专利名称：一种滤光流量计的制作方法
技术领域：
本发明涉及管道流量计，特别涉及一种滤光流量计。
背景技术：
在半导体制造过程中，很多工艺过程都需要用到水。为了控制水流的流量，通常 需要在水流管道上设置流量计来监测水流流量。现有技术的流量计如图1所示，包括外壳 101、测量腔102、测量浮子103、浮子固定轴104和电磁传感器105，所述测量腔102设置于 所述外壳101内，用于通过被测液体，所述测量腔102的一端设置有液体入口，另一端设置 有液体出口，所述外壳101的两端也相应设置有与所述测量腔102上的液体入口和出口相 连通的液体出入口。所述浮子固定轴104安装于所述测量腔102内，所述测量浮子103安 装于所述浮子固定轴104上并可沿所述浮子固定轴104自由滑动。所述电磁传感器105安 装于所述测量腔102外的外壳101内壁上，所述外壳101上沿所述测量腔102的长度方向 具有一中空开口 106，所述电磁传感器105通过旋转螺丝107固定于所述开口 106上，松动 所述旋转螺丝107后，所述电磁传感器105可沿所述开口 106移动。所述测量腔壁上标有 表明液体流量的刻度，所述电磁传感器105上也标有对准刻度，用于对准所述测量腔壁上 的刻度。使用时，水流进入所述测量腔102内，水流冲击所述测量浮子103沿所述浮子固定 轴104移动，所述测量浮子103的顶端所对齐的所述测量腔壁上的刻度表明了水流的实时 流量。所述电磁传感器105用于设定水流流量的最低值，将所述电磁传感器105移动固定 至所述测量腔壁刻度上表明该最低流量的刻度位置，并使所述电磁传感器105上的对准刻 度与该刻度对齐。当水流的流量减少，所述测量浮子103到达所述电磁传感器105的位置 时，所述电磁传感器105感测到所述测量浮子103，进而发生报警。为保证从外部可清晰的 看见所述测量腔壁和所述电磁传感器105上的刻度，现有技术中，所述测量腔102、电磁传 感器105和所述外壳101上用于观察所述测量腔102和所述电磁传感器105的面均采用透 明的亚克力材质制作。在半导体的某些工艺过程中需要离子水、超纯水等非常纯净的水对芯片进行清 洗，但在有些工艺过程中只需要普通的水源就可以了。但普通水源中有时会含有绿藻等浮 游物，当普通水源通过上述流量计的测量腔102时，光照会通过流量计上透明亚克力部分 照射到所述测量腔102内的水流上，引起水流中的绿藻等浮游物发生光合反应生成有机 物。当流量计使用时间较长时，测量腔102内的有机物会累积地越来越多，最终会影响到测 量浮子103的自由移动，严重的会堵塞测量腔102的液体入口和出口，使流量计的测量结果 失真，造成需通入水流的机台停机。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种滤光流量计，以解决现有技术的流量计测量 腔内受到光照后会引起通过测量腔的水流中的浮游物发生光合反应生成有机物，生成的有 机物使流量计的流量测量结果失真的问题。
为解决上述技术问题，本发明提供一种滤光流量计，包括外壳、测量腔、测量浮 子、浮子固定轴和电磁传感器；所述测量腔设置于所述外壳内，用于通过被测液体，所述测 量腔的一端设置有液体入口，另一端设置有液体出口，所述外壳的两端也相应设置有与所 述测量腔上的液体入口和出口相连通的液体入口和出口 ；所述浮子固定轴安装于所述测量 腔内、所述测量腔液体入口和出口之间，所述测量浮子安装于所述浮子固定轴上并可沿所 述浮子固定轴自由滑动；所述电磁传感器安装于所述测量腔外的外壳内壁上，可沿所述测 量腔的长度方向移动并固定于一个特定位置；所述测量腔壁上标有表明液体流量的刻度， 所述电磁传感器上也标有对准刻度，用于对准所述测量腔壁上的刻度，所述测量腔、电磁传 感器和所述外壳上用于观察所述测量腔和所述电磁传感器的面均采用透明的亚克力材料， 在所述外壳上具有透明亚克力材料的部分上还固定有与透明亚克力材料等面积的黄色滤 光片。可选的，所述外壳上，沿所述测量腔的长度方向具有一中空开口，所述电磁传感器 通过旋转螺丝固定于所述开口上，松动所述旋转螺丝后，所述电磁传感器可沿所述开口移 动。可选的，所述黄色滤光片使可见光中波长为470-600纳米的黄光完全透过。可选的，所述测量腔的液体入口和出口上还固定有一浮子挡垫，所述浮子挡垫上 具有可使液体通过的孔洞，所述孔洞的直径小于所述测量浮子的直径。可选的，还在所述浮子挡垫上再设置一垫圈，以使所述测量腔更稳固的固定于所 述外壳内。可选的，在所述外壳液体入口或出口设置流量控制阀，通过所述流量控制阀调节 通入或流出所述测量腔的液体流量。采用本发明提供的滤光流量计可从根本上解决普通水源通过测量腔时会发生光 合反应生成有机物的问题，避免了流量计因测量腔内生成的有机物的堆积而产生测量结果 失真。同时由于所述黄色滤光片也是透明的，其固定于所述外壳上不会影响从流量计外部 观察所述测量腔壁和所述电磁传感器上的刻度。
图1为现有技术的流量计的结构示意图；图2为本发明的流量计的结构示意图；图3为本发明的流量计测量腔内部结构分解图。
具体实施例方式为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明 的具体实施方式
做详细的说明。本发明所述的滤光流量计可利用多种替换方式实现，下面是通过较佳的实施例来 加以说明，当然本发明并不局限于该具体实施例，本领域内的普通技术人员所熟知的一般 的替换无疑涵盖在本发明的保护范围内。其次，本发明利用示意图进行了详细描述，在详述本发明实施例时，为了便于说 明，示意图不依一般比例局部放大，不应以此作为对本发明的限定。
请参看图2，图2为本发明的流量计的结构示意图。如图2所示，本发明的流量计 包括外壳201、测量腔202、测量浮子203、浮子固定轴204和电磁传感器205。所述测量腔 202设置于所述外壳201内，用于通过被测液体，所述测量腔202的一端设置有液体入口，另 一端设置有液体出口，所述外壳201的两端也相应设置有与所述测量腔202上的液体入口 和出口相连通的液体入口和出口。所述浮子固定轴204安装于所述测量腔202内、所述测量 腔液体入口和出口之间，所述测量浮子203安装于所述浮子固定轴204上并可沿所述浮子 固定轴204自由滑动。所述电磁传感器205安装于所述测量腔202外的外壳201内壁上， 所述外壳201上沿所述测量腔202的长度方向具有一中空开口 206，所述电磁传感器205通 过旋转螺丝207固定于所述开口 206上，松动所述旋转螺丝207后，所述电磁传感器205可 沿所述开口 206移动。所述测量腔壁上标有表明液体流量的刻度，所述电磁传感器205上 也标有对准刻度，用于对准所述测量腔壁上的刻度。请参看图3，图3为本发明的流量计测量腔内部结构分解图。如图3所示，为保证 所述测量浮子203沿所述浮子固定轴204移动时不会从所述测量腔202的液体出入口中滑 出，所述测量腔202的液体出入口上还固定有一浮子挡垫208，所述浮子挡垫208上具有可 使液体通过的孔洞209，但所述孔洞209的直径小于所述测量浮子203的直径，从而使得所 述测量浮子203不会从所述测量腔202的液体出入口中滑出。更加优选的，还可在所述浮 子挡垫208上再设置一垫圈210，以使所述测量腔202更稳固的固定于所述外壳201内。使用时，水流进入所述测量腔202内，水流冲击所述测量浮子203沿所述浮子固定 轴204移动，所述测量浮子203的顶端所对齐的所述测量腔壁上的刻度表明了水流的实时 流量。所述电磁传感器205用于设定水流流量的最低值，将所述电磁传感器205移动固定 至所述测量腔壁刻度上表明该最低流量的刻度位置，并使所述电磁传感器205上的对准刻 度与该刻度对齐。当水流的流量减少，所述测量浮子203到达所述电磁传感器205的位置 时，所述电磁传感器205感测到所述测量浮子203，进而发生报警。请参看图2，还可进一步在所述外壳201液体入口或出口设置流量控制阀211，通 过所述流量控制阀211调节通入所述测量腔202的水流流量。为保证从外部可清晰的看见所述测量腔壁和所述电磁传感器205上的刻度，所述 测量腔202、电磁传感器205和所述外壳201上用于观察所述测量腔202和所述电磁传感器 205的面均采用透明的亚克力材料制作。为解决背景技术中提到的普通水源通过所述测量腔202时，光照会通过流量计上 透明亚克力部分照射到所述测量腔202内的水流上，引起普通水源中存在的绿藻等浮游物 发生光合反应生成有机物的问题，本发明的流量计还在所述外壳201上具有透明亚克力材 料的部分上还固定有与透明亚克力材料等面积的黄色滤光片(图中未示)。所述黄色滤光 片可固定于所述外壳201内壁或外壁均可。可见光由红、橙、黄、绿、青、蓝、紫七色光组成， 其波长依次减小，频率依次增加。通常促使植物中的叶绿体发生光合反应的光是可见光中 的红橙光(波长为600-760纳米)和蓝紫光(波长为390-470纳米)。可见光照射所述黄色 滤光片时，波长为470-600纳米的黄光会完全透过，与黄光波长相邻的橙光和绿光会少量 透过，而红光和蓝紫光就几乎不能透过了。这样，当可见光照射本发明流量计的测量腔202 时，由于可引起光合作用的光被过滤掉了，因此，可从根本上解决普通水源通过测量腔202 时会发生光合反应生成有机物的问题。同时由于所述黄色滤光片也是透明的，其固定于所述外壳201上不会影响从流量计外部观察所述测量腔壁和所述电磁传感器205上的刻度。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精 神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围 之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求
1.一种滤光流量计，包括外壳、测量腔、测量浮子、浮子固定轴和电磁传感器；所述测 量腔设置于所述外壳内，用于通过被测液体，所述测量腔的一端设置有液体入口，另一端设 置有液体出口，所述外壳的两端也相应设置有与所述测量腔上的液体入口和出口相连通的 液体入口和出口 ；所述浮子固定轴安装于所述测量腔内、所述测量腔液体入口和出口之间， 所述测量浮子安装于所述浮子固定轴上并可沿所述浮子固定轴自由滑动；所述电磁传感器 安装于所述测量腔外的外壳内壁上，可沿所述测量腔的长度方向移动并固定于一个特定位 置；所述测量腔壁上标有表明液体流量的刻度，所述电磁传感器上也标有对准刻度，用于对 准所述测量腔壁上的刻度，所述测量腔、电磁传感器和所述外壳上用于观察所述测量腔和 所述电磁传感器的面均采用透明的亚克力材料，其特征在于，在所述外壳上具有透明亚克 力材料的部分上还固定有与透明亚克力材料等面积的黄色滤光片。
2.如权利要求1所述的滤光流量计，其特征在于，所述外壳上，沿所述测量腔的长度方 向具有一中空开口，所述电磁传感器通过旋转螺丝固定于所述开口上，松动所述旋转螺丝 后，所述电磁传感器可沿所述开口移动。
3.如权利要求1所述的滤光流量计，其特征在于，所述测量腔的液体入口和出口上还 固定有一浮子挡垫，所述浮子挡垫上具有可使液体通过的孔洞，所述孔洞的直径小于所述 测量浮子的直径。
4.如权利要求3所述的滤光流量计，其特征在于，还在所述浮子挡垫上再设置一垫圈， 以使所述测量腔更稳固的固定于所述外壳内。
5.如权利要求1所述的滤光流量计，其特征在于，在所述外壳液体入口或出口设置流 量控制阀，通过所述流量控制阀调节通入或流出所述测量腔的液体流量。
6.如权利要求1至5任一权利要求所述的滤光流量计，其特征在于，所述黄色滤光片使 可见光中波长为470-600纳米的黄光完全透过。
全文摘要
本发明提供一种滤光流量计，包括外壳、测量腔、测量浮子、浮子固定轴和电磁传感器，在所述外壳上具有透明亚克力材料的部分上还固定有与透明亚克力材料等面积的黄色滤光片。本发明提供的滤光流量计可从根本上解决普通水源通过测量腔时会发生光合反应生成有机物的问题，避免了流量计因测量腔内生成的有机物的堆积而产生测量结果失真。同时由于所述黄色滤光片也是透明的，其固定于所述外壳上不会影响从流量计外部观察所述测量腔壁和所述电磁传感器上的刻度。
文档编号G01F1/52GK102141419SQ201010102410
公开日2011年8月3日 申请日期2010年1月28日 优先权日2010年1月28日
发明者俞小丰, 徐皓, 沈建飞, 陈腾宏 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司