专利名称：拉压式固支梁力传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及力传感器的结构设计，尤其是拉压式固支梁力传感器的结构设计。
技术背景 现今市场上，拉压式力传感器一般为S型测力传感器和圆膜式传感器，S型精度较 高，但高度尺寸比较大，不能满足一些对高度有限制的场合需求，圆膜式传感器，尺寸小，高 度也较小，但精度较低。
发明内容 本实用新型的目的在于提供一种体积小，精度较高的拉压式固支梁力传感器。
它包括一个顶部和底部中心对称设有凸起硬中心的方形弹性体；方形弹性体内设 置沟槽；沟槽内设置电阻应变感应元件。 方形弹性体上部凸起硬中心的周围也设置有电阻应变感应元件。 沟槽可以是方型的，也可以是哑呤型的。 本实用新型尺寸小，能满足对力传感器高度有限制的用户需求，通过硬中心加工 凹或凸螺纹，可以做成拉压两用式力传感器。精度高，对安装要求小，力点位置变化造成误 差小。在固支梁上表面装电阻应变敏感元件，可以通过控制沟槽的间隙大小，当只测量压力 时，可以对传感器起到过载保护作用。
附图1是本实用新型实施例1的主视剖面图； 附图2是本实用新型实施例2的主视剖面图； 附图3是本实用新型实施例1的仰视图； 附图4是本实用新型实施例2的仰视图。
具体实施方式
在一个顶部和底部中心对称设有凸起硬中心(3)的方形弹性体(1)内设置沟槽 (4);沟槽(4)内设置电阻应变感应元件(2)。方形弹性体(1)上部凸起硬中心(3)的周围 也设置有电阻应变感应元件(2)。沟槽(4)可以是方型的，也可以是哑呤型的。 实施例1的沟槽(4)是方型的。实施例2的沟槽(4)是鹏呤型的。利用带硬中心 (3)两端固支梁的中心受力变形原理，在方形弹性体(1)内切割沟槽(4)，使之形成带硬中 心(3)的固支梁，然后在固支梁的上表面或下表面通过工艺装上电阻应变感应元件(2)，如 金属应变计、半导体应变计以及硅阻压阻等，将电阻应变感应元件(2)连成标准力传感器 桥路，当施加力到传感器硬中心(3)时，拉压式固支梁力传感器的固支梁两端产生相反的 形变，此时装在两端的电阻应变感应元件(2)电阻产生相反的大小变化，通过桥路将电阻
3变化转化成电压信号变化，而电压信号变化与施加力的大小成线性关系，达到检测力值的 作用。
权利要求一种拉压式固支梁力传感器，它包括一个顶部和底部中心对称设有凸起硬中心的方形弹性体，其特征在于方形弹性体内设置沟槽；沟槽内设置电阻应变感应元件。
2. 如权利要求1所述的拉压式固支梁力传感器，其特征在于方形弹性体上部凸起硬 中心的周围也设置有电阻应变感应元件。
3. 如权利要求l所述的拉压式固支梁力传感器，其特征在于沟槽可以是方型的，也可 以是哑呤型的。
专利摘要本实用新型拉压式固支梁力传感器涉及力传感器的结构设计，尤其是拉压式固支梁力传感器的结构设计；它包括一个顶部和底部中心对称设有凸起硬中心的方形弹性体；方形弹性体内设置沟槽；沟槽内设置电阻应变感应元件；方形弹性体上部凸起硬中心的周围也设置有电阻应变感应元件；沟槽可以是方型的，也可以是哑铃型的；本实用新型尺寸小，能满足对力传感器高度有限制的用户需求，通过硬中心加工凹或凸螺纹，可以做成拉压两用式力传感器；精度高，对安装要求小，力点位置变化造成误差小；在固支梁上表面装电阻应变敏感元件，可以通过控制沟槽的间隙大小，当只测量压力时，可以对传感器起到过载保护作用。
文档编号G01L1/22GK201464094SQ20092013343
公开日2010年5月12日 申请日期2009年7月7日 优先权日2009年7月7日
发明者曹勤华 申请人:曹勤华