专利名称：环境洁净度监控装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种对环境洁净度进行监控的装置，尤其是能够对环 境洁净度进行在线多种参数的实时监控，其不仅能对室内环境洁净度进行实时监控，还能 对环境的温度、湿度、照度、压差、风速、氧气浓度等参数进行实时监控。
背景技术：
就微电子生产来说，随着集成电路的集成度不断提高，特征线宽尺寸 越来越小，加工越来越精细，被污染的机率就越来越高，对工艺环境参数要求也远远高于其 他领域，因而研制工艺环境参数实时监测系统成了市场上的迫切需求。目前国外只有美国 PMS公司具有类似实时监控系统，且只能对生产环境的洁净度进行实时监控。国内也只有一 两家企业有类似的产品，但其产品也只能对生产环境的洁净度进行监控，不能同时对多种 参数进行实时监控。发明内容本实用新型的目的，即在于提供一种不仅能达到对室内洁净度进行实 时监控，还能对环境的温度、湿度、照度、风速、氧气浓度区参数进行实时监控。且将产品内 部结构进行微型化技术处理的环境洁净度监控装置。本实用新型的目的是通过下述的技术方案来实现的一种环境洁净度监控装置，其特征在于所述的装置包括空气采样检测部分和系 统自净部分，所述的空气采样检测部分与系统自净部分通过管道相连。所述的空气采样检测部分包括高压模块、传感器、采样头、空气泵以及控制电路， 采样头的底部与传感器的进气嘴相连，采样头的底部与传感器的进气嘴连接处通过管道连 接到空气泵的进口端；高压模块连接到传感器上的倍增管；所述的控制电路的输入端与高 压模块连接。所述的系统自净部分包括过滤消音器，该过滤消音器通过管道与所述的空气泵相 连。所述的管道是软管。所述的采样头是等速采样头。所述的传感器是光电传感器。 本实用新型的装置通过采样头对室内空气进行采样，装置内的空气泵将需要检测 的空气样本抽入，通过传感器分析检测出样品中尘埃的粒径、数目，环境的温度、湿度、照度 等数据，再将检测出来的数据通过控制电路上的AD模块转换成电信号，用RS485的能讯方 式将信号传送给电脑，最后在上位机上用专用程序将这些信号接收过来并重新整合显示在 界面上供用户查看，这些检测到的数据同时会存储在上位机的数据库里供用户查询、监控。本实用新型的装置内部结构简单、体积小、外型美观，不仅能对室内洁净度进行实 时监控，还能对环境的温度、湿度、照度、风速、氧气浓度区参数进行实时监控。
图1是本实用新型结构示意图；图2是本实用新型控制电路原理框图。附图标记说明⑴高压模块⑵传感器
3[0018]⑶采样头(4)过滤消音器(5)空气泵(6)底座(7)电路板具体实施方式
有关于本实用新型所采用之技术、手段及其达成功效，特举较佳 实施例并配合图示详细说明如下，相信当可由之得深入而具体的了解。图1所示是本实用新型结构示意图，高压模块1、传感器2、采样头3、过滤消音器 4、空气泵5以及安装控制电路的电路板7分别安装在底座6上。采样头3采用等速采样头， 采样头3装配在最顶端，其下面是传感器3，再下面是空气泵5，采样头3的底部与传感器2 的进气嘴相连，采样头3的底部与传感器2的进气嘴连接处通过管道连接到空气泵5的进 口端。高压模块1连接到传感器2的倍增管，给倍增管提供一个高压，使倍增管能够正常工 作。空气泵5将空气从采样头3抽进传感器2，由传感器2对抽进来的空气进行分析，从而 测出空气中尘埃粒子的数目。空气泵5采用2. 83L/MIN的，空气泵5有一软管作成的管道 连接到空气泵5的进口端，这些部件构成了空气采样检测部分。传感器2为光电传感器，选用要求为标准粒子误差准确度彡15%，离散度 彡15%，重复性彡5%。空气泵5的出口端连接一根软的管道到过滤消音器4，这是系统自净部分的装配。 为了使采样样本更精确、检测的数据更准确，在系统进行空气采样前，由过滤消音器4先将 空气泵5中的空气进行空气自净过滤后，再进行空气样本的采样，本实施例中，过滤消音器 4的过滤粒径达到0. 2微米。高压模块1型号选用CC228-01Y，其作用是为传感器2中的激光倍增管提供高电压 的工作电压。图2是本实用新型控制电路原理框图，控制电路的输入端与高压模块1相连，采用 由半导体激光器发出的激光光源，该半导体激光器具有体积小、稳定性高、寿命长等特点， 常与检测腔及光检测器做成一体，组成传感器。从半导体激光器中发出一束激光，将采样空 气从这束激光中通过，当空气中的尘埃粒子通过激光的光束时，激光束就会发生散射，形成 光脉冲信号。这个光脉冲信号的强度会随着尘埃粒子表面积的变化而变化，再通过光电接 收器将这个光脉冲信号接收过来转换成电信号。从光电接收器出来的电信号被送入前置放 大器进行初步放大，之后再将这个初步放大过的电信号送入主放大器再次放大。放大后的 电信号随后进入比较器，在比较器里这些信号将与一些特定的值相比较，从而分辨出这些 信号的强弱。比较器会根据信号强弱的程度将这些信号转换成不同的数字信号送入计数电 路中，计数电路根据不同的数字信号分别进行累加计数，累加后的结果送入中央处理器。中 央处理器将这些数据转换成RS-485信号上传至电脑，由电脑将这些信号接收过来并转换 成对应的数据在电脑上实现显示、存储、控制等功能。本装置通过采样头3对室内空气进行采样，在采样头3采取到空气样本后，由空气 泵5将空气样本抽入，在空气样本被空气泵5抽入时，空气样本经过传感器2，由传感器2中 的激光增倍管将空气样本进行放大后，再检测出空气样本中尘埃粒子的粒径、数量、环境的 温度、湿度、照度等数据后，检测数据通过控制电路中的通信模块转换成电信号，由中央处
4理器对数据进行处理后上传电脑，最后在电脑上将这些信号接收过来并重新整合显示在界 面上供用户查看，这些检测到的数据同时会存储在电脑的数据库里供用户查询、监控。
权利要求一种环境洁净度监控装置，其特征在于所述的装置包括空气采样检测部分和系统自净部分，所述的空气采样检测部分与系统自净部分通过管道相连。
2.根据权利要求1所述的环境洁净度监控装置，其特征在于所述的空气采样检测部 分包括高压模块(1)、传感器(2)、采样头(3)、空气泵(5)以及控制电路，采样头(3)的底部 与传感器(2)的进气嘴相连，采样头(3)的底部与传感器(2)的进气嘴连接处通过管道连 接到空气泵(5)的进口端；高压模块⑴连接到传感器(2)上的倍增管；所述的控制电路的 输入端与高压模块(1)连接；所述的系统自净部分包括过滤消音器(4)，该过滤消音器(4) 通过管道与所述的空气泵(5)相连。
3.根据权利要求1或2所述的环境洁净度监控装置，其特征在于所述的管道是软管。
4.根据权利要求2所述的环境洁净度监控装置，其特征在于所述的采样头(3)是等 速采样头。
5.根据权利要求2所述的环境洁净度监控装置，其特征在于所述的传感器(2)是光 电传感器。
专利摘要本实用新型公开了一种环境洁净度监控装置，其特征在于所述的装置包括空气采样检测部分和系统自净部分，所述的空气采样检测部分与系统自净部分通过管道相连。本实用新型的装置内部结构简单、体积小、外型美观，不仅能对室内洁净度进行实时监控，还能对环境的温度、湿度、照度、风速、氧气浓度区参数进行实时监控。
文档编号G01N1/24GK201673161SQ20102011456
公开日2010年12月15日 申请日期2010年2月4日 优先权日2010年2月4日
发明者吴俊民, 孙永祺 申请人:苏州尚科洁净技术有限公司