专利名称：玻璃表面的异物检查装置及检查方法
技术领域：
本发明涉及一种玻璃表面的异物检查装置及检查方法，更具体而言，本发明涉及一种能够与玻璃基板的平坦度无关地准确检查被蒸镀有微电路图形(Microcircuit Pattern)的面上的异物的玻璃表面的异物检查装置及检查方法。
背景技术：
在平板显示器所使用的玻璃的表面上存在着异物的情况下，如果在所述异物上蒸 镀有微电路图形，则会导致微电路图形的不良。因此，在蒸镀微电路图形之前，必须准确检 查所提供的玻璃基板(特别是应被蒸镀有电路的玻璃表面)上是否存在着异物。玻璃基板表面的检查是在移送玻璃基板的同时利用相机来进行检查，所以即使在 移送中玻璃基板的平坦度发生了变化，也必须进行准确检查。因此，在现有的检查装置中， 为了和玻璃基板的移送方向形成大的倾斜来照射极小厚度的激光(laser)照明，补偿玻璃 基板的平坦度的变化，而附加使用了用以将相机与玻璃基板之间的距离固定地维持着的自 动距离调节装置。但是，所述现有的玻璃基板的异物检查装置对于异物附着在被蒸镀有电 路的玻璃表面(上表面)和未被蒸镀有电路的玻璃表面(下表面)中的哪一个面上的判别 是有限度的，因此存在着因玻璃基板的平坦度变化而使检查的准确度受到影响的问题。
发明内容
本发明是为了解决所述问题而完成，其目的在于提供一种能够对被蒸镀有微电路 的玻璃表面上可能产生的异物进行准确检查的玻璃表面的异物检查装置及检查方法。本发明的另外其他目的在于提供一种即使移送中玻璃的平坦度发生了变化，也不 需要设置自动距离调节装置之类的其他的附加装置即可对玻璃表面上可能产生的异物进 行准确检查的玻璃表面的异物检查装置及检查方法。为了实现上述目的，本发明公开了 一种玻璃表面的异物检查装置，包括上部激光 照射部，从所述玻璃基板上部的一侧面来照射激光，并到达上部的其他侧面为止；上部检测 相机，让从所述上部激光照射部所照射的激光照射到所述玻璃基板的上表面之后，接收因 异物而散射的光；以及检测信号处理部，对从所述上部检测相机所输出的影像信号加以分 析，并判断所述玻璃基板上是否存在着异物。为了实现上述目的，本发明还公开了一种玻璃表面的异物检查方法，对移送中的 玻璃表面所存在的异物进行检查，包括第一步骤、以从所述玻璃基板上部的一侧面而照射激光并到达上部的其他侧面为 止的方式，来对基板的上表面照射激光；第二步骤、在所述第一步骤中照射的激光照射到了所述玻璃基板的上表面之后， 接收因异物而散射的光；以及第三步骤、对所述第二步骤中输出的影像信号进行分析，并判断所述玻璃基板上 是否存在异物。
为了实现上述目的，本发明又公开了一种玻璃表面的异物检查方法，检查移送中 的玻璃表面所存在的异物附着在玻璃基板的上表面或下表面的哪一个面上，其特征在于， 包括第一步骤、对所述玻璃基板的上表面照射激光，接收因异物而散射的光，并作为影 像图像而输出；以及第二步骤、对所述玻璃基板的下表面照射激光，接收因异物而散射的光，并作为影 像图像而输出。换言之，本发明的玻璃表面的异物检查装置的特征在于，包括上部激光照射部，从所述玻璃基板上部的一个侧面来照射激光，并到达上部的其 他侧面为止；上部检测相机，让从所述上部激光照射部所照射的激光照射到所述玻璃基板 的上表面之后，接收因异物而散射的光；下部激光照射部，从所述玻璃基板下部的一个侧面 来照射激光，并到达下部的其他侧面为止；下部检测相机，让从所述下部激光照射部所照射 的激光照射到所述玻璃基板的下表面之后，接收因异物而散射的光；以及检测信号处理部， 对从所述上部检测相机及下部检测相机所输出的影像信号加以分析，并判断所述玻璃基板 上异物的存在位置。根据本发明的玻璃表面的异物检查装置及检查方法，当然能够毫无遗漏地准确检 测玻璃基板上所附着的异物，而且还能够准确把握是蒸镀有电路的玻璃表面上产生了异 物，还是未蒸镀有电路的玻璃表面上产生了异物。另外，根据本发明的玻璃表面的异物检查装置及检查方法，可与玻璃基板的平坦 度无关地更准确地检查出有无产生异物，而且因为不需要现有装置中所使用的自动距离调 节装置，所以能够降低设备成本，从而非常容易进行设备的保持及维护。进而，本发明的照 明方法具有能够以一台装置的照明来照射比现有技术更广面积范围的优点。
图1是概略表示本发明的玻璃表面的异物检查装置的优选实施方式的构成图；图2A是图IWA-A'方向的剖面图；图2B是图1的B-B'方向的剖面图；图3是概略表示玻璃基板上所附着的异物、与照射到所述玻璃基板上的上部激光 的路径的实施方式；图4是表示通过本发明的玻璃表面的异物检查装置而检测出玻璃基板上所附着 的异物、并在视觉上显示该异物的情况的实施方式；图5a、5b是用以对能够与玻璃基板的平坦度变化无关地准确检测玻璃表面异物 的原理进行说明的动作图；图6a、6b是用以说明本发明激光的优选照射角度的示意图；图7a、7b是用以说明本发明中所使用的激光的形状的示意图。附图标记的说明11:上部检测相机；13:下部检测相机；30、31:玻璃基板；50:区域；51 上部激光照射部；53 下部激光照射部；
55 入射光；57 反射光；59:激光；69:下部激光；81、91:异物；83:散射；90:检测信号处理部；100 玻璃基板的移送方向；11-81、13_81 上表面异物显示画面；θ :倾斜角；11-91、13_91 下表面异物显示画面；Φ 宽度；Τ:厚度；t:高度方向；W:宽度方向。
具体实施例方式本发明的玻璃表面的异物检查装置的特征在于在玻璃基板30上部的一侧面上 具有用以检测玻璃基板30的异物的上部激光照射部51，在玻璃基板30下部的一侧面上，与 配置有上部激光照射部的部位隔开既定的间隔而具有下部激光照射部53，从所述激光照射 部51、53所出射的激光是以分别从所述玻璃基板30的一侧面来照射并到达其他侧面为止 的方式进行照射。更佳为，利用朝着与所述玻璃基板30的移送方向相垂直的方向来进行照 射的构成，可以毫无遗漏地准确检测玻璃基板表面所附着的异物，同时能够容易把握该异 物存在于玻璃基板30的哪一个面上。以下，参照附图，对本发明的玻璃表面的异物检查装置的优选实施方式进行详细 说明。在说明之前，所谓分别设置有上部激光照射部51与下部激光照射部53的所述一 侧面，是指在准备的长方形形状的玻璃基板30的四个角部中，在玻璃基板30的移送方向上 平行排列而存在的两个角部中的任一个角部，所谓所述其他侧面，是指与所述一侧面相对 而存在的角部，是所述两个角部中剩余的一个角部。图1是概略表示本发明的玻璃表面的异物检查装置的优选实施方式的构成图，图 2A是图IWA-A'方向的剖面图。参照图1、图2A及图2B，本发明的玻璃表面的异物检查装置包含上部激光照射部 51，从玻璃基板30上部的一侧面来照射激光，并到达上部的其他侧面为止；上部检测相机 11，让从上部激光照射部51所照射的激光59照射到玻璃基板30的上表面之后，接收因玻 璃基板30上所存在的异物而散射的激光；下部激光照射部53，从玻璃基板30下部的一侧 面来照射激光，并到达下部的其他侧面为止；下部检测相机13，让从下部激光照射部53所 照射的激光照射到玻璃基板30的下表面之后，接收散射的光；以及检测信号处理部90，根 据从上部检测相机11及下部检测相机13所输入的影像信号，来判断与上表面或下表面上 所附着的异物相关的信息。另外，如上所述，从上部激光照射部51及下部激光照射部53分别输出的激光是从玻璃基板30的一侧面出发而到达其他侧面为止横跨玻璃基板的一个面来进行照射，优选 的构成是朝着与所述玻璃基板30的移送方向相垂直的方向进行照射。玻璃基板30是液晶显示器(LCD，Liquid Crystal Display)之类的显示装置的面 板(Panel)所使用的薄玻璃材质的基板，一般是由0. 5至0. 7mm的板厚所构成，一个面(以 下称为上表面)被蒸镀形成有微电路图形，与所述一个面相反一侧的另一个面(以下称为下表面)是作为未形成有电路图形(Pattern)的面而存在。附图标记“ 100”是表示玻璃基 板30的移送方向。激光照射部51、53是由对玻璃基板30的上表面照射激光的上部激光照射部51、及 对下表面照射激光的下部激光照射部53所构成，照射到玻璃基板的上、下表面上的所述激 光的构成优选为，具有大致IOOmm的宽度、及0. 65mm至0. 95mm的厚度，且从所述激光照射 部输出。而且，以上说明的激光的宽度(约100mm)是对于具有大致Im宽度的玻璃基板30 而言的优选尺寸，当然，该宽度并不限定为lm。优选的构成为，例如，如果工程玻璃基板30是具有Im或Im以上宽度的玻璃基板 30，则让所述激光具有IOOmm或IOOmm以上的宽度，另一方面，如果工程玻璃基板30具有Im 以下的宽度，则让所述激光具有IOOmm以下的宽度。上部激光照射部51是用以检测玻璃基板30的上表面所附着的异物的单元，从上 部激光照射部51所输出的激光59具有既定的厚度及宽度，并向所述玻璃基板30的上表面 入射。
图7a、7b是用以说明本发明中所使用的激光的形状的示意图。如图7a所示，从朝 向附图前方正在移送的玻璃基板30的上表面的侧面来照射激光59，图7b是表示图7a的 A-A'剖面图的示图。如图7b所示，激光59具有长方形形状、即在玻璃基板30的宽度方向 w上具有较小的厚度T、且在玻璃基板30的高度t方向上具有较宽的宽度Φ，这样有利于对 平坦度不固定的玻璃基板30进行异物检查。另外，所述激光59中，优选使符合所述宽度的面与所述玻璃基板30的一个面形成 至少60°或60°以上的倾斜(优选使符合所述宽度的面与所述玻璃基板30相垂直)而进 行照射。以下，对入射到玻璃基板30的上表面中的激光59的具体特征进行讨论。如图1及图2A(a)所示，从所述上部激光照射部51所输出的上部激光59朝向与 玻璃基板30的移送方向相垂直的方向而照射，使得照射到所述玻璃基板30上的上部激光 的区域中所存在的玻璃基板30的上表面区域的整个面包含在所述激光的内部。更优选的 是，与所述上表面区域相反侧的下表面区域以最大限度地不包含在所述激光内部的方式而 受到照射。此原因在于，让入射到上表面的激光59透射到下表面的量最小化，由于因上表面 所存在的异物而散射的激光的信号强度远大于透射到下表面并因下表面所存在的异物而 散射的激光的信号强度，以此来尽量完全区分并检测玻璃基板30的上表面与下表面上所 存在的异物。因此，最符合所述目的的理想的上部激光的照射角是与玻璃基板30平行入射，使 得所述玻璃基板30的上表面中的所述激光59所入射的区域的整个面包含在所述上部激光 59的内部，而且使得下表面区域的整个面不包含在所述上部激光的内部，以此来照射所述 上部激光59。但是，如上所述，当以与玻璃基板30平行的方式照射激光时，能够完全区分并检 测上表面与下表面所存在的异物的精密度得到极大化，但是存在着以下缺点。S卩，被移送的玻璃基板30会因为移送装置与玻璃基板30本身的弯曲而导致在用以检测异物的移送中玻璃基板30的平坦度发生变化。因此，如上所述，当与所述玻璃基板 30平行地照射上部激光59时，由于所述的玻璃基板30平坦度的变化而可能产生如下情况 1)玻璃基板30的上表面不包含在所述上部激光的内部而是脱离；或者2)不必说上表面， 甚至连下表面也全部包含在所述上部激光59的内部。从而担心产生如下问题在1)的情况下，无论玻璃基板30的上表面上是否存在着 异物，都会无法检测出异物而使异物通过；在2)的情况下，上表面所存在的异物不仅会被 后述的上部检测相机11、甚至会被下部检测相机13双方共同以类似的信号强度而检测出 并显示，因而难以区分所检测出的异物存在于玻璃基板30的哪一个面上。为了弥补以上缺点，本发明优选的实施方式的激光是以如下方式构成如图 2A(b)所示，从所述玻璃基板30的上表面形成既定的倾斜角θ而倾斜照射，所述倾斜角θ 以0. 06度至6度的低角度进行入射。倾斜角θ是考虑移送中的玻璃基板30上可能发生的平坦度的变化程度的照射 角，当所述上部激光59以所述范围的低照射角而照射到玻璃基板30的上表面时，即使玻璃 基板30发生了平坦度的变化，所述玻璃基板30的上表面也能始终保持包含在所述上部激 光内部的状态。而且，以0. 06度至6度的低角度而构成倾斜角，这样可以使入射到玻璃基板30上 表面的上部激光59的大部分被反射，使透射到玻璃基板30的光量变得非常少，从而能够使 已透射的上部激光因下表面所存在的异物而产生的散射最小化，由此，能够完全区分并检 测上表面及下表面所存在的异物。图6a、6b是用以说明本发明激光的优选照射角度的示意图。以下，利用图6a、6b 来对所述0. 06度至6度的倾斜角加以具体说明。为了便于说明，假定玻璃基板30的板厚 t为1mm，玻璃基板30的宽度L为1000mm，激光的宽度Φ为100mm。另外，所述数值与实际 生产中的装备及玻璃的数值大致相同。如图6a所示，当激光59的下部抵接到玻璃基板30 相反侧的下表面时，激光保持为最低的角度，如图6b所示，当激光59的上部抵接到玻璃基 板30相反侧的上表面时，激光保持为最高的角度。图6a中，激光59与玻璃面所成的角度 形成为大致0. 06度，图6b中，激光59与玻璃面所成的角度形成为大致6度。因此，本发明 的激光59优选的是与玻璃面保持0. 06度至6度，且以低角度照射。上部检测相机11发挥如下作用让从上部激光照射部51所出射的上部激光59照 射到玻璃基板30的上表面之后，接收因玻璃基板30上所存在的异物而散射的光。具体而言，上部检测相机11是用以接收所述被散射的光并使其转换为电荷以获 得图像的电荷耦合元件(Charge-Coupled Device，以下简称CCD)，CCD利用对应于光二极 管(Diode)中接收到的光子(Photon)的量所生成的电子量而再构成信息，由此来作成检测 影像信号，该检测影像信号被传送到检测信号处理部90 (参照图1)。图2B是图1的B-B'方向的剖面图。参照图2B，为了能够准确把握玻璃基板30 上所附着的异物附着在基板30的哪一个面上，本发明的玻璃表面的异物检查装置具备又 一个激光照射部(以下，指下部激光照射部53)、及检测相机(以下，指下部检测相机13)。与所述上部激光照射部51相同，下部激光照射部53配置成朝着与玻璃基板30的 移送方向相垂直的方向而照射下部激光，所述下部激光69是以如下方式构成从所述玻璃 基板30的下表面形成既定的倾斜角θ而倾斜照射，所述倾斜角θ是以0.06度至6度的低角度而入射。S卩，上部激光照射部51设置在玻璃基板30的上部侧面的附近，且对玻璃基板30 的上表面照射上部激光59，下部激光照射部53设置在玻璃基板30的下表面的附近，且对下 表面照射下部激光69。更准确地说，已知上部激光照射部51设置在位于玻璃基板30所在 的垂直延长区域的外部的上部侧面上，并对玻璃基板30的上表面照射光，并且已知下部激 光照射部53设置在位于玻璃基板30所在的垂直延长区域的外部的下部侧面上，并对玻璃 基板30的下表面照射光。与所述上部检测相机11相同，下部检测相机13发挥如下作用让从下部激光照射 部53所出射的下部激光69照射到所述玻璃基板30的下表面之后，接收因所述玻璃基板30 上所存在的异物而散射的光。另外，本发明优选的实施方式的所述下部检测相机13的构成为，配置在所述下部 激光69所照射的区域的上部，当然，即使配置在所述下部激光69所照射的区域的下部，也 能达成相同的目的。进而，所述下部检测相机13也和所述检测信号处理部90电连接，从所述下部检测 相机13检测出的影像信号被输入到所述检测信号处理部90。另外，所述上部激光照射部51及下部激光照射部53维持着既定的间隔而配置，所 述间隔只要使从所述上部及下部激光输出的各激光的路径相互之间不会影响的程度即可。检测信号处理部90通过照射到玻璃基板30上表面上的上部激光59及后述的下 部激光69因异物而散射来对由上部检测相机11及下部检测相机13所检测出的影像信号 进行分析处理，并将其在视觉上进行显示，从而能够区分该异物附着在玻璃基板30的哪一 个面上，并计算该异物的大小，提供给工作人员。具体而言，检测信号处理部90根据从上部检测相机11及下部检测相机13所输 入的影像信号而提供一对‘异物显示画面’，在视觉上显示与上表面或下表面上附着的异物 相关的信息，此一对‘异物显示画面’具体划分为提供与上表面上附着的异物(以下，称为 上表面异物)相关的信息的一对‘上表面异物显示画面’ 11-81、13-81(参照图4)、及提供 与下表面上附着的异物(以下，称为下表面异物)相关的信息的一对‘下表面异物显示画 面，11-91、13-91 (参照图 4)。S卩，工作人员通过由所述检测信号处理部90所提供的一对异物显示画面，而能够 判断已检测出的异物是附着在玻璃基板30上表面上的异物，还是附着在下表面上的异物。
参照图4来说明，首先，一对上表面异物显示画面是与玻璃基板30上表面上附着 的异物相关的检测图像，其中的一个上表面异物显示画面11-81是根据由上部检测相机11 检测出上表面异物的影像信号所生成，是所提供的图像画面的一例，其中的另一个上表面 异物显示画面13-81是根据由下部检测相机13检测出上表面异物的影像信号所生成，是所 提供的图像画面的一例。接下来，一对下表面异物显示画面11-91、13-91是与玻璃基板30的下表面上附着 的异物相关的检测图像，其中的一个下表面异物显示画面11-91是根据由上部检测相机11 检测出下表面异物的影像信号所生成，是所提供的图像画面的一例，其中的另一个下表面 异物显示画面13-91是根据由下部检测相机13检测出下表面异物的影像信号所生成，是所 提供的图像画面的一例。
S卩，在本发明中，通过以下二步骤而向工作人员提供图像影像对玻璃基板30的 上表面照射激光，接收因异物而散射的光，并作为影像图像而输出(步骤一)，以及对玻璃 基板30的下表面照射激光，接收因异物而散射的光，并作为影像图像而输出(步骤二)，也 就是说向作业者提供异物显示画面，作业者对由上部检测相机11检测出的图像影像及由 下部检测相机13检测出的图像影像加以比较，并利用哪一个信号显示得更加强烈而能更 准确地把握异物的附着位置。另外，对于所述检测信号处理部90将根据从上部检测相机11及下部检测相机13输入的影像信号所生成的图像影像本身提供给工作人员的情况作了说明、显示。因此，形成 如下构成工作人员通过直接读取所提供的所述图像影像即能把握异物的存在与否、及该 异物附着在玻璃基板的哪一个面上。但是，将可以从上部检测相机11及下部检测相机13输入的各种影像信号作为条 件值时，如果根据输入到检测信号处理部90中的影像信号所计算的条件满足检测信号处 理部90中已设定的条件，则毫无疑问，检测信号处理部90也可以形成如下构成将与所述 满足的条件相对应的结果(即，异物信息)以文字、数值及图像的形式输出。所谓所述条件值，可举出例如影像信号中检测出异物的条件、所检测出的异物的 大小的条件、对上部检测相机所检测的图像影像及下部检测相机所检测的图像影像进行比 较来看哪一个信号显示得更加强烈的条件等。在以上述方式而构成时，具有如下优点为了把握与异物的存在、及该异物附着在 玻璃基板的哪一个面上所相关的信息，作业者不需要直接读取由检测信号处理部90所提 供的图像影像即可立刻把握。以下，对具有如上所述构成的本发明的玻璃表面的异物检查装置的作用加以详细 说明。图3是概略表示玻璃基板上所附着的异物、与照射到玻璃基板上的上部激光的路 径的实施方式，图4是表示通过本发明的玻璃表面的异物检查装置而检测出玻璃基板上所 附着的异物，并在视觉上显示该异物的情况的实施方式。仅作为参考，为了明确说明所述上部激光59散射反射的作用，在图4所示的上部 激光59中，异物81所在区域的激光的内部的阴影处理被省略。参考图3及图4，首先，从上部激光照射部51输出的上部激光59朝着与所述玻璃 基板30的移送方向相垂直的方向而照射，并从所述玻璃基板30形成0. 06度至6度的倾斜 角而向玻璃基板30的上表面倾斜入射。在进行说明之前，假定在玻璃基板30的上表面与下表面的彼此不同的位置上分 别附着有异物81、91，在此假定下对本发明的玻璃表面的异物检查装置的作用加以说明。如果要对照射到玻璃基板30上表面上的上部激光59进行具体讨论，则可划分为 入射到玻璃基板30上表面的入射光55、所述入射光55中到达所述上表面之后被反射的反 射光57、以及进而在所述入射光55中透射到所述玻璃基板30并向下表面透射的透射光 53。同样地，照射到玻璃基板30下表面上的下部激光也可划分为入射到玻璃基板下 表面的入射光、所述入射光中到达所述下表面之后被反射的反射光、以及进而在所述入射 光中透射到所述玻璃基板并向上表面透射的透射光。
首先，玻璃基板30的上表面所附着的异物的检测过程及检查方法基本上通过以 下步骤而进行第一步骤，以从所述玻璃基板30上部的一侧面到达上部的其他侧面为止的 方式，来对玻璃基板30的上表面照射激光59 ；第二步骤，在第一步骤中所照射的激光59照 射到了玻璃基板30的上表面之后，接收因异物而散射的光；以及第三步骤，对第二步骤中 所输出的影像信号加以分析，并判断玻璃基板30上是否存在着异物。为了对玻璃基板的下表面上存在的异物进行检测而形成如下的构成进一步执行 第四步骤及第五步骤，所述第四步骤是以从玻璃基板30下部的一侧面而照射并到达下部 的其他侧面为止的方式，来对玻璃基板30的下表面照射激光69，所述第五步骤是在第四步 骤中所照射的激光69照射到了玻璃基板30的下表面之后，接收因异物而散射的光，在所述 第三步骤中，对所述第二步骤及第五步骤中所输出的影像信号进行分析，并判断已检测出 的异物附着在所述玻璃基板的上表面或下表面的哪一个面上。
以下，对于存在于玻璃基板上的异物的检测、以及用以把握所检测出的异物存在 于玻璃基板的哪一个面上的具体方法加以说明。当玻璃基板30的上表面上附着并移动的异物81到达了上部激光59所照射的区 域时，上部激光的入射光55或反射光57的一部分会因所述玻璃基板30的上表面上所附着 的异物81而以任意的角度散射83，并被配置在所述玻璃基板30上部的检测相机11所接 收。图4的‘11-81’是表示由所述上部检测相机11检测因所述玻璃基板30的上表面 上附着的异物81而散射反射的上部激光并进行显示的异物检测图像画面。如图所示，散射 反射的光越多，则异物检测图像的大小会显示得越大，从而向作业者在视觉上显示并提供 玻璃基板30的上表面存在着异物81的信息。当玻璃基板30的上表面上附着并移动的异物81通过了上部激光59照射的区域 而到达下部激光所照射的区域69时，因为下部激光69的入射光或反射光不会受到上表面 异物的影响(即，散射及反射)，所以下部激光的入射光的大部分会维持原状而成为反射光 并向外部反射，只有入射光中相对较少量的激光会透射到玻璃基板的上表面，并因上表面 异物而产生散射反射。下部激光的透射光中，因上表面异物而散射反射的光由所述下部检测相机13检 测出，根据已检测出的影像信号而生成并提供的图像画面如图4的‘13-81’所示。下部激 光的透射光中，其光量相对非常少，而因所述透射光所产生的上表面异物的散射信号的强 度也变弱，由此，如图4的‘13-81’中所示，该检测图像的整体显示为暗的空白状态，或者显 示为检测出的异物影像的解析度非常低而不鲜明的图像的形态。如上所讨论，本发明的玻璃表面的异物检查装置是以如下方式构成在玻璃基板 30的上侧面与下侧面上，分别一个个隔开既定的间隔而具有用以检测玻璃基板30上所附 着的异物的激光照射部51、53，且从激光照射部出射的光朝着与玻璃基板30的移送方向相 垂直的方向形成既定的倾斜角而照射，通过由如上所述的构成所生成并提供的异物显示画 面，能够准确把握各检测相机11、13所检测到的异物附着在玻璃基板30的哪一个面上。S卩，当玻璃基板30的上表面上附着有异物时，因为在上部激光所照射的区域中， 大量的激光(入射光或反射光)会与上表面异物碰撞而散射反射，在下部激光所照射的区 域中，非常少量的激光(透射光)会因上表面异物而散射反射，所以上部及下部检测相机13所检测到的散射信号的强度会表现出明显的差异。因此，当如下情况时，S卩，在通过上部检测相机11而生成并提供的上表面异物显 示画面11-81中，异物检测图像被鲜明地显示并提供，而在通过下部检测相机13而生成并 提供的上表面异物显示画面13-81中，异物检测图像在整体为暗的空白状态、或者在解析 度非常低的图像的形态下被显示并提供时，作业者能够准确把握所检测出的异物是位于玻 璃基板30的上表面上的异物。玻璃基板30的下表面上附着的异物的检测过程及检测方法与所述上表面异物的 检测过程及检测方法相同，所以仅对其不同点加以说明。当玻璃基板30的下表面上附着的异物移动并到达了所述上部激光59所照射的区 域时，由于和上表面异物到达所述下部激光69区域时的情况相同的原因，使得检测出的散 射信号的强度变得非常微弱，如图4的下表面异物显示画面11-91所示，在整体为暗的空白 状态下显示，或者因为所显示的异物的解析度非常低而在不鲜明的状态下显示。当玻璃基板30的下表面上附着的异物通过了上部激光59照射的区域而到达下部 激光69所照射的区域时，由于和上表面异物到达所述上部激光区域时的情况相同的原因， 使得检测出的散射信号的强度增大很多，在利用下部检测相机13而生成并提供的下表面 异物显示画面13-91中，异物检测图像被鲜明地显示并提供。因此，当提供的一对下表面异物显示画面11-91、13-91以所述形态显示并提供 时，作业者能够准确把握所述异物是玻璃基板30下表面上所附着的异物。图5a、5b是用以说明能够与玻璃基板的平坦度变化无关地准确检测玻璃表面的 异物的原理的动作图。图5a表示移送中的玻璃基板30在平坦且正常的位置上移送的情况，图5b所示的 玻璃基板31是平坦度发生了变化的玻璃基板31，表示在平坦度从正常的位置30向上部侧 发生了 ‘Δ’左右的变化的状态下的移送情况。而且，图5中，用附图标记‘50’来表示由上 部检测相机11而照射到玻璃基板30上部的区域。先前，如上所述，现有的玻璃表面的异物检查装置存在着如下问题不能适当应对 移送中发生的玻璃基板30平坦度的变化，从而玻璃基板30上所附着的异物的检测精密度 非常低。但是，本发明的玻璃表面的异物检查装置始终会在固定的位置上从玻璃基板30 的一侧面来照射激光59，所以即使玻璃基板30的平坦度发生了变化，也能在异物的检查 中，使因基板30平坦度的变化所产生的影响最小化。参照图5a及图5b作具体说明，对上表面异物检测过程进行讨论，即使到达了上部 激光59所照射的区域的玻璃基板30从完全平面位置(即，玻璃基板30的位置)向上弯曲 ‘Δ’左右后位于更高的支点(即，玻璃基板31的位置)时，所述玻璃基板31的上表面也依 然会保持着包含在所述上部激光59内部的状态，由此，因所述玻璃基板30的上表面上附着 的异物而引起的散射反射也会再次正常地产生，从而能够准确地进行异物检测。此原因在于，本发明的玻璃表面的异物检查装置是以如下方式构成朝着与玻璃 基板30的移送方向相垂直的方向而照射上部激光59，并且上部激光59从玻璃基板30的上 表面形成既定的倾斜角而倾斜入射，因此，即使移送中的玻璃基板30上发生了 ‘Δ’左右的 平坦度的变化，玻璃基板31的上表面也能始终包含在所述激光的宽度方向的内面(图7中的φ)。 最后应说明的是以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对其进行限制， 尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解其依 然可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而这些修改或者等同替换亦不能使修 改后的技术方案脱离本发明技术方案的精神和范围。
权利要求
一种玻璃表面的异物检查装置，对移送中的玻璃表面所存在的异物进行检查，其特征在于，包括上部激光照射部，从玻璃基板上部的一侧面来照射上部激光，并到达上部的其他侧面为止；上部检测相机，让从所述上部激光照射部所照射的上部激光照射到所述玻璃基板的上表面之后，接收因异物而散射的光；以及检测信号处理部，对从所述上部检测相机所输出的影像信号进行分析，并判断所述玻璃基板上是否存在着异物。
2.根据权利要求1所述的玻璃表面的异物检查装置，其特征在于，进一步包括下部激光照射部，从所述玻璃基板下部的一侧面来照射下部激光，并到达下部的其他 侧面为止；以及下部检测相机，让从所述下部激光照射部所照射的下部激光照射到所述玻璃基板的下 表面之后，接收因异物而散射的光；所述检测信号处理部对从所述上部检测相机及下部检测相机所输出的影像信号进行 分析，并判断所述玻璃基板上异物的存在位置。
3.根据权利要求2所述的玻璃表面的异物检查装置，其特征在于所述检测信号处理部根据从所述上部检测相机及下部检测相机所输入的影像信号而 提供异物显示画面，在视觉上显示与上表面或下表面上附着的异物相关的信息。
4.根据权利要求1或2所述的玻璃表面的异物检查装置，其特征在于所述上部激光是从所述玻璃基板的上表面形成0. 06度至6度的倾斜角而倾斜入射。
5.根据权利要求2所述的玻璃表面的异物检查装置，其特征在于所述下部激光是从所述玻璃基板的下表面形成0. 06度至6度的倾斜角而倾斜入射。
6.根据权利要求1或2所述的玻璃表面的异物检查装置，其特征在于所述上部激光及下部激光具有在所述玻璃基板的厚度方向上所定义的宽度(Φ)、及在 所述玻璃基板的移送方向上所定义的厚度(T)，所述激光具有宽度(Φ)大于厚度(T)而形 成的长方形。
7.一种玻璃表面的异物检查方法，对移送中的玻璃表面所存在的异物进行检查，其特 征在于，包括第一步骤、以从玻璃基板上部的一侧面而照射激光并到达上部的其他侧面为止的方 式，来对基板的上表面照射激光；第二步骤、在所述第一步骤中照射的激光照射到了所述玻璃基板的上表面之后，接收 因异物而散射的光；以及第三步骤、对所述第二步骤中输出的影像信号进行分析，并判断所述玻璃基板上是否 存在异物。
8.根据权利要求7所述的玻璃表面的异物检查方法，其特征在于，进一步包括第四步骤、以从所述玻璃基板下部的一侧面而照射激光并到达下部的其他侧面为止的 方式，来对所述玻璃基板的下表面照射激光；以及第五步骤、在所述第四步骤中照射的激光照射到了所述玻璃基板的下表面之后，接收 因异物而散射的光；所述第三步骤对所述第二步骤及第五步骤中输出的影像信号进行分析，并判断已检测 出的异物附着在所述玻璃基板的上表面或下表面的哪一个面上。
9. 一种玻璃表面的异物检查方法，检查移送中的玻璃表面所存在的异物附着在玻璃基 板的上表面或下表面的哪一个面上，其特征在于，包括第一步骤、对所述玻璃基板的上表面照射激光，接收因异物而散射的光，并作为影像图 像而输出；以及第二步骤、对所述玻璃基板的下表面照射激光，接收因异物而散射的光，并作为影像图 像而输出。
全文摘要
本发明涉及一种玻璃表面的异物检查装置及检查方法，本发明的目的在于提供一种能够对被蒸镀有微电路的玻璃表面上可能产生的异物进行准确检查的玻璃表面的异物检查装置及检查方法。本发明的玻璃表面的异物检查装置的特征在于以如下方式而构成，即，在所述玻璃基板的上部侧面与下部侧面上，分别一个个隔开既定的间隔而具有用以检测玻璃基板上的异物的激光照射部，且从所述激光照射部出射的光朝着与所述玻璃基板的移送方向相垂直的方向照射，从而能够毫无遗漏地准确检测出玻璃表面上所附着的异物。
文档编号G01N21/49GK101813640SQ20091013861
公开日2010年8月25日 申请日期2009年5月6日 优先权日2009年2月20日
发明者表成钟, 金台祐, 金贤祐, 高营采 申请人:三星康宁精密琉璃株式会社