专利名称：探针单元以及检查装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于检查液晶面板等检查对象面板的探针单元(probe unit)以及检查装置。
技术背景在平板显示(FPD)、例如液晶面板的制造工序中，检查其 液晶面板是否具有说明书描述的性能等。在该检查中 一 般使用 具有探针单元的检查装置，该探针单元具有多个探针。在此情 况下，在将检查装置的各探针推压触到液晶面板的电极的状态 下，通过将规定电信号提供给规定电极来进行检查。图2表示这种检查装置的一例子。图示的检查装置l主要由 面板配设(panel set)部2和测定部3构成。面板配设部2是一种用于将外部插入的液晶面板5输送到 测定部3，并将完成检查的液晶面板5输送往外部的装置。面板 配设部2在其开口部6的里面设有面板配设台7,该面板配设台7 支承着液晶面—反5并将该液晶面4反5输送往测定部3。此外，面 板配设台7接收在测定部3完成检查后的液晶面板5,并将该液 晶面板5输送往外部。测定部3是一种用于支承从面板配设部2输送来的液晶面 板5并加以试验的装置。测定部3具有卡盘顶部(chuck top)8和 探针9等。卡盘顶部8为用于支承液晶面板5的构件。该卡盘顶部8由 XYZe台(未图示)支承，被控制向XYZ轴方向的移动以及旋转， 从而调整液晶面板5的位置。探针9主要具有基板10和探针单元 11。将探针单元ll设置成相对于水平面倾斜的状态。且该探针单元11以面向基板10的开口 IOA的状态由基板IO支承。如图3所示，探针单元ll具有探针基部12、支承部13、探针组装体14以及连接电缆部15。上述探针基部12为一体支承多个支承部13的板材，该支承部13用于支承探针组装体14。在该探针基部12上，多个探针组装体14以面向工作台16上的液晶面板5的状态，通过支承部13获得支承。上述支承部13是这样的构件以其基端侧支承于上述探针 基部12的状态、由其前端侧支承上述探针组装体14。如图4~ 图7所示，该支承部13具有悬吊块(suspension block)18，其 直接安装于上述探针基部12上以支承整个构件；滑块19,其由 该悬吊块18的前端部支承；和探针板20,其一体地安装于该滑 块19的内侧面上(图4中的下侧面)。探针组装体14是用于与液晶面板5的电路电极相接触来传 输检查信号的构件。该探针组装体14安装在探针板2 0的下侧 面。如图6~8所示，该探针组装体14具有对笨针块(probe block)22和探针23。探针块22直接安装于探针板20的下侧面。 在该探针块22的下侧安装有探针23。探针23是直接与液晶面板 5的电路电极相接触的构件。在探针23的前端部和基端部分别 具有针部23A、 23B,前端部的针部23A与液晶面板5的电路电 极相接触，而基端的针部23B与连接电缆部15的端子31相接触。连接电缆部15是用于将上述探针23与外部装置(未图示)电 连接的构件。具体而言，该连接电缆部15直接连接于上述探针 23的针部23B与探针基部12侧的电路，并通过该探针基部12侧 的电路与外部装置电连接。即，该连接电缆部15通过探针基部 12的印刷线路板26,将上述探针组装体14的探针23与外部装置 电连接。如图6 8所示，该连接电缆部15具有FPC板27、驱动用集成电路28以及FPC电缆29。上述FPC板27是用于将上述连接电缆部15固定在上述探 针组装体14侧的构件。该F P C板2 7安装在探针2 0的下侧。驱动用集成电路28是进行伴随着检查操作的处理的电路。 驱动用集成电路28安装于FP板27的下侧。该驱动用集成电路 28的一侧与FPC电缆29相连接，而驱动用集成电路28另 一侧通 过各配线30与各端子31相连接。并且，该端子31与探针23基端 侧的针部2 3 B相接触。该探针2 3的针部2 3 B对准导向膜3 2的导 向孔33,并与FPC电缆29的端子31相接触。FPC电缆29是用于传输伴随检查操作而发生的电信号的 电缆。FPC电缆29的一端固定于FPC板27上，并与驱动用集成 电路28电连接，同时其另 一端与设在探针基部12下侧的印刷线 路板26相连接。由此，FPC电缆29通过该印刷线路板26与外部 装置电连接。然而，在上述检查装置中，作为防止液晶面板5的点亮检 查时动画显示模糊的对策，而推进了 TFT驱动的高速化。例如， 推进将60Hz提高到120 ~ 180Hz来高速化驱动。但是，若频率提高到120 ~ 180Hz,则从印刷路线板26进 入驱动用集成电路28中的信号容易受到噪声等的影响。发生作 为噪声的电磁波时，FPC电缆29容易将其接收而发生传输劣化 (出错)问题。这种传输劣化会对液晶面板5的点亮产生很大的影 响，从而产生检查精度降低的问题。发明内容本发明是为解决上述问题而开发出的，目的在于提供一种 可将噪声的影响控制在最小限度的探针单元以及检查装置。为解决上述问题，本发明提供一种探针单元，其具有探针组装体，该探针组装体与设置在检查对象板表面上的电路的电极相接触来传输检查信号；连接电缆部，该连接电缆部通过 探针基部的印刷线路板将上述探针组装体与外部装置电连接， 上述连接电缆部具有FPC板、驱动用集成电路和FPC电缆，该 FPC板将该连接电缆部固定在上述探针组装体侧，该驱动用集 成电路进行伴随着检查的处理，该FPC电缆传输供检查用的电 信号，上述驱动用集成电路安装于上述探针基部的印刷线路板 上，上述FPC电缆将上述驱动用集成电路与上述探针组装体连 接起来。根据上述构成，通过上述FPC电缆将由上述探针组装体检 测出的检查信号传输到上述驱动用集成电路中，再通过上述 FPC电缆将来自上述驱动用集成电路的信号传输到上述组装 体，由此使检测难以受到噪声等的影响。该探针组装体与上述 检查对象板的电路电极相接触。优选的是将从上述探针组装体到FPC电缆的电阻设定为 IOQ以下。根据上述构成，通过将从上述探针组装体到FPC电缆的电装体检测出的检查信号传输到上述驱动用集成电路中时，以及 在通过上述FPC电缆将来自上述驱动用集成电路的信号传输到 上述探针组装体时，都难以受到噪声等的影响。优选的是将上述探针单元应用到具有以下结构的检查装置 中，即该检查装置具有面板配设部，其在检查结束后将从外 部插入的检查对象板搬出到外部；测定部，其支承由面板配设 部输送来的检查对象板，并对该检查对象板进行试验。综上所述，利用本发明不容易受到噪声等的影响，因此无 论是否对TFT驱动进行高速化都可保持较高的检查精度。
图l为表示本发明实施方式的探针单元的侧视图。图2为表示以往的检查装置的主视图。图3为表示以往的检查装置的探针单元以及工作台的立体图。图4为表示以往的检查装置的探针单元的立体图。 图5为表示以往的检查装置的探针单元的俯视图。 图6为表示以往的检查装置的探针单元的侧视图。 图7为表示以往的检查装置的探针单元的侧面剖视图(图5 的A-A剖视图)。图8为表示以往的检查装置的探针单元的仰视图。 图9为表示本发明的检查装置的探针单元的仰视图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式的探针单元以及检查 装置进行说明。本实施方式的探针单元以及检查装置在整体上与上述以往 的探针单元以及检查装置基本相同。本实施方式的探针单元以 及检查装置的特征在于改进了驱动用集成电路的安装位置。由 于其他结构与上述以往的检查装置相同，因此在这里对其同一 构件标注以相同的附图标记来进行说明。如图1和图9所示，本实施方式的探针单元41具有探针基 部12、支承部13、探针组装体14以及连接电缆部42。与上述以往的探针单元ll同样，上述探针基部12是一体地 支承多个支承部13的板材，该支承部13支承探针组装体14。与上述以往的探针单元11同样，上述支承部13是其基端侧 支承于上述探针基部12、且由其前端侧支承上述探针组装体14的构件。与上述以往的探针单元ll同样，上述探针组装体14是用于 与液晶面板5的电路电极进行接触，并传输检查信号的构件。探针组装体14安装于探针板20的下侧面。该探针组装体14具有 探针块22和探针23。连接电缆部42是用于通过探针基部12的印刷线路板26而 将上述探针组装体14与外部装置电连接的构件。具体而言，该 连接电缆部42与上述探针23的针部23B直接连接，且通过该探 针基部12侧的电路与外部装置电连接。与上述以往的探针单元ll同样，上述FPC板27是用于将上 述连接电缆部42固定在上述探针组装体14侧的构件。该FPC板 27安装在探针板20的下侧。驱动用集成电路43是用于进行伴随着检查的处理的电路。 与上述以往的探针单元ll不同，驱动用集成电路43安装于探针 基部12的印刷线路板26上。驱动用集成电路43的 一侧直接与印 刷线路板26连接，而其另 一侧通过配线45与连接器46连接。而 且在该连接器46上连接有FPC电缆47,该FPC电缆47直接安装 于FPC板27上，在该电缆47前端设置有端子31。自上述探针组装体14的探针2 3前端侧的针部2 3 A到F P C电 缆4 7的连接器4 6的电阻被设定为10 Q以下。在本申请人制造的 探针单元以及检查装置中，在将从上述探针组装体14的探针23 前端侧的针部23A到FPC电缆47的连接器46的电阻设定为10Q 以下时，可获得最佳的结果。因此，将从驱动用集成电路43的 靠探针23 —侧、即从上述探针组装体14的探针23前端侧的针部 23A到FPC电缆47的连接器46的电阻设定为IOQ以下。利用如上构成的探针单元41以及采用该探针单元ll的检 查装置，将发挥如下的作用。使探针组装体14与形成于作为上述检查对象板的液晶面板5的表面上的电路的各电极相接触，通过FPC电缆47将来自 驱动用集成电路43侧的检查信号传导到液晶面板5的表面电路 中，进行点亮检查。另外，通过基端侧的针部23B,将上述探针组装体14检测 出的检查信号从前端侧的针部23A传输到上述FPC电缆47，再 通过该FPC电缆47将信号传输到上述驱动用集成电路43。然 后，通过探针基部12的印刷线路板26,将来自该上述驱动用集 成电路43的信号发送往外部装置。由此，通过上述FPC电缆47传输的信号不容易受到噪声等 的影响。特别是由于将从上述探针组装体14的探针23前端侧的针 部23A到FPC电缆47的连接器46的电阻设定为IOQ以下，因而 在通过上述FPC电缆47将由上述探针组装体14检测出的检查 信号传输到上述驱动用集成电路43时，以及在通过上述FPC电 缆47将来自上述驱动用集成电路43的信号传输到上述组装体 14时，都不容易受到噪声等的影响。其结果是，无论有否对TFT 驱动进行高速化，本发明装置都可保持较高的检查精度。变形例作为具有上述实施方式的探针单元41的检查装置，并不只 限于上述以往的检查装置，可将本申请发明适用于可配置探针 单元41的所有检查装置。
权利要求
1.一种探针单元，其特征在于，包括探针组装体，该探针组装体与设置在检查对象板表面上的电路的电极相接触来传输检查信号；连接电缆部，该连接电缆部通过探针基部的印刷线路板将上述探针组装体与外部装置电连接，上述连接电缆部具有FPC板、驱动用集成电路和FPC电缆，该FPC板将该连接电缆部固定在上述探针组装体侧，该驱动用集成电路进行伴随着检查的处理，该FPC电缆传输供检查用的电信号，上述驱动用集成电路安装于上述探针基部的印刷线路板上，上述FPC电缆将上述驱动用集成电路与上述探针组装体连接起来。
2. 根据权利要求l所述的探针单元，其特征在于，将从上 述探针组装体到FPC电缆的电阻设定为IOQ以下。
3. —种检查装置，用于对检查对象板的检查，其特征在 于，该一企查装置具有面板配设部和测定部，该面板配设部用于 在检查结束后将从外部插入的检查对象板搬出到外部，该测定 部支承由该面4反配"i殳部输送来的才企查对象4反并对该4全查对象板 进行试验；上述测定部的探针单元具有探针组装体和连接电缆部，该 探针组装体与设置在检查对象板表面上的电路的电极相接触， 并传输检查信号，上述连接电缆部通过探针基部的印刷线路板 将上述探针组装体与外部装置电连接，上述连接电缆部具有 FPC板、驱动用集成电路和FPC电缆，该FPC板将该连接电缆 部固定在上述探针组装体侧，该驱动用集成电路进行伴随着检 查的处理，该FPC电缆传输供检查用的电信号，上述驱动用集 成电路安装于上述探针基部的印刷线路板上，上述FPC电缆将上述驱动用集成电路与上述探针组装体连接起来。
4.根据权利要求3所述的检查装置，其特征在于，将从上 述探针组装体到FPC电缆的电阻设定为IOQ以下。
全文摘要
本发明提供一种探针单元以及检查装置，无论有无噪声都可保持较高的检查精度。一种探针单元以及检查装置，探针单元具有探针组装体，其与设于检查对象板表面上的电路电极相接触来传输检查信号；连接电缆部，其通过探针基部的印刷线路板将上述探针组装体与外部装置电连接，上述连接电缆部具有FPC板，其将该连接电缆部固定在上述探针组装体侧；驱动用集成电路，其进行伴随着检查的处理；FPC电缆，其传输供检查用的电信号，上述驱动用集成电路安装于上述探针基部的印刷线路板上，上述FPC电缆将上述驱动用集成电路与上述探针组装体连接起来。将从上述探针组装体到FPC电缆的电阻设定为10Ω以下。
文档编号G01R1/073GK101271147SQ20081008575
公开日2008年9月24日 申请日期2008年3月20日 优先权日2007年3月20日
发明者久我智昭, 奈良冈修治 申请人:日本麦可罗尼克斯股份有限公司