专利名称：用于评定腐蚀性气体分配系统中压力调节器的运行状况的方法与系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于检测在腐蚀性气体分配系统中使用的压力调节器的故障或失灵的一种方法，以及用于防止这样的故障或失灵的方法。
气体分配系统，包括惰性气体和非惰性气体的分配系统在很大的范围中得到采用。对于气体分配系统的各部分而言，惰性气体通常不是一个问题。然而，非惰性气体，即对其环境有反应的气体，包括活性气体或腐蚀性气体，在其处理或传输中会产生许多问题，特别是腐蚀性气体对其环境如管道、阀、压力调节器等非常有腐蚀性。例如，在半导体的制造中采用了腐蚀性的HBr气体。在许多制造厂中，腐蚀性HBr气体贮存在位于制造厂外的气罐室里的气罐中。于是配置一气体分配系统以将腐蚀性气体传送到制造厂内的适当位置。
气体分配系统典型地包括许多用于气体流量控制的部件，如压力调节器和质量流量控制器。对腐蚀性气体分配系统中的故障原因的统计分析反映出这些部件是故障或失灵最常出现的位置。这样的-压力调节器阀的一般特征如
图1中所示，它包括一入口22，一出口24，以及一孔板26。在该孔板上配有一节流孔28，该孔28限定了一座30。由提升阀弹簧34偏置并配有帽盖40的提升阀提动头32设计成与座30配合从而控制或调节通过节流孔28的流量。还配有与一负载弹簧38相连的一压力调节把手36以有效地调节压力调节器20。
当压力调节器故障或失灵时，当然需要替换压力调节器。压力调节器的故障或失灵，以及随后的替换过程，会导致对处理的气体的不期望的污染，并导致系统其他部件的失灵。另外，当压力调节器故障、失灵或需要替换时，会导致生产线上生产效率的明显下降。另外，在某些情况下，压力调节器的故障或失灵能导致腐蚀性气体的泄漏，从而引起重大的安全与环境问题。
上述压力调节器的故障或失灵的一个主要原因是，在出现压力下降的提动头32的区域(即，节流孔28的区域)腐蚀性产品的腐蚀和/或附着。由于提动头32的外表面与座30之间的间隔为N微米的数量级，因此提动头32的外表面必须非常光滑以达到适当的气密性，并控制次级气流。即使是提动头32的外表面上微量的腐蚀和/或附着的出现，也会阻碍达到需要的气密性，并导致当调节器处于关闭位置时，出现次级气体泄漏。
此种类型的压力调节器的内部泄漏还可能由于提升阀弹簧34的腐蚀而引起。这样的腐蚀能减弱提升阀弹簧34的弹力，并从而阻止提动头32与座30完全接合以关闭节流孔28。
除了上述内部泄漏以外，压力调节器的故障或失灵会引起外部泄漏。即，流过压力调节器的腐蚀性气体会在压力调节器20的孔板26上引起孔蚀(即，小孔)。此外部泄漏会导致腐蚀性气体直接泄漏到周围环境中。
已经发现引起上述外部和内部泄漏的气体分配系统中的腐蚀产生的一个主要原因归于气罐的交换过程。即，当盛有腐蚀性气体的气罐排空时，需要用满载的气罐来代替它。如果在替换过程中适当的工序没有跟上，则空气中的潮气会侵入气体分配系统，从而逐渐导致管道中腐蚀的出现。
为了避免在一腐蚀性气体分配系统中由于压力调节器的故障或失灵而可能引起的潜在的严重问题，气体分配系统中的压力调节器一般在特定的时间内要进行替换。希望通过以固定的间隔替换压力调节器，将能避免调节器失灵的出现。然而，可以理解，调节器面临的腐蚀问题超过了想象，从而增加了在替换以前调节器已失灵的可能性。另外，经常的固定替换导致将未发生故障或接近失灵的压力调节器的替换。结果，不论是否需要，昂贵的替换都将进行。
考虑到上述已知非惰性(包括腐蚀性气体)分配系统的缺点及缺陷，期望提供一种机构，以识别非惰性气体分配系统中发生故障的压力调节器或在其完全失灵以前精确地预测压力调节器的故障。根据本发明一个方面，一种检测非惰性气体流动系统特别是腐蚀性气体流动系统中的压力调节器的故障或失灵的方法，包括以下步骤使非惰性或腐蚀性气体流经配有压力调节器的一气体流动系统；在非惰性或腐蚀性气体流经该系统时确定该气体流动系统中的压力调节器的运行输出压力；连续测量在没有非惰性或腐蚀性气体流经该系统时压力调节器的输出压力；当非惰性或腐蚀性气体流经该系统时压力调节器的运行输出压力与没有气体流经该系统时压力调节器的输出压力之间的压差超过一预定值时，确定压力调节器出现故障或失灵。
在本说明书中，术语非惰性气体、活性气体或腐蚀性气体将交替使用以表示能与其环境如管道、阀、压力调节器或类似物发生反应，通常是化学反应的同一类气体。
根据优选的实施例，当压差超过第一预定值时，确定压力调节器出现故障，当压差超过比第一预定值大的第二预定值时，确定压力调节器出现失灵。特别地，当压差大约在0.5kgf/cm2～1.0kgf/cm2之间时，确定压力调节器出现故障。另外，当压差大于约1.0kgf/cm2时，确定压力调节器出现失灵。
根据本发明的另一方面，一种评定气体流动系统中的部件如阀、质量流量控制器或类似设计的部件的运行状况的方法，包括以下步骤使气体流经气体流动系统的一管道，该系统含有这样的一个部件以调节该管道的流量；监视在气体流经该管道时及没有气体流经该管道时邻近该部件的出口处的输出压力；并根据在没有气体流经该部件时该部件的出口压力的变化确定该部件的运行状况。
根据优选的实施例，当没有气体流经该管道而出口压力减小时，确定部件中出现外部泄漏。如果当气体流经该管道时该部件的出口压力与没有气体流经该管道时该部件的出口压力之间的压差超过第一预定值，则确定该部件出现故障。另一方面，如果当气体流经该管道时该部件的出口压力与没有气体流经该管道时该部件的出口压力之间的压差超过比第一预定值大的一第二预定值时，确定该部件失灵。
根据更一般的方面，本发明涉及一种评定一部件出现外部泄漏的方法，该部件具有至少一开启位置以让气体流过并具有至少一关闭位置以不让气体流过，该方法包括以下步骤确定在当该部件处于关闭位置而受压气体出现在所述部件的入口侧时，与当该部件处于开启位置时气体的压力相比较，该部件的气体出口压力的减小。
本发明的上述及其他特征通过下面结合附图而进行的详细描述将会更清楚。在附图中，相同的元件以相同的参考符号来表示。
图1是一压力调节器的各部分的简略图示。
图2是具有图1中所示的压力调节器的一气体分配系统的简略图。
图3表示了在一定运行条件下，图1中所示的压力调节器的压力随时间的变化。
图4A表示了图1中所示的压力调节器在正常运行状况下其输出压力相应于气罐的数量的变化。
图4B显示了图1中所示的压力调节器在故障状况下其输出压力相应于气罐的数量的变化。
图4C显示了图1中所示的压力调节器在失灵状况下其输出压力相应于气罐的数量的变化。
图2一般地描述了一腐蚀性气体分配系统的各种特征，它包括本发明的特征。图2中所示的气体流动分配系统在将腐蚀性HBr气体传送到半导体制造厂这一点上是有用的。然而，要理解的是，下面将详细描述的本发明的特征也可以用于采用了易发生故障或失灵的压力调节器的任何其他类型的腐蚀性气体或非惰性气体分配系统。
如图2中所示，一腐蚀性HBr气体的气罐42与气体分配系统相连以提供HBr气体。气罐42设计成可替换以在气罐排空时，另一满载的气罐能连接到系统上。该气体分配系统还包括多个高压阀44、46、48，多个低压阀501、502、503、504、505、506，一低压空气控制阀52，用于检测腐蚀性气体HBr在压力调节器68之前与之后的压力的压力传感器54、70，一真空发生器56，一流量计58，一深排放或交叉排放(deep purge or cross purge)单元60，多个单向阀(check valve)621、622、623，多个过滤器641、642，以及一质量流量控制器66。一氮气源73通过一室内管72与分配系统相连。源73可以是存放于一蒸发器中的液氮，或现场制氮气的设备，或是气罐中的氮气体，或任何其他的氮气产生装置。一氮气滤清器也连接到输入N2的管道72上，以根据电子工业标准的需要传送高纯度或超高纯度的氮气。气体分配系统的上述各种部件通过具有不同尺寸直径的适当管道(如，SUS316L EP管和SUS316L BA管)相互连接，如图2中所示。该气体分配系统还包括一压力调节器68，调节器68可以是图1中所示的一般形式，以将气罐42中的压力降低到工作压力。
各种高或低压阀，无论是两通或三通阀，在两个方向上控制各种气流，而单向阀只允许气体在一个方向上流动。深排放单元DPU60包括两个抽头601和602，该两个抽头与气罐42的阀80相连，并在HBr气罐替换期间参与气体排放过程。(该深排放单元DPU可以用一交叉排放单元来替代。)真空发生器56通过管道78将系统中的气体排列一气体消除装置151中。流量计58检测系统中氮气的流速。图2中所示的系统的运行包括三个基本步骤，即，初始的降干(drydown)步骤，HBr流动步骤，以及气罐替换的仿真。下面将描述这些步骤。
1.初始降干(dry down)在初始降干期间，气罐阀80及阀48、501、504、505和506保持关闭。氮气经滤清器75、阀44、深排放单元(DPU)60和阀46流入系统，排放的氮气的湿度通过固定在管道74一端的湿度计707来检测。当氮气中含的湿度达到所需值时，氮气流停止。经提纯的氮气(大约有20ppb H2O)仅在所有管道的初始降干时需要。在气罐替换期间，对于深排放单元60及气罐阀80的排放，经提纯的高等级的氮气就足够了。经提纯的低等级的氮气用于其它目的，如气动阀的操作和腐蚀性气体送到气体消除装置151之前的稀释。
2、HBr流动在HBr流动期间，(或任何其他非惰性气体或腐蚀性气体或活性气体)，阀44、48、503、505及506保持关闭。气罐阀80的开启使气流开始从气罐42经深排放单元60进入系统。气体的输入压力(P)(气罐压力)由压力传感器(PS)54检测。压力传感器70指示调节器68的输出压力。质量流量控制器66控制气体的流速。
具有恒定压力和流速的气体经管道78流入气体消除装置151。氮气流经阀504并在进入气体消除装置151之前在接头747处稀释HBr气体。
3、气罐替换仿真这是对在腐蚀性气体系统中实际气罐替换的仿真。在气罐替换仿真期间，气罐阀80和阀46、502、503、504及506保持关闭。阀505的开启，启动真空发生器56，然后，阀48的开启导致保留在深排放单元60中、各种气罐阀中等的HBr气体排出，该气体被送入气体消除装置151。然后，通过关闭阀48和开启阀44，排放气体(N2)被导入置于阀44与48之间的管道中。接着，通过关闭阀44和开启阀48，实现对该管道的同样部位减压。(这个过程，即已知的循环排放，要进行多次。)然后，气罐阀80与深排放单元60断开，而阀44的开启使得氮气在气罐42与深排放单元60断开期间从抽头泄放孔601流入大气中。在大约2分钟以后(替换气罐所需的实际时间)，气罐42的阀80重新连接到深排放单元60上。然后，侵入气罐阀中的空气通过与在开始时用于排除HBr的过程同样的过程而予以排除。此后HBr流动可再次开始。
参考图3，已经发现，在处于良好运行状况(即压力调节器没有内部及外部泄漏)的如图1中所示的一压力调节器中，在气体流经气体分配系统时，输出压力PF为恒定或基本恒定。如果由于例如压力调节器下游的一阀关闭而导致气体的流动停止，则压力调节器的输出压力PNF较之当气体流动时的压力稍微增加，随后输出压力相对于时间再次保持恒定或基本恒定。然而，如果提动头32被腐蚀和/或腐蚀物在提动头32上附着，和/或如果由于高腐蚀性气体的流动导致的腐蚀引起提动头弹簧34的弹力减弱，则调节器的输出压力由于提动头不能与座30紧密接合并完全关闭节流孔28而在没有气体流动时逐步增加。如果在一定时间内达到的最大压力以PM表示，则调节器的状况可以下式进行检测ΔP＝PM-PF.
从而发现，压力调节器的运行状况可用下面方式进行评定，即通过连续地检测当气体流经系统时和没有气体流经系统时压力调节器的输出压力，并监视有气体流经系统时压力调节器的输出压力与没有气体流经系统时压力调节器的输出压力之间的压差ΔP。
为了确定用于评定压力调节器的运行状况的特定参数，进行试验以检测与三个气体分配系统相关的压力调节器的压差ΔP，每个系统均以图2中所示的方式进行设计。除了气体分配系统的上述部件以外，每个系统配有一压力传感器70，紧随压力调节器68设置以连续地检测压力调节器68的输出压力。三个系统进行运行以仿真可能导致压力调节器的三种不同状况的状态，一种是正常运行的压力调节器，一种是发生故障的压力调节器，一种是失灵的压力调节器。
在三种测试系统的每一种中，进行初始的降干过程。即，先进行氦泄漏测试，然后所有三种系统用从室内管72提供的提纯的氮气进行排放。排放的一般流速范围在大约0.5～10SLM(每分钟标准升)，这里1SLM＝0.167×10-4m3/S。第一测试系统用提纯的氮气(＜20PPbH2O)以1SLM在70～80℃的烘烤下进行排放。相对地，第二和第三系统用提纯的氮气(＜20ppb H2O)以1SLM的速率在室温下进行排放。排放的氮气的湿度由一湿度计707来监视，该湿度计允许小于约20ppb H2O的浓度测量(如，由MEECO.公司出售的电解式湿度计)并连接到每一系统的输出管道74。排放几天以后(即，1～2天)，在该管道的端部，氮气体的湿度达到100ppb。然后停止排放，由气动阀52控制的脉动的HBr气流导入各测试系统中。在此脉动的HBr气流期间，各测试系统的压力调节器68在有气流时和没有气流时的输出压力由压力传感器70连续地记录。气流速率在100cm3/分钟～1000cm3/分钟之间。
如上所述，如果不恰当控制，则用一满载的气罐替代一空罐的过程是导致由于空气中的湿气的浸入而引起气体管道的腐蚀的一个主要原因。为了仿真各测试系统中此气罐的替换，每天深排放单元60的一抽头放泄孔与气罐阀断开，暴露在周围的空气中约两分钟并再连接到气罐上。在三个测试系统均进行了仿真的气罐替换过程以后，每个系统须经历排放过程。气罐替换以后，对第三测试系统的排放过程不同于对第一和第二测试系统的排放过程，下面将更详细地描述。
在第一测试系统的情形下，将深排放单元60与高压阀44、46相连的系统部件包括气罐阀80用氮气循环排放五次，以排除在气罐替换期间引入的空气杂质。
在此氮气排放以后，系统的这些部件用HBr循环排放五次以进一步排除任何杂质。采用此过程以在气罐替换以后使湿气对系统的侵蚀最小，从而减少第一测试系统中的潜在的腐蚀。
在第二测试系统的情形下，仿真气罐替换以后的排放过程与第一测试系统中采用的相同。第一与第二系统之间的差别仅在上述的初始降干中，在那里第一系统在烘烤下降干，而第二系统则不是。
对于第三测试系统，在仿真气罐替换以后进行的氮气循环排放方式与第一和第二测试系统的方式相同。然而，不进行氮气循环排放以后的HBr排放。从而，对于在气罐替换期间引入系统中的杂质的排除不如第一系统或第二系统的情形下的有效，因此在第三系统中腐蚀的程度明显高于第一和第二系统的情形。
在对三种测试系统进行了上述操作以后(在十二次和二十四次之间，如图4A、4B、4C所示)，对每一系统的压力调节器68进行检测。检测的结果清楚地显示了由于三种系统的初始降干及排放过程不同而引起的腐蚀程度的不同。第一测试系统的压力调节器展示出在提动头上没有腐蚀或没有腐蚀物附着。另外，提动头弹簧基本保持不受腐蚀。
如压力传感器70所检测，第一测试系统的调节器68的压差ΔP相对于气罐替换仿真的次数仅有非常小的波动，并保持很小和接近恒定，如图4A中所示。即使在二十四次气罐替换仿真以后，压力调节器68也没有展示反常，而压着ΔP总是小于约0.5kgf/cm2。
第二测试系统的压力调节器68的压差ΔP的波动较明显，随着气罐替换仿真的次数逐步增加到大约0.9kgf/cm2，如图4B中所示。在二十一次气罐替换仿真以后，压差ΔP小于1.0kgf/cm2。虽然压力调节器68仍然认为可以使用，但压差ΔP的较高值(约0.9kgf/cm2)和压差ΔP的高波动表明故障已开始发作。经检验，发现第二测试系统的压力调节器68在提动头上有轻微的腐蚀和少量的腐蚀物附着，该提动头通过提动头32接合到压力调节器座30上，严密地关闭节流孔28以防止泄漏。另外，对于第二测试系统的压力调节器68，观察到在提动头弹簧34上出现腐蚀，该腐蚀会阻止或降低在没有气流的情形下提动头弹簧34的回弹能力。该腐蚀物在提动头32上的附着和提动头弹簧34上的腐蚀被认为是引起所观察到的压差ΔP随时间波动的原因，如图4B中所示。
第三测试系统的压力调节器68的压差ΔP波动非常大，在仅十一次气罐替换仿真以后即超过1.0kgf/cm2，如图4C中所示。这里，压力调节器68较第一系统中的压力调节器早很久即失灵(ΔP＞1.0kgf/cm2)。经检验，观察到第三测试系统的压力调节器68展示出在提动头32上有很严重的腐蚀物附着并且提动头弹簧34的腐蚀也很严重，这阻碍了通过提动头32与压力调节器座30的完全接合以严密关闭节流孔28从而防止泄漏。提动头32上的腐蚀物的严重附着和提动头弹簧34的严重腐蚀被认为是引起第三测试系统的压力调节器由于内部泄漏而失灵的原因。
基于上述，发现压差ΔP随时间的变化很大程度上依赖于与气罐替换相关的排放过程(即，系统的腐蚀程度，特别是压力调节器)。对于一未受腐蚀的管道，发现其压差ΔP非常小，在小于0.5kgf/cm2的数量级，并且不随时间波动。对于由于提动头32受腐蚀和/或腐蚀物在其上附着，和/或由于提动头弹簧34的腐蚀而引起的一失灵的压力调节器，压差ΔP非常大，在大于1.0kgf/cm2的数量级，并随时间逐渐增加。从而，压差ΔP可以看作是一独立单元，以下述方式用于指示压力调节器的运行状况当ΔP＜0.5kgf/cm2并不随时间波动时，调节器正常运行；当0.5kgf/cm2＜ΔP＜1kgf/cm2并随时间剧烈波动时，调节器运行不正常，表示故障发作；当ΔP＞1kgf/cm2并逐步增加时，调节器由于内部泄漏而失灵；当在没有气流的情形下输出压力逐步减小时，即使非常少，表示出现向外泄漏，即一外部泄漏。
从而，根据本发明，在一腐蚀性气体分配系统中相应于出现或不出现内部或外部泄漏的一压力调节器的运行状态可以通过(连续地)监视或检测压力调节器在有气流经过和没有气流经过系统的情形下的输出压力而进行评定。知道了当气体流经系统时压力调节器的输出压力，并将该压力与没有气流时压力调节器的输出压力相比以确定压差的量，使得可以容易地确定调节器的运行状态。这有利于可以早期检测压力调节器的故障，使得校正行动可以在出现腐蚀性气体泄漏之前而采取。从而，气体分配系统的安全性和生产效率会显著地提高。
此技术可以人工操作方式地采用，也可用于计算机处理的气体分配系统中以自动预报故障并在潜在的严重事故出现之前对其进行较正。在计算机处理的气体分配系统情形下，压差ΔP及其随时间的变化能自动地检测，其结果自动地供给安全装置，以实现对整个腐蚀性气体分配系统的安全而简单的操作。
在计算机处理的气罐室的情形下，例如，根据本发明的系统可如下实现气罐室中的气体分配系统提供具有恒压(P)的气体，计算机连续地监视此压力P(输出压力)。气流速率由与气罐室中的气体分配系统相连的装置如一轭流圈(reactor)来控制。
由于根据本发明的过程采用了有与没有气流时输出压力P的数据，因此气流的信息也送到计算机以确定对压力P的测量是属于哪一类(有或没有气流)。为了使此信息送到气体室的计算机中，在气罐室的气体分配系统的出口处安装一气体流量计。
也可以不安装流量计，而通过该装置(如轭流圈)将例如一信号传送给计算机以指示计算机是否有气体流动。
利用此信息，气体室的计算机可以连续或不时地计算PF与较大的PNF及RM(如上所定义)之间的ΔP，以确定压力调节器，或以上述方式测试的任何其他设备是运行正常，是运行不正常或已经失灵。一旦所测试的设备(如，压力调节器)已确认发生故障，则计算机立即产生一打印输出或任何其他光或声音信号。在检测到失灵的情形下，也可以提供一特别的报警信号(声、光、特别打印输出，单独或同时提供)。
在上面的说明书中已描述了本发明的原理、优选实施例及运行模式。然而，期望保护的本发明不限于公开的特定实施例。另外，这里描述的实施例应看作是示例而不是限制。其他人可做出变型或变化以及采用等同，而不脱离本发明的实质。从而，所有落入由权利要求限定的本发明的实质和范围的这些变型，变化及等同均包含在其中。
权利要求
1.一种用于检测非惰性气体分配系统使用中由于一内部泄漏而引起的受腐蚀传感元件的故障或失灵的方法，包括以下步骤使非惰性气体流经一气体分配系统，该系统配有一受腐蚀的传感元件；确定当非惰性气体流经该系统时气体分配系统中的受腐蚀传感元件的运行输出压力；至少周期性地关闭该气体分配系统中的气流；检测在没有气体流经该气体分配系统时该受腐蚀传感元件的输出压力；当受腐蚀传感元件的运行输出压力与在没有气流时受腐蚀传感元件的输出压力之间的压差超过一预定值时，确定该受腐蚀传感元件出现故障或失灵。
2.如权利要求1所述的方法，其中所述确定该受腐蚀传感元件出现故障或失灵的步骤包括以下步骤当所述压差超过一第一预定值时确定该受腐蚀传感元件的故障发作；而当所述压差超过比第一预定值大的一第二预定值时确定该受腐蚀传感元件失灵。
3.如权利要求1所述的方法，其中所述确定该受腐蚀传感元件出现故障或失灵的步骤包括以下步骤，当所述压差在0.5kgf/cm2～1.0kgf/cm2之间时确定该受腐蚀传感元件出现故障。
4.如权利要求1所述的方法，其中所述确定该受腐蚀传感元件出现故障或失灵的步骤包括以下步骤，当所述压差大于1.0kgf/cm2时确定该受腐蚀传感元件失灵。
5.如权利要求1所述的方法，其中该非惰性气体从腐蚀性气体与活性气体构成的组中选择。
6.一种评定一腐蚀性或活性气体分配系统的运行状况的方法，该系统包括一阀装置、一质量流量控制器、一压力调节器以及管道，该方法包括以下步骤使气体流经含有调节管道中的气流的压力调节器的该气体分配系统；监视在有气流流经该管道时和没有气流流经该管道时邻近该压力调节器的出口的出口压力；以及根据在没有气流流经该系统时该压力调节器的出口压力的变化确定该系统的运行状况。
7.如权利要求6所述的方法，其中所述确定该系统的运行状况的步骤包括，当气体流经该管道时的压力调节器的出口压力与没有气体流经该管道时的压力调节器的出口压力之间的压差超过一第一预定值时，确定该系统出现故障。
8.如权利要求7所述的方法，其中所述确定该系统的运行状况的步骤包括，当气体流经该管道时的压力调节器的出口压力与没有气体流经该管道时的压力调节器的出口压力之间的压差超过至少等于所述第一预定值的一第二预定值时，确定该系统失灵。
9.如权利要求8所述的方法，其中所述第二预定值大于1.0kgf/cm2。
10.如权利要求7所述的方法，其中所述第一预定值在0.5kgf/cm2～1.0kgf/cm2之间。
11.一种用于评定一部件出现外部泄漏的方法，该部件具有至少一开启位置以让气体流过并具有至少一关闭位置以阻止气体流过，该方法包括步骤，确定当受压的气体出现在所述部件的入口端而部件处于关闭位置时，与当部件处于开启位置时气体的压力比较，该部件的气体的出口压力的减少。
全文摘要
一种用于检测使用中的腐蚀性或活性气体分配系统中一压力调节器出现故障或失灵的方法，包括以下步骤，在有气流和没有气流时连续地检测或监视该压力调节器的输出压力。当有气流与没有气流之间的输出压力差波动较大并逐步增加时，预测该压力调节器的故障发作。当有气流与没有气流之间的输出压力差超过某经试验确定的值时，检测到压力调节器或整个系统失灵。
文档编号F17D5/00GK1143747SQ9610552
公开日1997年2月26日 申请日期1996年2月24日 优先权日1995年2月24日
发明者利亚纳盖·A·尼梅尔, 横木胜男, 让-马里耶·弗莱德, 小沢英一 申请人:液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司