专利名称：特殊气体供应和分配设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及高纯度地气体输送领域，具体为特殊气体供应和分配设备。
背景技术：
特殊气体的供应和分配系统，目前广泛应用于半导体等高新技术领域。为整 个制程有序进行提供了坚实的基础，其相配套的全自动监控系统有安全，可靠等 众多优点，受到各资深专家的广泛肯定及推崇。操作上由电脑运算取代繁琐的重 复人力劳动，取得了显著的经济效益。
目前，随着国内大面积的发展半导体等高技术产业，厂务端对于特殊气体的 供应及分配系统得需求也越来越大，对于系统的可靠性要求也越来越高。目前国 内尚未有哪家企业能满足客户的需求，而对于国外大公司(液空，BOC，等)的 产品，国内用户则需付出高昂的成本来购买，随着用户的投资理念不断的提高， 对于成本也越来越看重，也希望国内能研发出可靠性高，且相对成本较低的来取 代进口产品。
发明内容
为克服现有技术的缺陷，提供一种可靠性、安全性、洁净度以及气体的纯度、 品质都很高的设备，本发明公开了一种特殊气体供应和分配设备。 本发明通过如下技术方案达到发明目的
一种特殊气体供应和分配设备，由气体源供应设备、阀门、压力传感器，前 段过滤器、后段过滤器、过流量侦测器、测试端口、气动角阀、真空产生器、气 瓶、不死阀组成，气体源供应设备通过输送管路接阀门，其间的输送管路上接压 力传感器；阀门通过输送管路接阀门和阀门，其间的输送管路上接前段过滤器和 过流量侦测器；阀门接测试端口；阀门接气动角阀，其间的输送管路上接阀门和 压力传感器；气动角阀接后段过滤器；阀门接真空产生器；阀门接气瓶，其间的 输送管路上接不死阀。
所述的特殊气体供应和分配设备，其特征在于压力传感器、过流量侦测器、测试端口的信号都通过RJ45网络线向PLC传输数字量信号，并由PLC控制整 个系统。
本发明采用独特的气体输送结构，采用不死阀，这样当换气瓶时仍有少量气 体从管路中吹向外界，不使外界气体混入管路之中；采用前后两段的两级过滤提 高了气体纯度；采用真空发生器保证气体输送的畅通。
尤其是，整套系统中，采用通过RJ45网络线向PLC传输数字量信号，替代 了过去传统控制系统所使用的模拟量信号。数字量儐号同传统的模拟量信号相比 具有1.传输速度快，如有必要，侦测器数字量信号可转换为光信号，通过光 缆传送。2.系统容量大大提高每个气体侦测器的数字通讯量为小于IOBITE， 而网络的通讯容量可以最大达到100M。因此从理论上讲，该网络系统得容量可 为无限。3.系统集成便捷使用TCP/IP集成系统，可根据实际需求灵活地任意 加减气体侦测器。4.降低用户成本使用标准的PoEHUB以替代昂贵的传统的 模拟量输入输出模块，能使整个系统的造价降低25 35%。
图1是本发明的结构示意图。
具体实施例方式
下面结合实施例进一步说明本发明
如图1所示， 一种特殊气体供应和分配设备，由气体源供应设备1、阀门21
24、压力传感器31、 32，前段过滤器41、后段过滤器42、过流量侦测器5、测 试端口6、气动角阀7、真空产生器8、气瓶9、不死阀10组成，气体源供应设 备1通过输送管路接阀门21，其间的输送管路上接压力传感器31;阀门21通过 输送管路接阀门22和阀门23，其间的输送管路上接前段过滤器41和过流量侦 测器5;阀门22接测试端口 6;阀门23接气动角阀7，其间的输送管路上接阀 门24和压力传感器32;气动角阀7接后段过滤器42;阀门24接真空产生器8; 阀门21接气瓶9，其间的输送管路上接不死阀10。
所述的特殊气体供应和分配设备，其特征在于压力传感器31、 32、过流 量侦测器5、测试端口6的信号通过RJ45网络线向PLC传输数字量信号，并由 PLC控制整个系统。
本发明采用独特的气体输送结构，采用不死阀，这样当换气瓶时仍有少量气体从管路中吹向外界，不使外界气体混入管路之中；采用前后两段的两级过滤提 高了气体纯度；采用真空发生器保证气体输送的畅通。
尤其是，整套系统中，采用通过RJ45网络线向PLC传输数字量信号，替代 了过去传统控制系统所使用的模拟量信号。数字量信号同传统的模拟量信号相比 具有1.传输速度快，如有必要，侦测器数字量信号可转换为光信号，通过光 缆传送。2.系统容量大大提高每个气体侦测器的数字通讯量为小于IOBITE， 而网络的通讯容量可以最大运到100M。因此从理论上讲，该网络系统得容量可 为无限。3.系统集成便捷使用TCP/IP集成系统，可根据实际需求灵活地任意 加减气体侦测器。4.降娃用户成本使用标准的PoEHUB以替代昂贵的传统的 模拟量输入输出模块，能使整个系统的造价降低25 35%。
主要技术指标-
1. 系统接受信号响应时间<10s
2. 系统输出信号响应时间<10s
3. 误报警率<1次/1000工作小时
4. 系统通讯故障率<3%/5000工作小时
权利要求
1. 一种特殊气体供应和分配设备，由气体源供应设备(1)、阀门(21～24)、压力传感器(31、32)，前段过滤器(41)、后段过滤器(42)、过流量侦测器(5)、测试端口(6)、气动角阀(7)、真空产生器(8)、气瓶(9)、不死阀(10)组成，气体源供应设备(1)通过输送管路接阀门(21)，其间的输送管路上接压力传感器(31)；阀门(21)通过输送管路接阀门(22)和阀门(23)，其间的输送管路上接前段过滤器(41)和过流量侦测器(5)；阀门(22)接测试端口(6)；阀门(23)接气动角阀(7)，其间的输送管路上接阀门(24)和压力传感器(32)；气动角阀(7)接后段过滤器(42)；阀门(24)接真空产生器(8)；阀门(21)接气瓶(9)，其间的输送管路上接不死阀(10)。
2. 如权利要求1所述的特殊气体供应和分配设备，其特征在于压力传感器(31)、 (32)、过流量侦测器(5)、测试端口(6)的信号通过RJ45网络线向PLC传输数字量 信号，并由PLC控制整个系统。
全文摘要
一种特殊气体供应和分配设备，涉及高纯度地气体输送领域。特殊气体供应和分配设备，由气体源供应设备(1)、阀门(21～24)、压力传感器(31、32)，前段过滤器(41)、后段过滤器(42)、过流量侦测器(5)、测试端口(6)、气动角阀(7)、真空产生器(8)、气瓶(9)、不死阀(10)组成。本发明采用独特的气体输送结构，确保气体输送时的纯度、洁净度高，安全可靠，采用通过RJ45网络线向PLC传输数字量信号，替代了过去传统控制系统所使用的模拟量信号，具有传输速度快、容量大、集成简便、成本低的优点。
文档编号F17D1/00GK101446382SQ200710171179
公开日2009年6月3日 申请日期2007年11月28日 优先权日2007年11月28日
发明者凌晨华, 刘岚峰, 洁 卫, 徐敏燕, 朱浩然 申请人:上海创洁科技有限公司