩单元

109 角阀清洁装置

119 清洁部件

129 旋转单元

139 伸缩单元

121、122、123 运行路径

200 反应腔

300 抽气部件

400 污染物

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

请参阅图1至图2。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

如图1所示，本实用新型提供一种角阀100，所述角阀100包括：角阀腔室101及角阀清洁腔111。所述角阀腔室101设有角阀管口；所述角阀清洁腔111与所述角阀腔室101相连，并与所述角阀管口相对设置；所述角阀清洁腔111包括收纳空间106及清洁腔阀门107，所述收纳空间106内设有角阀清洁装置109，所述角阀清洁装置109包括驱动部件及清洁部件119，所述清洁部件119通过所述驱动部件伸入所述角阀管口内，以清洁所述角阀管口的内壁。

具体的，本实施例中，所述角阀100的所述角阀管口包括2个，即角阀进口102及角阀出口103，在另一实施例中，所述角阀100也可根据具体需要设置3个～6个所述角阀管口，此处不作限制。所述角阀进口102的内壁附着有污染物400，如粉尘等，所述污染物400的具体种类，此处不作限制。所述角阀100还包括角阀阀门104及与所述角阀阀门104相连接的螺纹管105，其中，所述角阀阀门104及所述螺纹管105作为所述角阀100的阀芯，用以控制所述角阀100的状态，如开、关状态等。所述阀芯也可根据具体需要进行选择与替换，此处不作限制。通过调节所述清洁腔阀门107，可将所述角阀清洁腔111与所述角阀腔室101 相连接，或使得所述角阀清洁腔111与所述角阀腔室101相隔离，形成密封的所述角阀清洁腔111。

如图2，示意了图1中的所述角阀100的一种工作状态结构示意图。当所述角阀100需要清洁时，所述角阀阀门104处于全开状态，从而显露所述角阀进口102，而后打开所述清洁腔阀门107，使得所述角阀清洁腔111与所述角阀腔室101相连，通过位于所述收纳空间106内的所述驱动部件移动与所述角阀进口102相对设置的所述清洁部件119，使得所述清洁部件119与所述角阀进口102的内壁相接触，从而通过所述清洁部件119实现对所述角阀进口102的内壁的清洁，以去除所述污染物400。

本实用新型增加了所述角阀清洁腔111，提供带有所述清洁腔阀门107及可收纳所述角阀清洁装置109的所述收纳空间106，通过所述角阀清洁装置109实现对所述角阀进口102 的内壁的自清洁，有效去除位于所述角阀进口102的内壁上的所述污染物400，缩短所述角阀100的维修保养周期，可提高产品质量，节约资源及提高生产效率。

作为该实施例的进一步实施例，所述驱动部件包括伸缩单元139，所述伸缩单元139可采用气缸，通过所述气缸的运行，以精确控制所述清洁部件119的运行，所述伸缩单元139 也可根据需要选用其他种类，此处不作限制。

作为该实施例的进一步实施例，所述驱动部件还包括旋转单元129，所述清洁部件119 的移动方式包括平移式或由平移式与旋转式形成的组合中的一种。

具体的，所述旋转单元129包括伺服电机，以对所述清洁部件119的旋转进行精确控制。优选为所述清洁部件119连接有所述伸缩单元139及所述旋转单元129，从而可提高所述清洁部件119的清洁效果及清洁效率。如图2，所述清洁部件119依次与所述旋转单元129及伸缩单元139相连接，通过所述伸缩单元139的伸缩运行带动所述旋转单元129在竖直方向上运行，从而通过所述伸缩单元139控制所述清洁部件119在竖直方向上运行，包括位移及速度；通过所述旋转单元129控制与其相连接的所述清洁部件119的旋转，包括旋转方向及速度。但所述清洁部件119、旋转单元129及伸缩单元139的连接方式并非局限于此，可根据具体需要进行选择，此处不作过分限制。启动所述角阀清洁装置109的方式可包括：先启动所述伸缩单元139，通过所述伸缩单元139的伸缩带动与其相连接的所述旋转单元129在竖直方向上的运行，使所述清洁部件119在竖直方向上运行至所述角阀进口102内所需清洁的位置，而后启动所述旋转单元129，通过所述旋转单元129带动所述清洁部件119进行旋转，但并非局限于此，也可先启动所述旋转单元129，而后再启动所述伸缩单元139，或所述伸缩单元139与所述旋转单元129同时启动，此处不作过分限制。本实施例中，所述清洁部件119连接有所述气缸及所述伺服电机，且所述气缸及所述伺服电机均位于所述收纳空间106 内，所述清洁部件119与所述气缸及伺服电机依次相连接，通过所述气缸的伸缩运行带动所述伺服电机在竖直方向上的运行，从而通过所述气缸用以控制所述清洁部件119在竖直方向上的运行，包括位移及速度；通过所述伺服电机用以控制所述清洁部件119的旋转，包括旋转方向及速度。所述气缸、伺服电机及清洁部件119的连接方式并非局限于此，可根据具体需要进行选择。其中，所述气缸与所述伺服电机的运行方式可包括：先启动所述气缸，通过所述气缸的伸缩带动与其相连接的所述伺服电机在竖直方向上的运行，使所述清洁部件119 在竖直方向上运行至所述角阀进口102内所需清洁的位置，而后启动所述伺服电机，通过所述伺服电机带动所述清洁部件119进行旋转，但并非局限于此，也可先启动所述伺服电机，而后再启动所述气缸，或所述气缸与所述伺服电机同时启动，此处不作过分限制。在另一实施例中，部分所述伸缩单元139及所述旋转单元129也可位于所述收纳空间106的外侧，只需确保所述伸缩单元139及所述旋转单元129与所述收纳空间106的接触处实现密封即可，此处不作限制。如图2中，示意了所述清洁部件119在竖直方向上的运行路径121及旋转运行路径122。在另一实施例中，也可仅包含所述伸缩单元139，从而对所述清洁部件119在竖直方向上的运行进行控制。所述清洁部件119的移动方式可采用平移式，包括在竖直方向上的平移，也可包括在竖直方向及水平方向上的平移的组合，如当所述清洁部件119的水平横截面积较小时，可通过在竖直方向及水平方向上的平移的组合移动所述清洁部件119，以对所述角阀进口102的内壁进行清洁，此处不作限制。

作为该实施例的进一步实施例，所述清洁部件119包括刮刷及研磨块中的一种或组合，所述清洁部件119包括陶瓷部件、氟胶部件及氧化铝部件中的一种或组合。

具体的，本实施例中，由于附着在所述角阀进口102的内壁上的所述污染物400为所述粉尘，因此可采用结构较为简单的所述刮刷以移除所述粉尘，在另一实施例中，所述清洁部件119也可采用研磨块或由刮刷及研磨块所形成的组合中的一种，并通过研磨或刮刷与研磨相结合的方式去除所述污染物400。所述清洁部件119的具体材质可根据所述角阀100的应用场合进行选择，本实施例中，所述清洁部件119采用具有耐高温、耐腐蚀的材料制备，如陶瓷部件、氟胶部件及氧化铝部件中的一种，以便于扩大具有所述清洁部件119的所述角阀 100的适用范围，包括应用于半导体设备。

作为该实施例的进一步实施例，所述清洁部件119与所述角阀管口具有相同的水平截面形貌，以便于提高所述清洁部件119对所述角阀管口的内壁的清洁效率及清洁效果。

具体的，所述角阀管口的水平截面形貌通常采用圆形，本实施例中，优选为所述清洁部件119与所述角阀进口102采用相同的水平截面形貌，即圆形截面，且所述清洁部件119的直径小于等于所述角阀进口102的直径，从而确保所述清洁部件119可进入所述角阀进口102 内，以对所述角阀进口102的内壁进行清洁。为提高所述清洁部件119的清洁效果，所述清洁部件119的侧面边缘距离所述角阀进口102的内壁的距离优选为0mm～2mm，如1.0mm，具体可根据所述角阀100的应用场合进行选择，此处不作限制。

作为该实施例的进一步实施例，所述清洁腔阀门107还连接有清洁腔阀门伸缩单元108，以便于精确控制所述清洁腔阀门107的运行。所述清洁腔阀门伸缩单元108可包括气缸，通过所述气缸控制所述清洁腔阀门107在水平方向上的运行路径123，所述清洁腔阀门伸缩单元108也可采用其他种类，此处不作限制。

作为该实施例的进一步实施例，所述清洁腔阀门107与所述角阀腔室101的内壁具有同一水平面，以便于提高所述角阀100的稳定性。

具体的，当所述清洁腔阀门107与所述角阀腔室101的内壁具有同一水平面时，所述角阀阀门104可沿所述清洁腔阀门107的表面进行运行，从而在所述角阀阀门104运行的过程中，所述清洁腔阀门107的表面可为所述角阀阀门104提供支撑，从而提高所述角阀100的稳定性。

作为该实施例的进一步实施例，所述角阀连接有抽气部件300，以便于及时有效地去除经所述清洁部件119清洁过后所产生的所述污染物400，如图1及图2所示，所述抽气部件 300与所述角阀出口103相连接，从而可避免所述污染物400对所述角阀腔室101造成二次污染。所述抽气部件300可包括泵，具体种类此处不作限制。

作为该实施例的进一步实施例，所述角阀100包括应用于半导体设备中的角阀。

具体的，本实施例中，所述角阀100可应用于半导体设备中，即所述角阀进口102与反应腔200相连接，所述反应腔200可包括干法刻蚀腔、扩散炉腔等，所述角阀出口103与所述抽气部件300相连接，所述角阀100也可适用于其他设备，此处不作限制。当需要清洁所述角阀100时，所述角阀阀门104全开，所述清洁腔阀门107打开，然后启动所述角阀清洁装置109，所述清洁部件119进入所述角阀进口102，对所述角阀进口102的内壁进行轻微刮刷、研磨或刮刷与研磨的组合，同时，清洁下来的所述污染物400由所述抽气部件300排除。清洁完成后，所述角阀清洁装置109进行原位返回，而后关闭所述清洁腔阀门107，以密封所述角阀清洁腔111，从而实现所述角阀100的自清洁，有效地缩短所述角阀100的维修保养周期。

综上所述，本实用新型的角阀，增加了包括收纳空间及清洁腔阀门，并与角阀腔室相连，且与角阀管口相对设置的角阀清洁腔；通过收纳空间内设置的包括驱动部件及清洁部件的角阀清洁装置，实现对角阀管口的内壁的自清洁，有效去除位于角阀管口的内壁上的污染物，缩短角阀的维修保养周期，可提高产品质量，节约资源及提高生产效率。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。