专利名称：电子元件测试座的浮动缓冲机构的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种电子元件测试座的浮动缓冲机构，尤其是一种适用于电子元件封 装测试设备的浮动缓冲机构。
背景技术：
在电子元件测试流程或半导体元件的封装测试流程中，常常需要进行搬运、及取 放等动作。然而，每一半导体元件或电子元件又相当脆弱，一但于取放过程或搬运过程中稍 有不慎，产生非预期的碰撞或施力超出预设，往往就会造成毁损。其中，电子元件或半导体芯片的取放步骤为相当重要的关键动作。可想而知，以 测试流程中取放步骤的放置动作为例，当电子元件或半导体芯片在进行放置动作时，亦即 在取放装置吸取或夹取电子元件或半导体芯片后，进行置放于测试台时，此时通常需要施 以一下压的预力才可将电子元件或半导体芯片置于测试台进行测试。然而，倘若测试台无 设置任何缓冲或复位手段时，常因机器设备的误差或其他外在因素而发生下压力不足或过 当，而产生无法正确置入测试台或用力过当造成毁损。然而，以往仅以电木置于测试台下方以进行绝缘，并未有任何缓冲或复位的机制。 以现有技术而言，虽稍有进步，改以弹簧或弹性橡胶垫取代公知的电木，弹簧或弹性橡胶垫 虽然具备缓冲或复位的功能，但难以控制及调整其效果。况且，即使使用同一规格、同一厂 商所出厂的产品，仍无法保证其具备相同的缓冲或复位性能，而且老化更是相当困扰的问 题。综上所述，在需要相当精密的电子元件或半导体芯片测试流程中，现有的以弹簧或弹性 橡胶垫的缓冲复位手段，实无法符合或满足精密的测试流程的需要。
发明内容
本发明的目的是公开一种电子元件测试座的浮动缓冲机构，以克服现有技术中存 在的不足，避免电子元件在测试流程或半导体元件在封装测试流程中，因用力不足或过当 而造成毁损。为达到上述目的，本发明的技术解决方案是一种电子元件测试座的浮动缓冲机构，包括一底座、一气缸体、一活塞体、以及一 浮动座。其中，底座是开设有一气体流道，而气体流道包括有一进气口、及一出气口。而气 缸体包括有一活塞室、一顶板、及一中央通孔。气缸体气密式地组设于底座上，且活塞室对 应连通到底座的出气口，而中央通孔则开设于顶板上并连通至活塞室。其中，活塞体小于气缸体的活塞室，故可容许些微径向裕度的位移。且活塞体包括 有一固定件、一外环面、一挡止部、及一气封环。其中气封环是大于气缸体的活塞室，且气封 环套设于外环面上并一体容置于气缸体的活塞室内作轴向滑移。而挡止部并轴向向上对应 顶抵于气缸体的顶板，此时气封环、活塞体、及底座间形成有气室。另外，浮动座包括有一连 结件，连结件是通过气缸体的中央通孔以对应固定组设于活塞体的固定件上。据此，本发明 能使浮动座具有轴向、及径向的缓冲复位功能，又方便控制及调整，以大幅减少元件间碰撞所造成的损耗。再者，本发明的气缸体可还包括有至少一导引孔，而浮动座可包括有至少一轴向 导柱。其中，至少一轴向导柱可对应插设于气缸体的至少一导引孔内并可相对轴向滑移，且 至少一轴向导柱是小于至少一导引孔，故可容许些微径向裕度的位移。并且，浮动座可还 包括有至少一导引轴孔、及至少一线性衬套，而至少一线性衬套是套设于至少一轴向导柱 上，且至少一线性衬套并组设于至少一导引轴孔内。因此，本发明的轴向导柱与导引孔可提 供轴向缓冲导引功能，且因轴向导柱与导引孔间留有径向裕度故可提供径向缓冲位移的功 能。此外，本发明可还包括有一 0形环，于气缸体的下端面可还开设有一气封槽，而0 形环容置于气封槽内并气密贴附底座上，故0形环可用以气密密封于气缸体与底座之间。 并且，本发明的浮动座的连结件可以是一螺杆，而活塞体的固定件可为一内螺孔。其中，螺 杆是通过气缸体的中央通孔对应螺固于活塞体的内螺孔内。另外，本发明的底座可还包括有至少一定位柱，而气缸体可还包括有至少一定位 孔。其中，至少一定位柱是对应插设定位于气缸体的至少一定位孔内，用以提供定位底座与 气缸体。而且，本发明可还包括有至少一锁固螺栓，而底座可还包括有至少一锁固穿孔，且 气缸体可还包括有至少一锁固螺孔。其中，至少一锁固螺栓是穿经底座的至少一锁固穿孔 对应螺固于气缸体的至少一锁固螺孔内，用以锁固底座与气缸体。较佳的是，本发明可还包括有一测试电路板组设于浮动座上，测试电路板上还组 设有一电子元件测试座。其中，电子元件测试座是用以放置电子元件或半导体芯片以利进 行测试。此外，本发明可还包括有一调整座，其又包括有一轴向调整部、及一径向调整部，底 座是组设于径向调整部上。亦即，本发明除轴向及径向缓冲外，另具有轴向及径向位置的调 整。其中，径向调整部可包括有一滑块、及一滑轨，而滑轨对应滑设于滑槽上，且底座是组设 于滑块上。本发明的一种电子元件测试座的浮动缓冲机构，结构简单、严谨，可避免电子元件 在测试流程或半导体元件在封装测试流程中，因用力不足或过当而造成毁损。
22定位柱23锁固穿孔
3活塞体30固定件
31外环面311挡止部
312凸环34气封环
40形环5气缸体
50活塞室501顶板
51中央通孔52导引孔
53定位孔54气室
55下端面551气封槽
56锁固螺孔6轴向导柱
61线性衬套7浮动座
71中央穿孔72导引轴孔
8螺杆81锁固螺栓
9测试电路板90电子元件测试台
91电子元件测试座92待测元件
d, g径向间隙
具体实施例方式请参阅图1，图1是本发明电子元件测试座的浮动缓冲机构一较佳实施例的整体 设备立体图。图中显示有一环形电子元件测试设备，其主要步骤顺序包括自待测区吸取或 抓取电子元件，接着判断该电子元件的方向是否正确，再置入如图一所示的电子元件测试 台90进行测试，最后在依据测试结果进行分料。然而，电子元件测试台90主要包括有电子 元件测试座91、测试电路板9、浮动缓冲机构1、及一调整台10。再请一并参阅图2，图2是本发明电子元件测试座的浮动缓冲机构一较佳实施例 的测试台分解图。图中显示的电子元件测试座91主要用以置放待测元件92，并电性连接测 试电路板9以进行测试。而测试电路板9下方组设有浮动缓冲机构1，因待测元件92于吸 取或放置入电子元件测试座91的过程中难免会因为机器设备的误差、元件装置的老化、或 其他外在因素影响，产生无法完全精准置入、或施力过当或不足，而造成待测元件92的毁 损。然而，浮动缓冲机构1主要功用便用以提供上方电子元件测试座91轴向、及径向的缓 冲复位功能。另外，图中另显示有一调整座10，其组设于浮动缓冲机构1下方。调整座10包括 有一轴向调整部11、及一径向调整部12。其中，径向调整部12包括有一滑块121、及一滑轨 122，滑块121对应滑设于滑轨122上，浮动缓冲机构1是组设于滑块121上。据此，本发明 除轴向及径向浮动缓冲复位外，另具有轴向及径向位置的调整，以方便进行设备的保养、维 护、或制作工艺需求的变更。请同时参阅图3、图4、及图5，图3是本发明电子元件测试座的浮动缓冲机构一较 佳实施例的浮动缓冲机构分解图；图4是本发明一较佳实施例的浮动缓冲机构剖视图，其 剖视夹角为120度，主要显示包含轴向导柱6部份；图5是本发明一较佳实施例的浮动缓冲 机构另一剖视图，其是对半剖示，主要显示气体流道21部份。如图中所示有底座2，其是开设有一气体流道21，且气体流道21包括有一进气口 211、及一出气口 212，气体流道21另连 通一气压源(图未示)，其可为独立气体压缩机、或整场设备的气压源，以提供高压气体至 本实施例中的浮动缓冲机构1。此外，图中亦显示有一气缸体5，其是包括有一活塞室50、一顶板501、及一中央通 孔51。其中，气缸体5气密式地组设于底座2上。如图4、及图5所示，气缸体5的下端面 55开设有一气封槽551，而一 0形环4容置于气封槽551内并气密贴附底座2上。并且，底 座2上具有二定位柱22，气缸体5还包括有二定位孔53，定位柱22是对应插设于气缸体5 定位孔53内，用以提供定位底座2与气缸体5。此外，另有四根锁固螺栓81，而底座2具有 四个锁固穿孔23，且气缸体5亦具有四个锁固螺孔56。其中，锁固螺栓81分别穿经底座2 的锁固穿孔23并对应螺固于气缸体5的锁固螺孔56内，据以将气缸体5气密式地组设于 底座2上。据此，气缸体5的活塞室50对应连通到底座2的出气口 212，而中央通孔51开设 于顶板501上并连通至活塞室50。另外，图中另显示有一活塞体3，其径向小于气缸体5的 活塞室50，故彼此预留一径向间隙d可容许些微径向裕度的径向位移。其中，活塞体3包括 有一固定件30、一外环面31、一挡止部311、一凸环312、及一气封环34。而气封环34是径 向大于气缸体5的活塞室50，且套设于外环面31上且固定于挡止部311与凸环312之间， 又一体容置于该气缸体5的活塞室50内作轴向滑移。在本实施例中，气封环34的材质较佳为具弹性的橡胶或其他等效的材质，其除具 气密效果外，更因气缸体5的活塞室50与活塞体3间的径向间隙d而产生径向弹性的复位 功效。此外，当活塞体3的挡止部311轴向向上对应顶抵于气缸体5的顶板501，此时气封 环34、活塞体3、及底座2间形成有一气室54，并通过底座2的气体流道21提供高压气体， 以产生轴向的向上提升力，而具有轴向缓冲的功效，且可通过高压气体的压力大小的改变， 以轻易的进行调整缓冲力的大小。再且，图中也显示有一浮动座7，其是通过气缸体5的中央通孔51以对应固定组设 于活塞体3的固定件30上。其主要通过连结件，在本实施例中为一螺杆8，而活塞体3的固 定件30为一内螺孔，且浮动座7具一中央穿孔71。其中，螺杆8是穿经浮动座7的中央穿 孔71、及气缸体5的中央通孔51对应螺固于活塞体3的内螺孔内，以固定浮动座7于活塞 体3上，使浮动座7得以随活塞体3轴向浮动缓冲或径向微动复位。然而，在本实施例中，更具有另外一辅助轴向导引的功能，其主要通过气缸体5近 外环部位设有三个导引孔52，而浮动座7具有三个导引轴孔72、三个轴向导柱6、及三个线 性衬套61。其中，三个线性衬套61是分别套设于三个轴向导柱6 —端上并分别组设于三个 导引轴孔72内。而三个轴向导柱6的另一端则分别对应插设于气缸体5的导引孔52内并 可相对轴向滑移，且每一轴向导柱6是径向小于导引孔52，故彼此预留另一径向间隙g可容 许些微径向裕度的位移。并且，在本实施例中导引孔52内所预留的径向间隙g是恰等于上 述活塞室50与活塞体3间的径向间隙d。因此，本实施例的轴向导柱6与导引孔72可提供 轴向缓冲导引功能，且因轴向导柱6与导引孔72间留有径向裕度故可提供径向缓冲位移的 功能。上述实施例仅是为了方便说明而举例而已，本发明所主张的权利范围自应以权利 要求书的保护范围所述为准，而非仅限于上述实施例。
权利要求
一种电子元件测试座的浮动缓冲机构，其特征在于，包括一底座，开设有一气体流道，该气体流道包括有一进气口、及一出气口；一气缸体，包括有一活塞室、一顶板、及一中央通孔，该气缸体气密式地组设于该底座上，该活塞室对应连通到该底座的该出气口，该中央通孔开设于该顶板上并连通至该活塞室；一活塞体，小于该气缸体的该活塞室，该活塞体包括有一固定件、一外环面、一挡止部、及一气封环，该气封环是大于该气缸体的该活塞室，该气封环套设于该外环面上并一体容置于该气缸体的该活塞室内作轴向滑移，该挡止部并轴向对应顶抵于该气缸体的该顶板；以及一浮动座，包括有一连结件，该连结件通过该气缸体的该中央通孔以对应固定组设于该活塞体的该固定件上。
2.如权利要求1所述的电子元件测试座的浮动缓冲机构，其特征在于，所述气缸体还 包括有至少一导引孔，该浮动座还包括有至少一轴向导柱，该至少一轴向导柱对应插设于 该气缸体的该至少一导引孔内并可相对轴向滑移，该至少一轴向导柱是小于该至少一导引 孔。
3.如权利要求2所述的电子元件测试座的浮动缓冲机构，其特征在于，所述浮动座还 包括有至少一导引轴孔、及至少一线性衬套，该至少一线性衬套是套设于该至少一轴向导 柱外，该至少一线性衬套并组设于该至少一导引轴孔内。
4.如权利要求1所述的电子元件测试座的浮动缓冲机构，其特征在于，还包括有一0形 环，该气缸体的下端面还开设有一气封槽，该0形环容置于该气封槽内并气密贴附该底座 上。
5.如权利要求1所述的电子元件测试座的浮动缓冲机构，其特征在于，所述浮动座的 该连结件是一螺杆，该活塞体的该固定件为一内螺孔，该螺杆通过该气缸体的该中央通孔 对应螺固于该活塞体的该内螺孔内。
6.如权利要求1所述的电子元件测试座的浮动缓冲机构，其特征在于，所述底座还包 括有至少一定位柱，该气缸体还包括有至少一定位孔，该至少一定位柱对应插设定位于该 气缸体的该至少一定位孔内。
7.如权利要求1所述的电子元件测试座的浮动缓冲机构，其特征在于，还包括有至少 一锁固螺栓，该底座还包括有至少一锁固穿孔，该气缸体还包括有至少一锁固螺孔，该至少 一锁固螺栓穿经该底座的该至少一锁固穿孔对应螺固于该气缸体的该至少一锁固螺孔内。
全文摘要
本发明公开了一种电子元件测试座的浮动缓冲机构，包括有一底座、一气缸体、一活塞体、以及一浮动座。本发明将一气封环套设于活塞体外并一体容置于气缸体的活塞室内可作轴向滑移，另将浮动座锁固于活塞体上。由于活塞体是径向小于气缸体的活塞室，故可容许些微径向裕度的位移。另外，气封环则是径向大于气缸体的活塞室，故可产生径向微动弹性复位的功效。因此，当通过底座的气体流道通以高压气体至活塞室时，将推动活塞体上的浮动座产生轴向滑移，并具径向弹性复位等浮动缓冲效果。
文档编号G01D11/00GK101893458SQ20091020305
公开日2010年11月24日 申请日期2009年5月19日 优先权日2009年5月19日
发明者吴国荣, 詹勋亮, 陈峰杰 申请人:京元电子股份有限公司