空气悬浮轴承的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种轴承，具体地涉及一种空气悬浮轴承。
【背景技术】
[0002]目前，在平板显示、半导体，医药，生物科技等行业中，在工艺制程中关于环境洁净度的要求极其苛刻，相应对设备内部的污染物颗粒度控制的要求也极为严格。
[0003]目前，轴承主要功能是支撑机械旋转体，用以降低设备在传动过程中的机械载荷摩擦系数。根据对传统轴承的摩擦分析与实际应用观察，传统轴承无法避免摩擦而产生颗粒物，在实际应用中，通过添加润滑剂或者使用自润滑材料以及对轴承内部进行精密加工可以一定程度上改善颗粒物的产生状况，但仍然也无法根本性地杜绝微观污染；而在一些特殊环境中，如酸性环境中，传统的金属轴承无法得到应用，只能采用特种塑料轴承，由于塑料的特性，其产尘更加无法得到根本性控制。
[0004]目前，市面上已经有一些气体悬浮轴承，但其结构复杂，体积庞大，耗气量巨大，使用较为繁琐，并且不适宜在高精密的应用领域使用。
【发明内容】
[0005]本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而一种结构简单、耗气量低的空气悬浮轴承。
[0006]为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是:一种空气悬浮轴承，它包括带有安装孔的固定座以及安装所述安装孔中的套环，所述套环由多孔陶瓷制成，所述固定座在与所述套环接触的一面上设有围绕所述套环一周的气体分布流道，所述固定座顶部设有与所述气体分布流道相连通的进气口。
[0007]优化地，所述套环的厚度为5~8毫米。
[0008]优化地，所述气体分布流道呈环形，其宽度比所述套环的宽度小。
[0009]优化地，所述固定座包括固定基板以及安装在所述固定基板上且与其一体成型的固定立块，所述安装孔设置在所述固定立块上。
[0010]进一步地，所述固定基板上设置有至少两个固定孔。
[0011]由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点:本实用新型空气悬浮轴承，一方面在固定座的安装孔内设置多孔陶瓷制成的套环，使得套环具有高耐热性、耐化学腐蚀性、耐磨耗性、轻量、绝缘性能高、内部不发尘等优点；另一方面在固定座上设有围绕套环一周的气体分布流道并设有与气体分布流道相连通的进气口，利用多孔陶瓷本身具有的多孔性质，使得整个套环均布气体，使得气流在轴与轴承之间形成分子级的空气膜，有效降低耗气量的同时避免轴承与轴直接的摩擦，从而完全避免了颗粒物的产生。
【附图说明】
[0012]附图1为本实用新型空气悬浮轴承的结构示意图；
[0013]附图2为本实用新型空气悬浮轴承的截面图；
[0014]其中，1、固定座；11、固定基板；111、固定孔；12、固定立块；121、进气口 ；122、安装孔；123、气体分布流道；2、套环。
【具体实施方式】
[0015]下面将结合附图对本实用新型优选实施方案进行详细说明:
[0016]如图1和图2所示的空气悬浮轴承，主要包括固定座I和套环2。
[0017]其中，固定座I上设置有安装孔122，用于安装套环2 ;套环2由多孔陶瓷(多孔质陶瓷材料是以高硅质硅酸盐、铝硅酸盐等为主剂，添加一定的辅助剂，通过一定工艺使主剂与辅助剂产生共晶反应，并在高温烧结而成)制成，用于套接在转轴或旋转体的外表面上，这使得套环2具有高耐热性、耐化学腐蚀性、耐磨耗性、轻量、绝缘性能高、内部不发尘等优点，并且它的内部具有分布均匀，孔径规则，透气率高的气孔结构。固定座I与套环2接触的一面上向内凹陷形成气体分布流道123，该气体分布流道123围成一圈设置在套环2的外表面。固定座I的顶部设有与气体分布流道123相连通的进气口 121。当压缩空气经由进气口 121导入气体分布流道123中，从而均匀分布于套环2的圆周面上，并经由气孔结构使得整个套环2均布气体，使得气流在转轴与套环2之间形成分子级的空气膜，有效降低耗气量的同时避免套环2与转轴直接的摩擦，从而完全避免了颗粒物的产生。
[0018]在本实施例中，套环2的厚度优选为5~8毫米。气体分布流道123呈环形，其宽度比套环2的宽度小。固定座I包括固定基板11以及安装在固定基板11上且与其一体成型的固定立块12，安装孔122设置在固定立块12上。固定基板11上设置有至少两个固定孔111，方便对其进行固定。
[0019]上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种空气悬浮轴承，它包括带有安装孔(122)的固定座(I)以及安装所述安装孔(122)中的套环(2)，其特征在于:所述套环(2)由多孔陶瓷制成，所述固定座(I)在与所述套环(2)接触的一面上设有围绕所述套环(2)—周的气体分布流道(123)，所述固定座(I)顶部设有与所述气体分布流道(123)相连通的进气口(121)。
2.根据权利要求1所述的空气悬浮轴承，其特征在于:所述套环(2)的厚度为5~8毫米。
3.根据权利要求1所述的空气悬浮轴承，其特征在于:所述气体分布流道(123)呈环形，其宽度比所述套环(2)的宽度小。
4.根据权利要求1所述的空气悬浮轴承，其特征在于:所述固定座(I)包括固定基板(11)以及安装在所述固定基板(11)上且与其一体成型的固定立块(12)，所述安装孔(122)设置在所述固定立块(12)上。
5.根据权利要求4所述的空气悬浮轴承，其特征在于:所述固定基板(11)上设置有至少两个固定孔(111)。
【专利摘要】本实用新型涉及一种空气悬浮轴承，它包括带有安装孔的固定座以及安装安装孔中的套环，套环由多孔陶瓷制成，固定座在与所述套环接触的一面上设有围绕所述套环一周的气体分布流道，固定座顶部设有与所述气体分布流道相连通的进气口。一方面在固定座的安装孔内设置多孔陶瓷制成的套环，使得套环具有高耐热性、耐化学腐蚀性、耐磨耗性、轻量、绝缘性能高、内部不发尘等优点；另一方面在固定座上设有围绕套环一周的气体分布流道并设有与气体分布流道相连通的进气口，利用多孔陶瓷本身具有的多孔性质，使得整个套环均布气体，使得气流在轴与轴承之间形成分子级的空气膜，有效降低耗气量的同时避免轴承与轴直接的摩擦，从而完全避免了颗粒物的产生。
【IPC分类】F16C32-06
【公开号】CN204344681
【申请号】CN201420847339
【发明人】施利君, 徐鸽
【申请人】苏州晶洲装备科技有限公司
【公开日】2015年5月20日
【申请日】2014年12月26日