专利名称：高合成像素滤光组合镜头玻璃基片平面度检测仪的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及检测领域，特别是涉及一种高合成像素滤光组合镜头玻璃基片平面度检测仪。
背景技术：
随着高合成像素滤光组合镜头的广泛使用，高合成像素滤光组合镜头玻璃基片 (即用于制造高合成像素滤光组合镜头的玻璃基片)的应用也越来越大，高合成像素滤光组合镜头玻璃基片的质量指标对生产出的高合成像素滤光组合镜头的应用十分重要，直接影响到应用镜头的各种产品的使用效果。所述高合成像素滤光组合镜头玻璃基片为超薄易变形的玻璃基片，在这些超高质量表面要求的玻璃基片的生产过程中，需要对这些产品的各类尺寸误差进行全面检测。在以往的平面度检测测试中，通常使用“激光平面干涉仪”，例如是中科院光机所制造的PG15-J4型激光平面干涉仪来测量光圈，利用该仪器来测量光圈虽然精度高达 0.2 0.3微米。但是，利用该仪器测量具有以下几个缺点首先，对于大规模生产来说，使用该仪器测量非常不便，影响生产效率，特别是在研磨阶段，毛面不能检测；另外，对于大面积大尺寸和超薄型的玻璃基片来说，由于光圈变形无法数清楚，测量十分困难，并且也无法实行数字化直读，影响了工作效率。
实用新型内容本实用新型提供一种高合成像素滤光组合镜头玻璃基片平面度检测仪，以解决现有的问题。为解决上述技术问题，本实用新型提供一种高合成像素滤光组合镜头玻璃基片平面度检测仪，包括三角形工作台面；设置于所述三角形工作台面上的三个圆座，每个圆座上设置有一个可转动的球体，在所述三角形工作台面的边缘位置分别均布一组小滚珠轴承连固定座；以及设置于所述三角形工作台面的中心位置孔下方的千分表。进一步地，在所述的高合成像素滤光组合镜头玻璃基片平面度检测仪中，所述可转动的球体是可转动的钢球。进一步地，在所述的高合成像素滤光组合镜头玻璃基片平面度检测仪中，所述圆座为分级调整圆座。与现有技术相比，本实用新型提供的高合成像素滤光组合镜头玻璃基片平面度检测仪采用了三角形工作台面，并在三角形工作台面设置三个圆座，每个圆座上设置有一个可转动的球体，在所述三角形工作台面的边缘三角位置分别均布一组小滚珠轴承连固定座，再通过千分表来读数，克服了高合成像素滤光组合镜头玻璃基片由于玻璃自重而产生的变形影响测量精度的不利因素，提高了测量精度，操作方便，检查直观，工作效率高。
[0009]图1为本实用新型一实施例的高合成像素滤光组合镜头玻璃基片平面度检测仪的主视图；图2为本图1中虚线圈处的放大图；图3为本实用新型一实施例的高合成像素滤光组合镜头玻璃基片平面度检测仪的俯视图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。请参考图1、图2和图3，其中，图1为本实用新型一实施例的高合成像素滤光组合镜头玻璃基片平面度检测仪的主视图，图2为本图1中虚线圈处的放大图，图3为本实用新型一实施例的高合成像素滤光组合镜头玻璃基片平面度检测仪的俯视图。本实用新型实施例的高合成像素滤光组合镜头玻璃基片平面度检测仪100包括 三角形工作台面30 ；设置于所述三角形工作台面30上的三个圆座10，每个圆座10上设置有一个可转动的球体110，在所述三角形工作台面30的边缘三角位置分别均布一组小滚珠轴承连固定座20 ；以及设置于所述三角形工作台面30的中心位置孔下方的千分表40。其中，所述圆座10为分级调整圆座，S卩，所述圆座10可以分级调整，与其相对应的小滚珠轴承连固定座20也可作分级调整，所述级例如是2或3或4。在本实施例中，所述可转动的球体110例如是可转动的钢球。本实用新型利用三点决定一个平面的原理，设置有三角形工作台面30，其上分布三个圆座10，每个圆座10上分别安放可转动的球体110(使待检测的玻璃基片成点接触定位)，并且三个圆座10的相对距离是可以分级调整的，以适应不同直径大小的高合成像素滤光组合镜头玻璃基片50的测量要求。另外，在三角形工作台面30的边缘三角位置，分别均布一组小滚珠轴承连固定座 20，其可起到旋转测量的靠山作用，三组小滚珠轴承连接固定座20的相对位置也可以是分级调整的，以适应不同直径的高合成像素滤光组合镜头玻璃基片50的测量要求。在三角形工作台面30的中心位置孔下方安置一台千分表(精度例如是1微米)， 利用标准平面样板(平面度例如是0. 5微米)，校准零位后放上被测工件(待测的高合成像素滤光组合镜头玻璃基片50)，转动高合成像素滤光组合镜头玻璃基片50便可测量它的平面度，千分表读数直观、方便，非常实用。测量不同直径的合成像素滤光组合镜头玻璃基片50时，可以将被测工件搁置在三个可转动的球体110上，边缘分别靠在相应的小滚珠轴承连固定座20上，被测工件灵活转动，可按不同直径大小分别采用三组可转动的球体110。综上所述，本实用新型提供一种高合成像素滤光组合镜头玻璃基片平面度检测仪，利用三点决定一个平面的原理，采用了三角形工作台面30，并在三角形工作台面30设置三个圆座10，每个圆座10上设置有一个可转动的球体110，在所述三角形工作台面30的边缘三角位置分别均布一组小滚珠轴承连固定座20，再通过千分表40来读数，克服了高合成像素滤光组合镜头玻璃基片由于玻璃自重而产生的变形影响测量精度的不利因素，使测量精度大大提高(可以达到0. OOlmm)，不仅操作方便，检查直观，而且工作效率高，十几秒钟即可从千分表中读出数值。 显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种高合成像素滤光组合镜头玻璃基片平面度检测仪，其特征在于，包括 三角形工作台面；设置于三角形工作台面上的三个圆座，每个圆座上设置有一个可转动的球体，在三角形工作台面的边缘位置分别均布一组小滚珠轴承连固定座；以及设置于所述三角形工作台面的中心位置孔下方的千分表。
2.如权利要求1所述的高合成像素滤光组合镜头玻璃基片平面度检测仪，其特征在于，所述可转动的球体是可转动的钢球。
3.如权利要求1所述的高合成像素滤光组合镜头玻璃基片平面度检测仪，其特征在于，所述圆座为分级调整圆座。
专利摘要本实用新型公开了一种高合成像素滤光组合镜头玻璃基片平面度检测仪，所述高合成像素滤光组合镜头玻璃基片平面度检测仪包括三角形工作台面；设置于所述三角形工作台面上的三个圆座，每个圆座上设置有一个可转动的球体，在所述三角形工作台面的边缘位置分别均布一组小滚珠轴承连固定座；设置于所述三角形工作台面的中心位置孔下方的千分表。本实用新型克服了高合成像素滤光组合镜头玻璃基片由于玻璃自重而产生的变形影响测量精度的不利因素，提高了测量精度，操作方便，检查直观，工作效率高。
文档编号G01B5/28GK202304729SQ20112026502
公开日2012年7月4日 申请日期2011年7月25日 优先权日2011年7月25日
发明者应永伟 申请人:上海申菲激光光学系统有限公司