专利名称：电路图案检查装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及电路图案检查装置，该电路图案检査装置能够非接触式 检查在衬底的上面形成的导电图案是否良好，衬底通过固定的传感器 部分。
背景技术：
近年来的显示装置，取代阴极射线管等真空管显示装置，在玻璃衬 底上使用液晶的显示装置，即所谓液晶显示装置或者等离子显示装置 成为主流。所述显示装置的制造过程中，对于玻璃衬底上形成的电路 配线构成的导电图案，进行检査是否存在断线或者短路。到目前为止的一般导电图案的检査方法，例如专利文献1中记载的 接触式检查方法，检查探针的针尖顺次接触导电图案的两端，从一端 的检査探针施加直流检査信号，检査通过另一端的检査探针传输的直 流检査信号，根据是否有检查信号检查是否存在断线或者短路。(端部 连接方式)。不同的检查方法还有专利文献2中记载的方法，使至少两个检査探 针与导电图案的两端在不接触的电容耦合状态下一边移动， 一边从一 个检査探针施加交流检查信号，通过另一个检查探针检査经过导电图 案传输的交流检査信号。根据检查信号的波形变化，检査导电图案中 是否存在断线或短路。专利文献1:日本特开昭62-269075号公报专利文献2:日本特开2004-191381号公报
发明内容发明要解决的技术问题上述液晶显示装置中是，根据用户的需要，通过制造技术进步，实 现显示画面大型化和像素精细化。而且，制造商为了对应产量的增加 或者降低单位产品的制造成本，需要在一次制造过程中制造尽可能多 的产品，建造使用对应于大型衬底的制造装置的生产线。因此，电路 图案检查装置中，也需要制造成能够对应大型衬底。特别是，像素精细化的电子线路检査装置中，由于端部连接式检查 装置对于每个制品，需要制成间隙狭窄的多个检查探针构成的探针卡， 制造成本提高。而且，端部与线宽极小的狭窄导电图案接触造成损伤， 有可能成为后续制造过程中产生不合格的原因，也不能说是适合检査 精细化图案的检查装置。由于上述理由，希望使用检査探针与导电图 案非接触式的电容耦合式检查装置。在非端部连接式，而是利用非接触式的电容耦合的检査装置中，检 査探针与导电图案离开一定距离相对向，接收导电图案传输的交流检 查信号，所以检査信号为微小信号。为了提高检查精度，要求检查出 的整个交流检査信号中波动少，突出不良之处的信号变化。因此，在通过配列的导电图案上方时，保持相同的电容耦合状态， 即，检査探针与导电图案之间的距离维持在数十微米单位级内很重要。可是，如图8所示，作为检查对象的大型玻璃衬底4，与大小相比 较厚度很薄，容易受重力影响，承载的检查台52的表面高度差(hl、 h2)影响大。而且，由于处理过程中的加热，存在发生极小的整体弯 曲的情况。而且，检查探针51的移动机构中，由于在数米的四方的玻 璃衬底上移动，移动机构的结构复杂。为了解决这样的大型衬底产生的问题，需要制造平坦的检查台和移 动机构，所述移动机构需要在检査时不向上吸附玻璃检査衬底，并且
高度(检査探针与衬底之间的距离)不变化。不论从何种角度出发都 可以推定，对于大型衬底，要求检查精度保持现在的精度或者比现在 的检査精度高，技术难度变高，成本会大幅度增加。因此，本发明的目的是提供一种电路图案检查装置，能够维持相对 向的导电图案与检查探针之间保持一定距离，适合检査大型化衬底上 形成的导电图案的断线和短路。解决问题的技术手段为了实现上述目的，提供一种电路图案检査装置，具有传感器部， 相对于传送的衬底上形成的多列导电图案，以电容耦合的非接触方式 施加交流检査信号，以非接触方式检测该导电图案传输的上述交流检 查信号；检查台，与上述传感器部以一定距离相对向，由导电体构成； 传送机构，传送上述衬底通过上述传感器部和上述检查台之间；衬底 位置调整机构，设置在上述检査台的与上述传感器部相对向面侧，使 通过的上述衬底维持在既定距离的空气上浮状态；判断部，根据上述 传感器部连续获得的上述检査信号发生急剧振幅变化判断导电图案不 良情况。发明的效果根据本发明，相对向的导电图案与检査探针之间维持一定距离，能 够提供适合检査大型衬底上形成的导电图案的断线或者短路的电路图 案检查装置。
图1是表示涉及本发明一个实施方式的电路图案检查装置的模块结构例子的图；图2是表示图1所示检测信号处理部的结构例子的图；图3是表示从斜上方看本实施方式的电路图案检査装置外观结构例子的图4是表示从上方看本实施方式的电路图案检查装置外观结构例子的图；图5 (a)是用于说明检査台与传感器部大小的图，图5 (b)是表 示设置在检查台上面的衬底位置调整机构的图；图6是用于说明用涉及本实施方式构成的检查部与检査台进行检 查的原理图；图7是用于说明衬底的移动距离与传感器部的输出信号之间关系 的图；图8是用于说明将大型衬底放置于台子上在传感器部移动的结构 的图。符号说明1传感器部la施加探针lb检测探针2检査信号供给部3检测信号处理部4衬底(玻璃衬底)5检查台6衬底位置调整机构7传送机构8控制部9退避机构10高度位置调整机构11输入部12显示部13距离测量传感器14摄像部15主机装置16中央处理部(CPU)17存储部18判断部19导电图案21放大电路22带通滤波器23整流电路24平流电路31装置底座部(台架)32支柱33导向部33a导向轨道34传感器支撑部件35传送台架36制动器部件37传送用辊轮具体实施方式
下面，参照附图详细说明本发明的实施方式。 本发明的电路图案检查装置，检査在玻璃制的衬底表面上为了形 成点矩阵显示面板以一定间隔成列形成的导电图案是否良好。本实施 方式中，导电图案的图案宽度大致相同，各个图案的间隔也大致相同。 但是，在传感器部移动时，如果在相同导电图案的两个端部，是传感 器对相对向的图案，那么即使导电图案的中间宽度变化，或各个图案 的间隔不相同，该电路图案检査装置也能够进行检査。图1是表示涉及本发明的电路图案检查装置的模块结构例子的图， 图2是表示检测信号处理部的结构例子的图。该电路图案检査装置大致由如下部件构成传感器部l，对作为检 查对象的导电图案进行非接触检查；检查台5，在与传感器部1分离并 相对向检査时维持分离距离(高度)；传送机构7，搬送检查对象的衬 底4通过传感器部1与检査台5之间；控制部8，控制整个装置，根据 从传感器部1获得的检查信号，判断衬底4上形成的多个导电图案19 是否有断线及短路、判断是否良好。而且，作为外围机构设置有键盘或者触摸屏等输入部11、显示设 定条件或者检查条件等的显示部12。而且，也可以设置用于远距离管 理或者监视的主机装置15。可以从主机装置15输入检查条件等。而且，在图3和图4表示电路图案检査装置的外观结构的例子。本实施方式由如下部分构成底座部(台架)31，是比作为检查 对象的衬底宽度长的矩形形状;支柱32，分别设置在底座部31的两端； 导向部33，横架在支柱之间；多根导向轨道33a，设置在导向部33的 上面；传感器支撑部件34，设置为可以在导向轨道33a上滑动；传感 器部1，吊装在传感器支撑部件34;检查台7，设置于传感器部1的下 方相对向位置。而且，在底座部31上具有传送台架35，沿着与导向 部33垂直的衬底传送方向设置；制动器部件36，可以在传送台架35 上移动，配合制动衬底4的前端和后端；多个传送用辊轮37，在传送 台架35上方夹住检查台7，在传送方向上流侧和下流侧均匀设置。而 且，在下面的说明中，相对于配列地配置的导电图案的宽度方向(图3 中的X方向或者衬底的传送方向)，称为传感器部的各个探针的长度， 检査台中也同样称为检查台的长度。在这样的结构中，传感器部1设置有至少一对的施加探针la和检
测探针lb。本实施方式中的两个探针没有针尖，而是根据所对向的检 査对象面积具有一定面积(根据设计，例如相对于导电体图案，对着 一个图案或两个图案的程度)的电极板。从检査信号供给部2向施加探针la供给交流波形的检查信号，通过电容耦合将所述检査信号施加 在作为检查对象的导电图案19。检测探针lb位于作为相同检査对象的 导电图案19上方，接收(检测)通过电容耦合导电图案19传输的检 查信号。检测探针lb检测出作为检査对象的导电图案19断线不良情 况。本实施方式中，检测探针lb形成为的长度与导电图案19的宽度 大致相同或者至少比包含导电图案19之间间距宽度的长度还短。这是 为了容易确定有不良情况的导电图案。但是，实际中，即使检测探针 lb对着两个或三个导电图案，施加探针la和检测探针lb各自中心正 对着相同导电图案，由此也能够根据检测出的信号的峰值确定存在有 不良情况的导电图案。而且，检测探针lb的附近也可以设置第二检测 探针(图中未示出)，位于与作为检查对象的导电图案19邻接的导电 图案的上方，检测作为检查对象的导电图案19中的短路。因此，如果只检查断路，可以由一对探针构成。在检査短路的情 况下，最好是由一个施加探针la和两个检测探针lb构成，也可以适 当选择设置。而且，如果是具有对着两个导电图案19的宽度(面积) 的检测探针lb，用一个检测探针lb就可以检查断路和短路是否良好。 而且，第二检测探针不必位于与作为检查对象的导电图案19邻接的导 电图案上方，设置在离开数个导电图案距离的位置也可以检测。所具有的这些探针对的数目根据形成在衬底4上的导电图案组(制 品中构成一个显示面板的导电图案的划分)而不同，本实施方式的图4 所示的例子中，为了同时检査两个组，设置了两组探针对。所述探针 对的数目由衬底的样式确定，不使用的探针对退避在导向部33上的衬 底检査范围之外。而且，本实施方式中，设置有高度位置调整机构10，由控制部8 控制，用于调整传感器部1和检査台5之间的相对距离(高度位置)； 退避机构9，使传感器部1沿与衬底4的传送方向垂直的方向移动，退 避到既定位置。退避机构9由导向部33、设置在传感器部1或者导向部33的驱动
部(图中未示出)构成。在传感器部1不使用时，装置停止时以及进行检修维护时等，退避机构9使传感器部1在导向部33上移动，退避 到衬底检查范围的外面。如果使用所述退避机构9，也可以沿着导电图 案19的形成方向移动，对于判断出存在不良情况的导电图案19，为了 检测出图案的什么位置存在不良处，也可以兼作使传感器部1沿着导 电图案的形成方向移动的移动机构。而且，所述导电图案中不良处的 位置检测，也可以其他方式、设置移动机构。
而且，在检查台5或者传感器部1的附近，设置距离测量传感器 13，用于测量衬底4与检查台5之间的距离以及检查台5与传感器部1 之间的距离。距离测量传感器13，例如可以使用激光，照射衬底4， 根据所述微小反射光检测衬底4与检査台5之间的距离。或者，照射 衬底4上的导电图案19，根据所述反射光检测距离，减去衬底4的厚 度，计算衬底4与检査台5之间的距离也可以。同样，检査台5或者 传感器部1之间的距离也可以根据反射光测量。
还有，传感器部1的附近设置对衬底4的导电图案19摄像的摄像 部14，根据拍摄的图像进行检査开始位置的位置确定。而且，附带设 置在传感器部l上，可以一体移动，对检测出的图案上的不良处摄像， 并使图像显示也可以。
检查台5由导电体构成，如图5 (a)所示，它的宽度L2特别是相 对于传感器部1的检测探针lb的宽度Ll，为从相同宽度至2倍以下的 宽度。而且，如图5 (b)所示，检查台5的上面设置有衬底位置调整 机构6。
本实施方式中的衬底位置调整机构6，例如由如下部分构成空气 吐出部61，圆盘形状，由多孔材料形成；吸引口62，设置在圆盘中央 或附近位置；空气供给部63，由向空气吐出部61提供空气的压縮机等 构成；空气吸引部64，由从吸引口62进行吸气的泵等构成。本实施方 式中，在图5 (b)中，原理上示出了四个空气吐出部61，但是并不限 于此，只要设置空气吐出部的个数能够使通过传感器部1与检查台6 之间的衬底以既定距离(距离检査台既定距离或者距离传感器部既定 距离中的任何一个均可)维持空气上浮的状态就可以。因此，空气吐 出部61配置成多列也可以。另外，本实施方式中表示为空气吐出部61
从上方看呈圆形，但并不限于此，设置成呈矩形的矩阵配置或者适当 的偏离设置都可以。还有，空气吐出部61形成为六角形、蜂窝形状配 置也可以。而且，衬底位置调整机构6利用公知的气浮机构也可以。由于空气供给部63中必须供给一定流量的空气，例如也可以使用质量流量控 制器来控制。另外，不限于空气，也可以使用氮气或者惰性气体。而 且，由于制造过程的关系，如果在导电图案成膜之后立即进行检査， 同时调整用于上浮的吐出气体的温度(降低温度)、同时对衬底4进行 冷却处理等也可以。在该结构中，空气吐出部61通过多孔材料从整个表面均匀吐出空 气。而且，吸引口 62以某种程度吸引吐出的空气。在这样的结构中， 通过增减空气吐出量和吸引量的比率，使玻璃等衬底4位于检查台5 上，衬底4 一方面通过吐出的空气上浮， 一方面通过吸引限制上浮的 距离。即，所述检查台的上方的衬底4，在上浮距离被调整的位置，处 于空中停止的状态。本实施方式中，构成为衬底4维持在从检查台5 开始上浮一定距离的状态。所述上浮机构不限于上述构成。而且，本实施方式中，检查时，由于固定检査台5和传感器部1， 设置有传送机构7，传送衬底4通过检查台5与传感器部1之间。传送机构7可以使用作为传送手段的各种公知机构。例如，皮带 传送机构、设置有多个辊轮的辊轮传送机构、使用线性电动机的电动 机滑动传送机构、通过空气上浮的空气上浮传送机构等，将这些机构 组合也可以。本实施方式中，如图3和图4所示例子，在检查台5的 传送方向的上流侧和下流侧配置，使用分别的多个辊轮37构成的辊轮 传送机构。本实施方式中，配置为夹持检査台7，在上流侧和下流侧分 开，与制动器部有一部分重合。所述辊轮37设置有图中未示出的旋转 驱动机构，通过控制部8的控制进行旋转，传送承载的衬底4。而且， 如果能够将衬底4传送到适当的范围内，就不必在全部辊轮37上设置 驱动机构。本实施方式中，例如，衬底4的前端侧和后端侧分别设置有制动 器部36。制动器部36设置有在传送方向上以一定速度滑动移动的滑动 机构。这些制动器部36在由辊轮37传送衬底4时，能够控制为以一
定速度传送衬底4。而且，在辊轮37没有设置驱动机构的自由状态， 或者取代辊轮37用空气上浮机构处于上浮的状态下，通过使制动器部 36在传送方向滑动，也可以进行衬底传送。而且，作为变形例，例如，也可以采用使用皮带传送装置的皮带 传送机构。皮带传送装置，制有避开检查台7的皮带轨道也是可以的。 即，构成为，皮带传送装置在检査台7的近前，首先往下沉，穿过检 査台7的下方后，再次升起。通过这种结构，由于夹着检査台7的上 流侧和下流侧的衬底传送速度相同，因此容易控制传送速度。而且， 皮带传送装置上有多个小孔开口，内部设置有风扇等，通过从内侧吸 气，能够在衬底4吸附在皮带传送装置的状态下进行传送，能够防止 传送途中衬底偏离。另外，检测信号处理部3由如下部件构成放大电路21，将传感 器部1输出的微小模拟检测信号放大到既定电压电位(可以判断是否 良好的电位)；带通滤波器22，从放大电路21放大的检测信号中去除 噪声成分，通过必要的频带；整流电路23，将来自带通滤波器22的检 测信号全波整流；平流电路24，将全波整流后的检测信号平流处理。 而且，进行全波整流的整流电路23及使检测信号平流的平流电路24 不是必须具备的。控制部8具有中央处理器(CPU) 16，根据程序或设定的计算 条件进行计算处理；存储部17，存储CPU 16使用的程序、控制参数 以及检査结果等；判断部18，根据CPU16设定的判断基准，判断检査 对象的导电图案是否存在断线不良情况或者短路不良情况。而且，检査信号供给部2，作为检査信号产生例如交流200KHz、 200V的正弦波信号，供给到施加探针la。在这种情况下，由于带通滤 波器22检测出的检查信号也是200KHz，所以使用通过200KHz频带 领域的滤波器。而且，检査信号不限于正弦波信号，只要是有振幅的 信号就可以，矩形波或者脉冲波形也可以。下面，说明这样构成的本实施方式的电路图案检查装置的检査过程。首先，启动时，由检查者输入装置内各个组成部分的初始设定、 输入检查参数(由作为检查对象的衬底和导电图案确定的检査参数)、
设定检查条件。检查条件作为预定的检査参数，是由作为检查对象的 衬底和导电图案确定的数值。例如，作为检查对象的衬底的尺寸大小 和厚度等的设定、传感器部相对于导电图案的位置配合等根据常规进 程的设定。此时，使用模型衬底等进行条件设定及试验性的检査也可 以。此时，作为检査对象的衬底4通过衬底位置调整机构6从检査台5 开始调整为例如上浮30|Lim的状态。而且，通过高度位置调整机构10 进行高度(Z方向)调整，使传感器部1的施加探针la和检测探针lb 与衬底4上的导电图案的距离为适合进行施加和检测检査信号的距离。 在实际中对导电图案进行信号施加/检测的同时进行所述调整也可以。 而且，传感器部1的施加探针la和检测探针lb位于导电图案的两端 上方，非接触地定位。然后，向上流侧的传送机构7供给检查对象的衬底4。此时，传送 用辊轮37上，制动器部36分别在衬底4的前端和后端。传感器部1 的位置调整确认后，通过传送机构7将衬底4传送到检査开始位置。 此时，例如，通过摄像部14拍摄的图像确认开始位置。根据来自控制部8的实施检査的指令，传送机构7传送衬底4，如 果对着检查台5，通过传感器部1向导电图案施加检查信号，进行检测 通过导电图案传输的检查信号。检测信号输入到检测信号处理部3。检测信号处理部3如图2所示，首先通过放大电路21将输入的检 测信号放大到必要的电位。然后，放大的检测信号通过只允许检査信 号的频带通过的带通滤波器22,除去噪声成分。然后，通过带通滤波 器22的检测信号通过整流电路23全波整流。而且，全波整流后的检 测信号通过平流电路24进行平流，生成检测信号。所述检测信号通过 控制器8中未图示的A/D转换部进行数字化处理。CPU 16变换进行A/D变换后的数字检测信号，传输到判断部18。 判断部18检测读出的检测信号中是否有瞬间急剧变化，然后通过所述 变化的正负方向，判断是否有断线或者短路。具体地，对于通过传感器部1连续检测的检测信号，判断相对于 近前的检测信号值是否发生急剧变化(具有峰值并恢复到原信号值附 近的信号值振幅变化)，导电图案中是否存在短路或者断线等不良情
况。而且，来自根据本实施方式的传感器部1的检测信号以一定的电 压电位推移，例如检测出的检测信号的电位中即使发生波动等上下变 动，也能够进行上述判断。即，对于信号值的急剧变化，预先设定判 断电位，对从近前的信号值开始超过所述判断电位的急剧变化进行判 断为不良情况，相对于波动等缓慢检测信号电位变化，不进行良好/不 良情况的判断。因此，判断基准对于信号值的经时变化，在正负方向 上与判断电位(信号值)重叠，通常根据在近前的检测信号值或者由 预先设定的期间内平均的检测信号值得到的正负某个范围(以检测信 号值为中心的宽度)进行判断，检测出在所述范围的上限或者下限之 外的检测信号，判断检查对象的导电图案不良。而且，预先设定的期 间内平均的检测信号值，也可以是所述期间整体(累计值)的平均值， 也可以是所述期间中多次取得的检测信号值的平均值。而且，如果检 测信号值为a，判断电位为b，自检测信号值开始的正负某个范围的上限或下限中，判断是否良好的范围上限是a+b，范围的下限是a-b。图6是表示检査部和检查台中进行检査的原理。如图6所示，传 送中的衬底4通常由检査台5维持上浮30pm的状态。因此，即使衬底 4发生弯曲或歪斜，由于能够对衬底4的检査对象区域进行位置调整， 因此传感器部1与导电图案之间的距离一定。图7表示衬底4的移动距离和从传感器部1输出信号(放大处理 之后)的一个例子。通过本实施方式的衬底位置调整机构6调整衬底4 的位置的结果A是推移0.3V。另一方面，衬底位置调整机构6不工作， 不进行衬底4的位置调整的结果B，由于衬底4的高度变化，传感器 部1和导电图案之间的距离变化，所述结果B在大约0.12V至大约 0.19V的范围内变化。共计在大约24mm、大约53mm的位置处检测出 不良的地方。而且，以前，利用软件对输出结果的波动进行补偿。本 实施方式中，由于能够直接利用硬件的输出结果进行判断，不需要进 行平坦化的软件处理，因此能够实现装置结构简单化和判断快速化。如上所述说明，根据本实施方式，由于传感器部中的施加探针和 检测探针与导电图案非接触，不会发生实施检査时因为接触导电图案 发生的损伤，能够防止表面损伤或剥离等。而且，检查时，传感器部与检査台之间的距离固定，其间衬底通过检查台上方的一定位置。因此，传感器部与衬底上的导电图案之间 的距离一定，能够防止检测信号中发生电位波动等上下变动。而且，由于衬底在传感器部和检查台之间进行位置调整而通过规 定位置，即使在传送过程中发生上下变动或者衬底弯曲或歪斜，检测 结果也不会发生问题。因此，不需要高精度传送机构，能够利用简单 的传送机构。因此，不仅能够降低装置的制造成本，还可以使用各种 传送机构。而且，本实施方式中，由于不是承载固定衬底的装置的现有检査 台，因此不会因为衬底的大小尺寸而需要较高平面精度的台面，因此 检查台的制造不需要高度熟练的技术。而且，不是采用传感器部在衬 底上移动的结构，因此不需要用于移动检査的传感器移动机构，只需 要检査前进行高度调整的简单小型调整机构就可以实现。而且，通过在作为检查对象的衬底宽度的设计阶段考虑、传感器 部的数目和设置传感器部的导向部的长度，即使是尺寸不同的衬底， 只需要将传感器部与衬底配合移动到导向部上，对于各种尺寸的衬底 都可以进行相同的检查，使装置具有高通用性。而且，能够在结构上 增减传感器部的数量，使用者能够容易地应对衬底检査要求的做法。而且，由于传感器部与导电图案之间的距离一定，使耦合的静电 容量不发生上下变动的电位波动，不需要软件处理，不存在需要提高 控制部处理能力的问题，结果处理简单化，而且能够提高检测时间等 响应性能。而且，能够容易地判断不良之处的信号电位变化，能够抑 制发生误判断。导向部设置有退避机构，使传感器部能够沿着衬底上形成的导电 图案的图案方向进行退避移动，因此在发现导电图案上存在不良情况 时，利用退避机构使传感器部沿着导电图案移动，能够检测出导电图 案的不良之处的位置。
权利要求
1、一种电路图案检查装置，其特征在于，具有传感器部，相对于传送的衬底上形成的多列导电图案，以电容耦合的非接触方式施加交流检查信号，以非接触方式检测该导电图案传输的上述交流检查信号；检查台，与上述传感器部分离相对向，由导电体构成；传送机构，传送上述衬底通过上述传感器部与上述检查台之间；衬底位置调整机构，设置在上述检查台的与上述传感器部相对向面侧，使通过的上述衬底维持在既定距离的空气上浮状态；判断部，根据上述传感器部连续获得的上述检测信号发生急剧振幅变化，判断导电图案不良情况。
2、 根据权利要求1所述的电路图案检査装置，其特征在于，上述 衬底位置调整机构具有空气吐出部，由多孔材料形成，使气体透过；吸引口，设置在上述空气吐出部内或者附近，吸引从所述空气吐出 部吐出的上述气体；空气供给部，向上述空气吐出部提供空气； 空气吸引部，从上述吸引口进行吸气；通过增减从上述空气吐出部吐出的上述气体的吐出量和从上述吸 引口吸引空气的吸引量之间的比率，使上述衬底在上述检查台上以既 定距离，维持上浮的状态。
全文摘要
本发明提供一种通过非接触式传感器进行导电图案检查的电路图案检查装置，解决由于大型化的衬底产生检查台表面高度差或者衬底弯曲，检查时传感器部移动机构的移动精度和技术难度提高，影响制造成本的问题。本发明的电路图案检查装置中，在检查时非接触式传感器部和检查台固定，传送的衬底距离检查台一定距离处上浮状态下通过，使作为检查对象的衬底上的导电图案与传感器部之间保持一定距离，能够抑制检测出的检测信号的电位发生波动等上下变动，能够使用简单的传送机构。
文档编号G01R31/02GK101398464SQ20081021147
公开日2009年4月1日 申请日期2008年9月26日 优先权日2007年9月26日
发明者石冈圣悟, 羽森宽 申请人:Oht株式会社