技术特征：
技术总结
本发明涉及一种气体处理系统及处理方法，系统包括排气系统的第一泵体与晶圆真空反应室连接，排气管路与第一、第二泵体连接；氮气管路与氮气供给系统以及排气管路连接，氮气管路将氮气供给系统中供应的氮气输送到排气管路稀释第一混合气体中的氧硫化碳浓度至爆炸浓度下限以下；供应至氮气管路中的氮气为从氮气供给系统供应至各厂务设备的氮气中分配出的。方法包括向晶圆真空反应室内放入晶圆并持续通入反应气体；氮气管路将氮气输送到排气管路中对氧硫化碳进行稀释；第二泵体将排气管路中的气体抽入其内部并再次稀释后排出。本发明解决了排气管路中氧硫化碳浓度过高发生爆炸以及不增加氮气供给系统负担的问题。
技术研发人员：不公告发明人
受保护的技术使用者：睿力集成电路有限公司
技术研发日：2018.04.23
技术公布日：2018.09.28