一种特气分配箱及其零件更换方法与流程

文档序号:12434972阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种特气分配箱,其特征在于,包括第一特气主管路(1),所述第一特气主管路(1)的一端用于与特气供应系统连接,另一端分别与至少两个特气支管路(2)的一端连接,每个所述特气支管路(2)的另一端分别用于与待供气机台连接;所述第一特气主管路(1)上设置有第一特气主管路阀(11),每个所述特气支管路(2)上沿特气供应方向依次设置有第一特气支管路阀(21)和第二特气支管路阀(22);每个所述特气支管路(2)位于所述第一特气支管路阀(21)和第二特气支管路阀(22)之间的部分连接有第一氮气支管路(31),每个所述第一氮气支管路(31)相对所述特气支管路(2)的另一端均与氮气主管路(3)的一端连接,所述氮气主管路(3)的另一端用于与氮气供应系统连接,每个所述第一氮气支管路(31)上设置有第一氮气支管路阀(311);还包括氮气处理管路(4),所述氮气处理管路(4)的一端用于与氮气供应系统连接,另一端用于与尾气处理系统连接;每个所述特气支管路(2)位于所述第一特气支管路阀(21)和第二特气支管路阀(22)之间的部分还连接有第二氮气支管路(41),每个所述第二氮气支管路(41)相对所述特气支管路(2)的另一端均与所述氮气处理管路(4)位于氮气供应系统和尾气处理系统之间的部分连接,每个所述第二氮气支管路(41)上设置有第二氮气支管路阀(411),每个所述第二氮气支管路(41)位于特气支管路(2)和第二氮气支管路阀(411)之间的部分设置有第一压力传感器(412)。

2.根据权利要求1所述一种特气分配箱,其特征在于,所述氮气处理管路(4)上设置有氮气处理管路阀(42)。

3.根据权利要求1所述一种特气分配箱,其特征在于,所述氮气主管路(3)上设置有氮气主管路阀(32)。

4.根据权利要求3所述一种特气分配箱,其特征在于,所述氮气主管路(3)位于氮气主管路阀(32)和第一氮气支管路(31)之间的部分设置有第二压力传感器(33)。

5.根据权利要求1所述一种特气分配箱,其特征在于,所述第一特气主管路阀(11)包括分别设置在第一特气主管路(1)上的手动阀和气动阀。

6.根据权利要求1所述一种特气分配箱,其特征在于,所述第一特气支管路阀(21)为气动阀。

7.根据权利要求1所述一种特气分配箱,其特征在于,所述第二特气支管路阀(22)、第一氮气支管路阀(311)和第二氮气支管路阀(411)均为手动阀。

8.根据权利要求1所述一种特气分配箱,其特征在于,所述第一特气主管路(1)位于所述第一特气主管路阀(11)和特气支管路(2)之间的部分设置有第三压力传感器(12)。

9.根据权利要求1至8任一所述一种特气分配箱,其特征在于,所述第一特气主管路(1)位于其用于与特气供应系统连接的一端和所述第一特气主管路阀(11)之间的部分设置有第二特气主管路阀(13),且位于所述第一特气主管路阀(11)和第二特气主管路阀(13)之间连接有第二特气主管路(5),所述第二特气主管路(5)相对于所述第一特气主管路(1)的另一端用于与其它特气分配箱连接,且所述第二特气主管路(5)上设置有第三特气主管路阀(51)。

10.一种特气分配箱的零件更换方法,其特征在于,采用权利要求1至9任一所述一种特气分配箱实现零件更换,包括如下步骤:

步骤1,关闭待更换零件所在管路相应管路阀,使所述待更换零件所在的管路两端密闭,所述两端的内部管路导通,且所述内部管路至少连接有一个第一氮气支管路(31)和一个第二氮气支管路(41);

步骤2,待氮气处理管路(4)中的气体流动稳定后,打开所述第二氮气支管路(41)上的第二氮气支管路阀(411)产生虹吸负压,通过所述第二氮气支管路(41)抽取所述内部管路中的气体;

步骤3,待所述第二氮气支管路(41)上的第一压力传感器(412)的压力示数变小且稳定,关闭所述第二氮气支管路阀(411);

步骤4,打开所述第一氮气支管路(31)上的第一氮气支管路阀(311),氮气主管路(3)中的氮气通过所述第一氮气支管路(31)通入所述内部管路中;

步骤5,待所述第一压力传感器(412)的压力示数变大且稳定,关闭所述第一氮气支管路阀(311);

步骤6,判断所述内部管路中特气浓度是否趋于零;是,则执行步骤7,反之,返回执行步骤2;

步骤7,更换所述待更换零件;

步骤8,打开所述第一氮气支管路(31)上的第一氮气支管路阀(311),氮气主管路(3)中的氮气通过所述第一氮气支管路(31)通入所述内部管路中,待所述第一压力传感器(412)的压力示数变大且稳定,关闭所述第一氮气支管路阀(311),如果,在预设时间内,所述第一压力传感器(412)的压力示数在预设幅度内变化,则保压测试合格,执行步骤10;反之,则保压测试不合格,执行步骤9;

步骤9,检查更换所述待更换零件时拆装的接头部分,并更换对应的密封器件,返回执行步骤8;

步骤10,重复执行步骤2至步骤5,待所述内部管路中氮气浓度趋于100%时停止,打开步骤1中关闭的相应管路阀,恢复特气供应。

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