密封阀门还包括一比较器，所述比较器分别与所述第一压力传感器、所述第二传感器和所述电磁线圈210连接(所述第一压力传感器和所述第二传感器及比较器在图中没有示出)。
[0027]当所述比较器获得所述密封阀门两侧的两个腔体内的所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的压力相等时，即所述阀杆202面向所述气缸201 —侧和背离所述气缸201 一侧的压力相等时，所述比较器将触发与其连接的所述电磁线圈210通电，当所述电磁线圈210通电后产生一电磁场，所述金属块212将被吸引到所述电磁线圈210处，同时所述弹簧211处于紧绷状态，带动与所述弹簧211连接的金属块212会被吸引到所述电磁线圈210上，所述金属块212将离开所述气缸轴204与所述气缸201之间的位置，所述安全锁207将不影响所述气缸轴204沿着所述凸出开口 203的外表面的滑动。具体的，电磁线圈210呈长方体形，所述金属块212呈圆柱体形。
[0028]当所述比较器获得所述密封阀门两侧的两个腔体内的所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的压力不相等时，即所述阀杆202面向所述气缸201 —侧和背离所述气缸201—侧的压力不相等时，所述比较器将触发与其连接的所述电磁线圈210断电，所述电磁线圈210上的电磁场消失，所述弹簧211处于放松状态，与所述弹簧211连接的金属块212离开所述电磁线圈210而回到所述气缸轴204与所述气缸201之间，使得所述气缸轴204不能向靠近所述气缸201的方向滑动，即所述密封阀门不能打开。也就是说当所述密封阀门两侧的压力不平衡时，安全锁207可以保证所述密封阀门不会被打开，减小因密封阀门被误打开而造成的腔体中的晶圆爆裂的风险。
[0029]更进一步的，所述气缸201上还设置有两个进气管，第一进气管205和第二进气管206，所述第一进气管205位于靠近所述凸出开口 203 —端，所述第二进气管206位于远离所述凸出开口 203 —端，所述第一进气管205和所述第二进气管206之间设置有第一气动阀208，所述第二进气管206上设置有第二气动阀209。
[0030]通过对所述第一进气管205充气或者对所示第二进气管206充气，调节所述气缸201内靠近所述凸出开口 203 —侧和背离所述凸出开203 口一侧之间的压力，通过二者之间的压力差带动所述气缸轴204与所述气缸201之间的相对移动，从而达到使所述密封阀门开关的目的。
[0031]具体的，当所述密封阀门两侧的压力平衡时，所述第一进气管205与所述第二进气管206之间的第一气动阀208关闭，所述第二进气管206上设置的所述第二气动阀209一直处于开启状态，所述气缸轴204与所述气缸201之间可以自由移动。
[0032]当所述密封阀门两侧的压力不平衡时，所述第一气动阀208打开，同时所述第二气动阀209关闭，即所述第一进气管205与所述第二进气管206连通，并同时通过所述第一进气管205和所述第二进气管206对所述气缸201进行充气，所述气缸201内靠近所述凸出开口 203 —侧及背离所述凸出开口 203 —侧之间没有压力，所述气缸轴204与所述气缸201之间不会发生移动，即所述密封阀门不会打开。也就是说，当所述密封阀门两侧的压力不平衡时，所述密封阀门不会被打开，避免了现有密封阀门被误打开而造成的晶圆爆裂。
[0033]综上，在本实用新型实施例提供的密封阀门中，当密封阀门两侧的压力平衡时，所述第二进气阀一直打开，所述气缸轴可以自由移动。当密封阀门两侧的压力不平衡时，所述第一进气阀打开，所述第二进气阀关闭，气体通过所述第一进气管和所述第二进气管同时进入所述气缸内，所述气缸内靠近所述凸出开口一端和背离所述凸出开口一端的压强相等，使得所述气缸轴不能向靠近所述气缸方向移动，即所述密封阀门不能打开。从而避免腔体内的晶圆爆裂。
[0034]上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种密封阀门，其特征在于，包括:一气缸及一阀杆，所述气缸上设置有一凸出开口，所述阀杆通过一气缸轴连接于所述气缸，所述气缸轴沿着所述凸出开口外表面移动，所述气缸上设置有第一进气管和第二进气管，所述第一进气管位于所述第二进气管靠近所述凸出开口的一侧，所述第一进气管和所述第二进气管之间设置有第一气动阀，所述第二进气管上设置有第二气动阀。
2.如权利要求1所述的密封阀门，其特征在于，所述气缸上还设置有多个安全锁，所述安全锁均匀分布于所述凸出开口周围，当所述密封阀门两侧压力不平衡时，所述安全锁位于所述气缸轴和所述气缸之间顶住所述气缸轴。
3.如权利要求2所述的密封阀门，其特征在于，所述安全锁包括电磁线圈、弹簧及金属块，所述弹簧与所述金属块连接，所述金属块位于所述气缸轴与所述气缸之间顶住所述气缸轴。
4.如权利要求3所述的密封阀门，其特征在于，所述密封阀门还包括第一压力传感器和第二压力传感器，所述第一压力传感器和所述第二压力传感器分别位于与所述密封阀门连接的两个腔体内。
5.如权利要求4所述的密封阀门，其特征在于，所述密封阀门还包括一比较器，所述比较器分别连接于所述第一压力传感器、所述第二压力传感器和所述电磁线圈。
6.如权利要求2所述的密封阀门，其特征在于，所述安全锁的个数为三个。
7.如权利要求2所述的密封阀门，其特征在于，所述气缸呈长方体形，所述凸出开口及所述安全锁位于所述气缸的同一面上。
8.如权利要求7所述的密封阀门，其特征在于，所述第一进气管和所述第二进气管位于所述气缸的同一面上。
9.如权利要求7所述的密封阀门，其特征在于，所述凸出开口所在的气缸的一面与所述第一进气管所在的一面相互垂直。
10.如权利要求1所述的密封阀门，其特征在于，所述凸出开口呈圆柱体形。
【专利摘要】本实用新型提供了一种密封阀门，包括：一气缸及一阀杆，所述气缸上设置有一凸出开口，所述阀杆通过一气缸轴连接于所述气缸，所述气缸轴沿着所述凸出开口外表面移动，所述气缸上设置有多个安全锁，所述安全锁均匀分布于所述凸出开口周围，所述安全锁位于所述气缸轴和所述气缸之间；所述气缸上还设置有两个进气管，第一进气管和第二进气管，所述第一进气管位于靠近所述凸出开口一端，所述第二进气管位于远离所述凸出开口一端，所述第一进气管和所述第二进气管之间设置有第一气动阀，所述第二进气管上设置有第二气动阀。当所述密封阀门两侧的压力平衡时，所述密封阀门可以自由打开，当所述密封阀门两侧的压力不平衡时，所述密封阀门不能打开。
【IPC分类】F16K17-20, F16K31-12
【公开号】CN204358220
【申请号】CN201420807324
【发明人】周琦, 计骏
【申请人】中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2014年12月17日