专利名称：射频屏蔽测试座以及采用该射频屏蔽测试座的测试机台的制作方法
技术领域：
本发明属于半导体自动化检测技术领域，尤其涉及一种射频屏蔽测试座以及采用 该射频屏蔽测试座的测试机台。
背景技术：
从手机、无线网络卡到蓝芽耳机设备等，只要是需要发射、接收信号的装置，几乎 都用得到射频集成电路芯片(RF IC)，现阶段对于射频集成电路芯片的测试需求逐步增温。 目前传统用来测试IC的自动化测试机台，大致可分为由测试座提供仿真信号，获取各输出 脚位输出信号的仿真测试；以及提供实际功能性电路板与周边，空出待测IC位置，将待测 IC置入实际使用环境中运作的实境测试。以目前业界多实行的是符合使用环境的实境测试，也就是单独留下待测IC的空 缺，让受测IC填补受测位置，并以实际机台依照使用状态进行测试，可轻易获得该待测IC 在实际使用环境下的反应状态，并得知该待测IC是否可供实际装机，亦可称之为系统级测 试。举例来说，若所欲测量的IC将应用于手机，上述实境测试的测试电路板即为手机电路 板，若所测IC为网络卡用的IC，即可以网络卡作为测试电路板，无论何种卡，多为市面上常 见或已为厂商所具备，因此实境测试的环境营造不存在困难。一般简易的射频IC测试装置，多采用人工置换待测物的方式，测试速度缓慢，且 在封闭空间中对待测物进行测试作业，不但耗费人力，且测试效率以及测试结果均有人为 因素参杂，较难如实反应实际的测试结果。另外，业界目前对待测物所采用的自动化测试机 台，则未见有针对测试时射频干扰提出有效的解决方案，在多测试埠平行检测时，对邻近的 待测物将产生干扰。
发明内容
本发明的目的在于提供一种射频屏蔽测试座以及采用该射频屏蔽测试座的测试 机台，旨在解决半导体IC测试时射频干扰以及测试效率的问题。本发明是这样实现的，一种射频屏蔽测试座，所述射频屏蔽测试座在测试待测物 时，限制测试所产生的射频电磁渗透至外部空间，所述的射频屏蔽测试座包括一个支撑板；一设置在所述支撑板上的测试板，所述测试板上方设有一个供待测物插置的测试 座体；一个用以阻隔射频、在所述支撑板上形成测试空间的上罩体，所述上罩体上方开 设有一可供待测物进出的开口 ；以及一组用于将待测物压置于所述测试座体的测试手臂，所述测试手臂具有在待测物 压置于所述测试座体时将所述开口封闭的抵压部。更具体的，所述测试手臂用来吸附所述待测物以一预定路径行程自所述开口进入 所述上罩体内。
更具体的，所述测试板为测试所述待测物的测试公板。更具体的，所述上罩体为金属材料制作而成。更具体的，所述上罩体以导电镀层方式涂覆，以阻隔射频。更具体的，所述上罩体还设置有至少一个导引柱，所述导引柱在所述待测物以一 预定路径行程自所述开口进入所述上罩体内时，对所述测试手臂进行对位导引。更具体的，所述上罩体与所述支撑板的接合处具有一弯折，以隔离射频电磁。更具体的，所述上罩体与所述支撑板的接合处环设有一组吸波材料，以隔离射频 电磁。本发明还提供了一种具有射频屏蔽测试座的测试机台，用于对待测物进行功能性 自动化测试，其特征在于，所述测试机台包括一进料区，用以摆放具有复数待测物的载盘；一出料区，用以摆放具有复数完测待测物的载盘；一组拾取臂，用以将所述进料区载盘中的测试物搬移至所述射频屏蔽测试座和将 所述射频屏蔽测试座中的测试物搬移至所述出料区载盘中；以及复数组射频屏蔽测试座，各射频屏蔽测试座包括一个支撑板；一设置在所述支撑板上的测试板，所述测试板上方设有一个供待测物插置的测试 座体；一个用以阻隔射频、在所述支撑板上形成测试空间的上罩体，所述上罩体上方开 设有一可供待测物进出的开口 ；以及一组用于将待测物压置于所述测试座体的测试手臂，所述测试手臂具有在待测物 压置于所述测试座体时将所述开口封闭的抵压部。更具体的，所述测试机台还包括具有一预定位置的输送装置，所述输送装置用以 将所述待测物自所述预定位置运送至待测位置。更具体的，所述测试板为测试所述待测物的测试公板。更具体的，所述上罩体为金属材料制作而成。更具体的，所述上罩体以导电镀层方式涂覆，以阻隔射频。本发明提供的射频屏蔽测试座采用可阻隔射频的材质形成一测试空间，待测物在 该测试空间进行测试时，限制测试所产生的射频电磁场渗透至外部空间，且将测试时产生 的射频电磁导入接地点；本发明提供的测试机台具有多组射频屏蔽测试座，通过进料区的 载盘提供未经测试的待测物，拾取臂及输送装置将待测物送至待测位置，测试手臂将待测 物置于射频屏蔽测试座，测试完毕拾取臂及输送装置将待测物依据测试结果于出料区分 类，使多测试端口之测试流程一体化的进行；并且，通过多测试埠(Multi-Test-site)设置 射频屏蔽测试座，有效提升自动化测试速度，且防止测试所产生的电磁场至外部空间，维持 各测试埠的测试水平。
图1为本发明实施例的射频屏蔽测试座示意图；图2和图3为本发明实施例的射频屏蔽测试座之示意动作；
图4为本发明实施例的具有射频屏蔽测试座的测试机台示意图。
具体实施例方式为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对 本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并 不用于限定本发明。请参阅图1，为本发明实施例的射频屏蔽测试座示意图，该射频屏蔽测试座1包括 有一个支撑板10、一个测试板20和一个上罩体30。其中支撑板10设置于整体测试座的 最下方，以作为支持上方的组件，该支撑板10可以架设或跨设于测试机台的基座上。测试 板20设置在支撑板10之上，并于该测试板20上方设有一个供待测物插置的测试座体200。 一般而言，该测试板20进行测试即是利用一块测试公板，该测试公板是与该待测物(半导 体构装组件，IC)同步发表的、作为测试之用的公板，以实际的公板直接对每一个待测物进 行公板测试。该测试板20及测试座体200电性连接于一控制处理单元(图未示)，并进行 数据的运算传输处理，当压持待测物使其确实地与测试座体200电连接后，进行测试，于测 试完毕后进行测试分类。上罩体30利用可阻隔射频的方式制作，并于所述支撑板10上形成有测试空间S， 该测试空间S足以供测试手臂40以及待测物50运行，该上罩体30上方具有一可供待测物 50进出的开口 32，该开口 32的位置与测试板20上的测试座体200在一轴线上；所述上罩 体30的屏蔽空间系包括整个测试板20，为防止待测物50在进行测试时所产生的射频电磁 渗透至外部空间，故必须采用可阻隔射频的方式制作，譬如以金属材质制作、或以涂布导 电镀层方式涂覆于上罩体30等方式制作，才可能将测试过程中所产生的射频导入接地点 (GND)，此外，支撑板10亦可采用与上罩体30相同的阻隔射频的方式制作。为了确保射频 隔离，在上罩体30与支撑板10的接合处设计有一弯折，该弯折的具体型态可参见如下的具 体例子(但并不限于如下的例子)如图1中上罩体30与支撑板10的接合处成呈现阶梯 状(Stage)，或者采用具有高低落差、角度差异等的接合方式；另外，还可以在上罩体30与 所述支撑板10的接合处环设有一组吸波材料(图未示)，以隔离射频电磁。本发明实施例的射频屏蔽测试座需搭配一组用于将待测物压置于测试座体200 的测试手臂40，且该测试手臂40具有一抵压部42，该抵压部42在待测物50插置于测试座 体200时将上罩体30的开口 32封闭。该测试手臂40的前端部位可以负压方式吸附待测 物50，以一预定路径行程自开口 32进入测试空间S，该预定路径行程具体指该测试手臂40 朝向测试座体200的方向行进，当待测物50压置于测试座体200的同一时间，测试手臂40 的抵压部42同时会将上罩体30的开口 32封闭，形成一个暂时性封闭的测试区。自动化测试机台的运行速度很快，对于每个运行点的到位时间以及到位位置均非 常精准，除了依靠计算机以及处理器单元的逻辑运算，不免需要依靠结构上的设计辅助。如 本实施例中的上罩体30，在开口 32外围另外设置有两个导引柱34，以供待测物50依照预 定路径行程自开口 32进入上罩体30内时，对测试手臂40上另设的导引板(图未示)进行 对位导引。请参阅图2及图3，为一组射频屏蔽测试座动作示意图。假设待测物50已被测试 手臂40吸附，测试前测试手臂40为预备状态，前面提到上罩体30上方具有一可供待测物50进出的开口 32，该开口 32的位置与测试板20上的测试座体200在同一轴线上，所以当 测试手臂40向下方移动时，测试手臂40的前端部位及待测物50往测试座体200的方向行 进，当待测物50逐渐接近测试座体200的同时测试手臂40的抵压部42也逐渐接近上罩体 30。待测物50与测试座体200之间的距离，和测试手臂40的抵压部42与上罩体30之间 的距离实质上相等。最后，在待测物50压置于测试座体200的同一时间，该抵压部42也紧 靠于上罩体30，使开口 32封闭。实际应用本发明提供的技术方案时，也可将待测物50直接 透过其它机械手臂预先置放在测试座体200，再由测试手臂40向下方移动压置而使待测物 50插置于测试座体200进行测试，此种测试流程并不会影响测试的结果。请参阅图4，本发明还提供一种具有射频屏蔽测试座的测试机台，实施例中将以 四个射频屏蔽测试座1为例，包括有进料区60，用以摆放具有复数待测物的载盘；出料区 70，用以摆放具有复数完测待测物的载盘；一组拾取臂80，用以将进料区60的载盘中的待 测物搬移至预定位置或者待测位置，以及将预定位置或者待测位置的完测待测物搬移至出 料区70的载盘中，该待测位置即为测试座体200上；另可包括具有一预定位置的输送装置 90，用以运送待测物自该预定位置至待测位置，以及运送完测待测物自待测位置至预定位 置；以及复数组射频屏蔽测试座1。请同时参阅图1，每一个射频屏蔽测试座1包括有一个 支撑板10 ；—设置在支撑板10上的测试板20，并于该测试板20上方设有一个供待测物插 置的测试座体200，该支撑板10可以架设或跨设于测试机台的基座上；一个用以阻隔射频、 在所述支撑板10上形成有测试空间的上罩体30，该上罩体30上方具有一可供待测物进出 的开口 32，该开口 32的位置与测试板20上的测试座体200在同一轴线上；一组用于将待 测物压置于测试座体200的测试手臂40，且该测试手臂40具有一抵压部42，该抵压部42 在待测物压置于测试座体200时将所述上罩体30的开口 32封闭。测试完毕，输送装置90 及拾取臂80再将待测物依据测试结果于出料区70分类。此外，各射频屏蔽测试座除了采用支撑板作为测试板及测试座体的支持设置外， 也可以利用测试机台的基座结构作为支撑板的支持设置，本领域技术人员比照本发明实施 例无需经过创造性劳动即可实施，此不赘述。以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精 神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种射频屏蔽测试座，所述射频屏蔽测试座在测试待测物时，限制测试所产生的射 频电磁渗透至外部空间，其特征在于，所述的射频屏蔽测试座包括一个支撑板；一设置在所述支撑板上的测试板，所述测试板上方设有一个供待测物插置的测试座体；一个用以阻隔射频、在所述支撑板上形成测试空间的上罩体，所述上罩体上方开设有 一可供待测物进出的开口 ；以及一组用于将待测物压置于所述测试座体的测试手臂，所述测试手臂具有在待测物压置 于所述测试座体时将所述开口封闭的抵压部。
2.根据权利要求1所述的射频屏蔽测试座，其特征在于，所述测试手臂用来吸附所述 待测物以一预定路径行程自所述开口进入所述上罩体内。
3.根据权利要求1所述的射频屏蔽测试座，其特征在于，所述测试板为测试所述待测 物的测试公板。
4.根据权利要求1所述的射频屏蔽测试座，其特征在于，所述上罩体为金属材料制作 而成。
5.根据权利要求1所述的射频屏蔽测试座，其特征在于，所述上罩体以导电镀层方式 涂覆，以阻隔射频。
6.根据权利要求1或者2或者3或者4或者5所述的射频屏蔽测试座，其特征在于，所 述上罩体还设置有至少一个导引柱，所述导引柱在所述待测物以一预定路径行程自所述开 口进入所述上罩体内时，对所述测试手臂进行对位导引。
7.根据权利要求1或者2或者3或者4或者5所述的射频屏蔽测试座，其特征在于，所 述上罩体与所述支撑板的接合处具有一弯折，以隔离射频电磁。
8.根据权利要求1或者2或者3或者4或者5所述的射频屏蔽测试座，其特征在于，所 述上罩体与所述支撑板的接合处环设有一组吸波材料，以隔离射频电磁。
9.一种具有射频屏蔽测试座的测试机台，用于对待测物进行功能性自动化测试，其特 征在于，所述测试机台包括一进料区，用以摆放具有复数待测物的载盘； 一出料区，用以摆放具有复数完测待测物的载盘；一组拾取臂，用以将所述进料区载盘中的测试物搬移至所述射频屏蔽测试座和将所述 射频屏蔽测试座中的测试物搬移至所述出料区载盘中；以及 复数组射频屏蔽测试座，各射频屏蔽测试座包括 一个支撑板；一设置在所述支撑板上的测试板，所述测试板上方设有一个供待测物插置的测试座体；一个用以阻隔射频、在所述支撑板上形成测试空间的上罩体，所述上罩体上方开设有 一可供待测物进出的开口 ；以及一组用于将待测物压置于所述测试座体的测试手臂，所述测试手臂具有在待测物压置 于所述测试座体时将所述开口封闭的抵压部。
10.根据权利要求9所述的测试机台，其特征在于，所述测试机台还包括具有一预定位置的输送装置，所述输送装置用以将所述待测物自所述预定位置运送至待测位置。
11.根据权利要求9所述的测试机台，其特征在于，所述测试板为测试所述待测物的测 试公板。
12.根据权利要求9所述的测试机台，其特征在于，所述上罩体为金属材料制作而成。
13.根据权利要求9所述的测试机台，其特征在于，所述上罩体以导电镀层方式涂覆， 以阻隔射频。
全文摘要
本发明适用于半导体自动化测试技术领域，提供了一种射频屏蔽测试座以及采用该射频屏蔽测试座的测试机台，本发明提供的射频屏蔽测试座采用可阻隔射频的材质形成一测试空间，待测物在该测试空间进行测试时，限制测试所产生的射频电磁场渗透至外部空间，且将测试时产生的射频电磁导入接地点；本发明提供的测试机台具有多组射频屏蔽测试座，通过进料区的载盘提供未经测试的待测物，拾取臂及输送装置将待测物送至待测位置，测试手臂将待测物置于射频屏蔽测试座，测试完毕拾取臂及输送装置将待测物依据测试结果于出料区分类。
文档编号G01R1/18GK102109537SQ200910189308
公开日2011年6月29日 申请日期2009年12月23日 优先权日2009年12月23日
发明者陈建名 申请人:致茂电子(苏州)有限公司