专利名称：传感器器件的制作方法
技术领域：
本发明涉及传感器器件，尤其涉及适合在检测角速度及加速度的传感器元件的检测轴的检测方向发生倾斜的情况下使用的传感器器件。
背景技术：
对于安装在汽车等车辆上的导航系统等而言，有时在电子设备基板的安装面与安装在基板上的传感器器件中搭载的传感器元件的检测轴的检测方向之间，产生角度差。在此情况下，还会对所检测的角速度及加速度的信号产生影响，从而表现为检测灵敏度下降及检测误差。以往，针对这种由角度差引起的影响，设定为利用软件方式来进行校正，但是， 在检测轴与实际的旋转轴或施加加速度的方向之间的角度差大的情况下，有时会超过软件所能校正的范围，难以对角速度及加速度进行检测。针对这样的问题，提出了如下传感器器件，即改变传感器元件相对于安装基板的安装角度，使检测轴与角速度及加速度的检测轴一致。例如，本申请人在专利文献I中提出了如下方式的传感器器件该传感器器件具有安装用引脚，该安装用引脚弯折地形成，以将内置有传感器元件的传感器部件保持为相对于安装基板倾斜的状态，并且用树脂覆盖安装在安装用引脚上的传感器部件。根据这种结构的传感器器件，能够抑制因角度差产生的检测灵敏度下降及检测误差。另外，在专利文献2中，公开了能够利用多个传感器元件来实现多轴检测的传感器器件，并示出了这样的技术通过将内置有传感器元件的传感器部件的侧面固定在基础基板上来改变传感器元件的检测轴的检测方向。根据这样的结构，能够将传感器元件的安装角度改变90°，能够应对与基础基板平行地安装的传感器元件所无法应对的方向上的角速度及加速度的检测。专利文献I日本特开2008-96420号公报专利文献2日本特开2008-51629号公报根据专利文献I所公开的传感器器件，既能使传感器器件的安装状态稳定又能使传感器元件的检测轴发生倾斜，能够降低角速度及加速度的检测方向与实际角度之间的检测误差超过软件校正范围的可能。但是，对于专利文献I所公开的传感器器件而言，由于是根据安装用引脚的弯曲状态来确定传感器元件的安装角度，因此，在安装用引脚的弯折角度发生偏差的情况下，传感器元件的安装角度也有可能发生偏差。另外，在传感器元件的倾斜角度不大的情况下，安装用引脚露出至树脂部的顶点部分，存在装卡等、移载时的处理难于进行的问题。另外，在专利文献2所公开的技术中，传感器元件的安装角度的选项仅有两项(0°或90° )，因此无法应对安装角度细化的要求。另外，需要设计并制造用于实施再配置布线的专用基础基板，存在制造成本高的问题。 而且，传感器器件还需要设置检查/写入用端子，该检查/写入用端子的目的在于制造时对传感器元件等进行检测、或者向控制传感器元件的IC写入数据等。但是存在这样的问题当检查/写入用端子采用了与安装端子同样的构造时，检查/写入用端子可能与其它电极或电子部件等误接触而发生短路。
发明内容
因此，本发明的第I目在于，提供一种能够高精度地确定传感器元件的安装面相对于传感器器件的安装面(安装基板)的角度的传感器器件。另外，本发明的第2目的在于，提供这样一种传感器器件在上述角度不大的情况下，安装用引脚的处理不复杂，能够容易地形成传感器元件的安装面的角度，不需要专用基板等。另外，本发明的第3目的在于防止检查/写入用端子与其它电极或电子部件等短路。本发明正是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，其能够作为以下方式或应用例来实现。[应用例I]一种传感器器件，该传感器器件具有传感器部件，其在封装的内部收容有具有检测轴的传感器元件，且在上述封装的端子形成面上具有多个连接端子；树脂部，其覆盖上述传感器部件；以及多个安装用引脚，该传感器器件的特征在于，上述传感器部件被配置成上述端子形成面相对于上述传感器器件的安装面倾斜或垂直的状态，沿着上述传感器部件的构成上述端子形成面的外形的边中、相对于上述安装面倾斜或垂直的一边，配置上述多个连接端子，上述多个连接端子具有多个第I连接端子，上述多个安装用引脚分别具有一端部，其通过弯折该安装用引脚的一端而形成，在上述树脂部的内部，该一端部与上述传感器部件的上述端子形成面上的上述第I连接端子以彼此的主面相对的方式连接；中间部，其从上述一端部向上述传感器器件的上述安装面延伸；以及安装端子，其通过弯折上述安装用引脚的另一端而形成，且露出到上述树脂部的外部。根据这种结构的传感器器件，能够减小安装用引脚的弯折角度偏差对安装基板与传感器元件安装面(端子形成面)之间的角度Θ造成的影响，因此能够高精度地确定角度Θ。另外，即使所设定的角度Θ不大，安装用引脚的布置也不复杂。另外，由于使用了安装用引脚，因此也不需要用于安装传感器元件的基础基板等。[应用例2]在应用例I所述的传感器器件中，其特征在于，上述传感器部件被配置成上述端子形成面与上述传感器器件的上述安装面垂直的状态，沿着上述传感器部件的构成上述端子形成面的上述外形的上述边中、与上述安装面垂直的上述一边，配置上述多个连接端子。通过采用这种结构，能够消除安装用引脚的弯折角度偏差对安装基板与传感器元件安装面(端子形成面)之间的角度Θ的影响，因此能够高精度地确定角度Θ。另外，安装用引脚的布置不复杂。
[应用例3]在应用例I或应用例2所述的传感器器件中，其特征在于，上述中间部设有角度部。通过采用这种结构，是利用安装用引脚的中间部的平面形状来确定传感器器件的倾斜(角度Θ)，因此与利用安装用引脚的弯折角度来产生角度Θ的现有技术相比，能够高精度地确定角度Θ。[应用例4]在应用例I或应用例2所述的传感器器件中，其特征在于，上述中间部的平面形状形成为圆弧状。在采用这种结构的情况下，能够通过确定安装用引脚的中间部的长度来确定角度Θ O[应用例5]在应用例I 应用例4中任意一例所述的传感器器件中，其特征在于，上述多个安装用引脚的上述另一端部的弯折方向分为上述安装用引脚的一个主面侧和另一个主面侧。通过采用这种结构，能够扩大安装面的面积。因此，能够提高传感器器件载置在安装基板等上时的稳定性。[应用例6]在应用例5所述的传感器器件中，其特征在于，上述多个安装用引脚的 上述另一端部在相邻的安装用引脚，交替向上述一个主面侧和上述另一个主面侧弯折。通过采用这种结构，能够扩大安装用引脚的另一端部的空间、即传感器器件的安装端子之间的间隔，能够防止安装端子之间的短路。[应用例7]在应用例I所述的传感器器件中，其特征在于，该传感器器件具有多个检查/写入用引脚，上述多个连接端子具有多个第2连接端子，上述多个检查/写入用引脚端子分别具有如下的一端部、中间部和另一端部该一端部与上述传感器部件的上述端子形成面上的上述第2连接端子以彼此的主面相对的方式连接，该中间部具有被引导至上述传感器部件的上述端子形成面上的部分，且跨越上述传感器部件的构成上述端子形成面的外形的边中、与相对于上述安装面倾斜或垂直的上述一边邻接的边，从上述端子形成面上延伸到上述树脂部的外部，该另一端部露出到上述树脂部的外部。通过采种这种结构，能够防止形成在另一端部上的检查/写入用端子与其它电极或电子部件等短路。
图I (A)是第I实施方式的传感器器件的正面图，⑶是其背面图。图2㈧是第I实施方式的传感器器件的右侧视图，⑶是其底视图。图3(A)是实施方式中采用的陀螺仪传感器的剖视图，(B)是其底视图。图4是示出实施方式中采用的石英振动片的结构的图。图5是示出实施方式中采用的支撑基板的结构的图。图6是示出第I实施方式的传感器器件所采用的引脚架单元的结构的图。图7是示出陀螺仪传感器与引脚架单元接合的状态的图。图8是从端子形成面侧示出与陀螺仪传感器接合的引脚架单元的图。图9是示出将与引脚架单元接合的陀螺仪传感器放入到树脂部形成用的模具中的状态的图。图10是示出树脂部形成后、框部切断前的传感器器件的状态的图。图11 (A)是示出端子形成面与安装面所成的角度Θ为O。时陀螺仪传感器的安装状态和检测轴的倾斜状态的图，(B)是示出角度Θ为90。时陀螺仪传感器的安装状态和检测轴的倾斜状态的图。
图12是示出变形例I的传感器器件的图。图13是示出第2实施方式的传感器器件的结构的图。图14是示出变形例2的传感器器件的图。图15㈧是第3实施方式的传感器器件的正面图，⑶是其背面图。图16(A)是示出使探针与检查/写入用端子接触之前的状态的图，(B)是示出接触时的状态的图。标号说明10...陀螺仪传感器，12…石英振动片，30…支撑基板,38…IC, 40…封装,41…底面，42a、42b…内部连接端子，43…台阶部，44a 44j...连接端子，46…盖，47…连接部件，50…引脚架单元，52…裸片焊盘(die pad)，54a 54j…安装用引脚，56…另一端部，58... 一端部，60···中间部，62···角度部，64···第I弯折部，68···第2弯折部，70，370···树脂部，100…陀螺仪传感器装置(传感器器件)。
具体实施例方式(第I实施方式)下面，参照附图对本发明的传感器器件的实施方式进行详细说明。此外，在以下所示的实施方式中，以陀螺仪传感器装置为例来对传感器器件进行说明，但传感器器件的方式不限于此。另外，在图I中，图I(A)是传感器器件的正面图，图I(B)是传感器器件的背面图。在图2中，图2㈧是传感器器件的右侧视图，图2(B)是传感器器件的底视图。本实施方式的传感器器件100的主要结构要素为作为传感器部件的陀螺仪传感器10、安装用引脚54 (54a 54 j)、以及树脂部70。如图3所示，陀螺仪传感器10的主要结构要素为石英振动片12、支撑基板30、IC38、封装40以及盖46。此外，在图3中，图3(A)是陀螺仪传感器的剖视图，图3 (B)是陀螺仪传感器的底视图。石英振动片12发挥检测角速度的传感器元件的作用。实施方式中的石英振动片12的具体结构如图4所示。S卩，具有基部14 ;从基部14延伸设置的一对检测臂16a、16b ;从基部14向与检测臂16a、16b垂直的方向延伸设置的连接部20 ；以及从连接部20的前端与检测臂16a、16b平行地延伸设置的两对驱动臂22a 22d。在图4所示的石英振动片12中，在各检测臂16a、16b以及各驱动臂22a 22d的前端设置有起施重作用的重量部18a、18b、24a 24d。另夕卜，在检测臂16a、16b以及驱动臂22a 22d上分别形成有作为激励电极的检测电极(未图示)和驱动电极(未图示)，并与形成在基部14上的输入输出电极(未图示)连接。此夕卜，关于检测臂16a、16b以及驱动臂22a 22d的剖面形状，可以采用所谓的H型剖面，由此来提高弯曲性，提高检测灵敏度。支撑基板30承担如下作用将石英振动片12支撑为使其从详情后述的封装40的底面41或台阶部43上悬浮的状态。其结构为图5所示的TAB基板，该TAB基板由具有挠性的导电引线36(36a 36f)和覆盖该引线36的树脂膜32构成。在支撑基板30的中心附近的树脂膜32上设有开口部34，使引线36露出。位于开口部34中的引线36为了将石英振动片12支撑为悬浮状态而弯曲成相对于支撑基板30的主面，向配置石英振动片12的一侧偏转。这里，偏转后的引线36的前端(一端)为与石英振动片12的输入输出端子连接的连接端子。另外，各引线36的另一端为与配置在详情后述的封装40的台阶部43处的内部连接端子42a连接的连接端子。IC 38是承担如下等作用等的集成电路对上述石英振动片12的驱动臂22a 22d进行控制，并且检测由石英振动片12的检测臂16a、16b得到的信号。此外，通过粘结剂等将IC 38安装在封装的底面41上。另外，形成在活动面上的连接焊盘(未图示)与配置在封装40的底面41上的内部连接端子42b通过金属引线45而电连接。封装40是收容上述石英振动片12、支撑基板30以及IC 38的箱体。在封装40的内侧形成有阶梯状的凹部。此外，可以采用具有绝缘性的陶瓷等作为结构材料。在封装40的底面41以及台阶部43上设有用于安装上述支撑基板30及IC 38的内部连接端子42a、42b。另外，在封装40的外部底面(背面)上，设有与详情后述的安装用引脚54a 54j电连接的连接端子44a 44j。此外，内部连接端子42a、42b与连接端子44a 44 j通过未图示的通孔等而电连接。
盖46是密封上述封装40的开口部的盖体。一般情况下，采用具有与封装40近似的线膨胀系数的金属(合金例如Kovar :科瓦合金)平板或玻璃(例如钠玻璃)平板等。关于封装40与盖46的接合，在盖46为金属的情况下，使用低融点金属作为连接部件47，在盖为玻璃的情况下，使用低融点玻璃作为连接部件47。在具有如上所述结构要素的陀螺仪传感器10中，将IC 38安装到封装40的底面41上，进行IC 38与内部连接端子42b之间的引线键合。接着，将石英振动片12安装到支撑基板30上，将安装着石英振动片12的支撑基板30安装到封装40的台阶部43上。此外，支撑基板30向封装40的安装可采用导电粘结剂或凸点(bump)来进行。在装上支撑基板30后，将盖46与封装40的开口部接合。盖46的接合是在真空环境中进行的，封装40的内部空间为真空。这是为了不妨碍石英振动器(振子)12的激励。安装用引脚54a 54 j承担如下作用设定并保持安装面(包含安装用引脚54a 54j与安装基板的上表面相抵接的部分的面)与陀螺仪传感器10的端子形成面所成的角度Θ (参照图11 :在图11中，图Il(A)示出了端子形成面与安装面所成的角度Θ为O。的情况，图Il(B)示出了该角度Θ为90°的情况)；以及实现陀螺仪传感器10与安装面之间的电连接。实施方式中的安装用引脚54a 54j通过如下方式构成将陀螺仪传感器10与如图6所示的引脚架单元50接合，形成详情后述的树脂部70，之后实施切断及弯折。此外，在角度Θ变大的情况下，重心G的位置变高，安装状态不稳定，但通过实施方式这样的安装用引脚54a 54j进行安装，能够扩大安装面的面积，能够实现安装状态的稳定。引脚架单元50由多个安装用引脚54a 54j、裸片焊盘52以及框部66构成。安装用引脚54a 54 j具有与陀螺仪传感器10的连接端子44a 44 j中的任意一个连接的连接部，即一端部56 ;作为陀螺仪传感器装置100的安装端子的另一端部58 ;以及位于一端部56与另一端部58之间的中间部60。中间部60承担确定安装陀螺仪传感器10的角度Θ的作用，在实施方式中，以一端部56的延伸方向与另一端部58的延伸方向所成的角度为90°的方式，形成角度部62。另外，在实施方式的引脚架单元50中，另一端部58的前端侧与框部66连接,利用框部66 —体地形成多个安装用引脚54a 54j。裸片焊盘52承担这样的作用该裸片焊盘52作为安装用引脚54a 54j的一端部56与陀螺仪传感器10的连接端子44a 44j电连接时的基座。作为方式，是设置成将框部66的上边与下边相连的金属片。框部66是配置在安装用引脚54a 54j及裸片焊盘52外周的框状部件，承担将多个安装用引脚54a 54j及裸片焊盘52保持为一体的作用。在形成了详情后述的树脂部70之后，将框部66与安装用引脚54a 54j、以及框部66与裸片焊盘52切断分离，使它们成为各自独立的部件。这里，裸片焊盘52以及安装用引脚54a 54j通过粘结剂与陀螺仪传感器10接合。此外，将裸片焊盘52等与陀螺仪传感器10接合的粘结剂还可以是导电粘结剂。在安装用引脚54a 54j的一端部56与连接端子44a 44j之间，彼此的主面相对，并通过经引线键合形成的金属引线69而电连接。此外，也可以是在安装用引脚54a 54j的一端部56与连接端子44a 44j之间，彼此的主面相对，并通过焊锡或导电粘结剂等导电连接部件而电连接和机械连接。树脂部70覆盖如上地与裸片焊盘52以及安装用引脚54a 54j接合的陀螺仪传 感器10，承担确保气密性和保护连接部的作用。树脂部70由热塑性树脂构成。此外，上述多个安装用引脚54a 54j构成为向树脂部70的外侧突出。关于实施方式的陀螺仪传感器装置100，突出到树脂部70外侧的安装用引脚54a 54j具有第I弯折部64和第2弯折部68。第I弯折部64设置在一端部56与中间部60之间。而第2弯折部68设置在另一端部58与中间部60之间。包括第I弯折部64、第2弯折部68在内，安装用引脚54a 54j的弯折方向均为沿树脂部70的方向。陀螺仪传感器装置100中的陀螺仪传感器10的倾斜由安装用引脚54a 54j的中间部60的平面形状决定，因此基本不受第I弯折部64、第2弯折部68的弯折角度的影响。此外，在本实施方式中，第I弯折部64、第2弯折部68双方均具有大致90°的弯折角度。根据这种结构的陀螺仪传感器装置100，即使陀螺仪传感器10的端子形成面(第I面)与陀螺仪传感器装置100的安装面(第2面)之间的角度Θ为90度，安装用引脚54a 54j的处理即弯折角度也不复杂。另外，陀螺仪传感器装置100形成为作为安装用引脚54a 54j的一端部56的连接部的一个主面和另一个主面被配置成与陀螺仪传感器装置100的安装面大致垂直，且第I弯折部64沿与安装面大致垂直的线弯折。由此，即使第I弯折部64的弯折角度发生偏差，作为另一端部58的安装端子的最下端、即安装端子中与安装基板的上表面的安装图案接触的部分，也是在与安装基板的上表面平行的面内移动。由此，能够消除安装用引脚的第I弯折部64的弯折角度的偏差给安装基板与传感器元件安装面(端子形成面)之间的角度Θ带来的影响，因此能够高精度地确定角度Θ。另外，第I面与第2面之间的角度的角度形成是通过确定中间部60的形状来实现的，因此不需要考虑弯折角度的角度形成等，能够容易地形成角度。另外，当然也不需要用于侧面固定陀螺仪传感器10的专用设计的基础基板等，因此还能够抑制制造成本。接着，对制造如上结构的陀螺仪传感器装置100的工序进行说明。首先，向图6所示的引脚架单元50的裸片焊盘52或裸片焊盘52及一端部56涂布粘结剂(未图示)。在端子形成面与涂布粘结剂后的引脚架单元50相对的状态下，将陀螺仪传感器与引脚架单元50接合(参照图7)。另外，此时，多个安装用引脚54a 54j各自的一端部56与对应的连接端子44a 44j以彼此的主面相接触的方式而相向配置。因此，能够将陀螺仪传感器10稳定地安装到引脚架单元50上。端子形成面和引脚架单元50接合后的陀螺仪传感器10的连接端子44a 44j、与安装用引脚54a 54j的一端部56通过金属引线而连接，由此实现连接端子44a 44j与安装用引脚54a 54 j的电连接(参照图8)。将通过如上方式与安装用引脚54a 54j接合的陀螺仪传感器10装入到成型加工用的模具72 (上模72a、下模72b)内。在装入了陀螺仪传感器10的模具72中，压入加热熔化后的树脂(未图示)，形成树脂部70的外形形状(参照图9)。在压入到模具72内的树脂硬化之后，取出被树脂部70覆盖的陀螺仪传感器10。从模具72取出的陀螺仪传感器10在图10中单点划线表示的位置处，从框部66切断安装用引脚54a 54j以及裸片焊盘52。由此，安装用引脚54a 54j以及裸片焊盘52成为彼此独立的结构要素。 将切断后的安装用引脚54a 54j沿树脂部70向陀螺仪传感器10的接合面侧(例如一个主面侧)弯折，形成第I弯折部64。通过形成第I弯折部64，安装用引脚54a 54j成为另一端部58突出到树脂部70的下面侧的形状，然后使安装用引脚54a 54j向树脂部70的下面侧弯折，形成第2弯折部68。(变形例I)接着，参照图12来说明作为本实施方式的传感器器件的应用方式的变形例I。作为变形例I的传感器器件的陀螺仪传感器装置IOOa与上述的基本方式不同之处在于，从树脂部70突出的安装用引脚54a 54j的第I弯折部64的弯折方向不同。即，在基本方式的陀螺仪传感器装置100中，第I弯折部64的弯曲方向均为沿树脂部70的方向(安装用引脚54a 54j的一个主面侧)。与此相对，本方式的陀螺仪传感器IOOa采用了这样的结构相邻的安装用引脚54的第I弯折部64分别向一个主面侧和另一个主面侧交替地弯折。根据这样的结构，邻接的安装端子(安装用引脚的另一端部58)之间的间隔大，因此能够降低安装时短路等的危险。另外，因为能够扩大安装面的面积，因此能够提高安装稳定性。此外，由于陀螺仪传感器10位于陀螺仪传感器装置IOOa的中心附近，因此提高了载置状态下的稳定性。其它结构、作用、效果等与上述基本方式的陀螺仪传感器装置100相同。(第2实施方式)接着，参照图13来详细说明本发明的传感器器件的第2实施方式。本实施方式的传感器器件的结构基本与上述第I实施方式的传感器器件相同。因此，对功能相同的部位标注同一符号，省略详细的说明。作为本实施方式的传感器器件的陀螺仪传感器装置IOOb与作为第I实施方式的传感器器件的陀螺仪传感器装置100的不同点在于，安装用引脚54a 54j的中间部的方式以及树脂部70的方式。具体地说，在第I实施方式的陀螺仪传感器装置100中，为了设定角度Θ，在安装用引脚54a 54j的中间部设置了角度部62。与此相对，在本实施方式的陀螺仪传感器装置IOOb中，未设置角度部62，而是采用了如下方式通过将位于第I弯折部64与第2弯折部68之间的中间部60的平面形状形成为圆弧状来确保角度Θ。在安装用引脚54a 54j采用了这种方式的情况下，能够利用中间部60的长度、换言之第2弯折部68的位置来自由地改变角度Θ。因此，不需要根据角度Θ的规格来进行引脚架单元的设计变更等，能够抑制制造成本。另外，由于同一引脚架单元可以用于各种规格，因此库存管理也变得容易。其它结构、作用、效果与上述第I实施方式的陀螺仪传感器装置100相同。(变形例2)接着，参照图14来说明作为本实施方式的传感器器件的应用方式的变形例2。在作为变形例2的传感器器件的陀螺仪传感器装置IOOc中，安装用引脚54a 54j的第I弯折部64的弯折方向为与陀螺仪传感器10的接合面(一个面)相反的面侧(另一个面侧)。采用这种结构也能够实现与上述第2实施方式的陀螺仪传感器装置IOOb同样的效果。(第3实施方式)接着，参照图15来详细说明本发明的传感器器件的第3实施方式。 在图15中，图15(A)是传感器器件的正面图，图15(B)是传感器器件的右侧视图。本实施方式的传感器器件IOOd具有陀螺仪传感器10、多个引脚318a 318j以及树脂部370。陀螺仪传感器10在外表面的端子形成面上具有多个连接端子44a 44j。构成陀螺仪传感器10的各个面形成为矩形状，多个连接端子44a 44j沿着端子形成面中相对的一对边而形成。在构成陀螺仪传感器10的封装内部，安装有构成陀螺仪传感器的角速度检测元件以及作为用于控制输入输出信号的集成电路的IC等(均未图示)。多个引脚318a 318j具有第I引脚组316a和第2引脚组316b。属于第I引脚组的316a的引脚318b 318d、318g 318i是通过弯折如下导电平板而形成的，所述导电平板具有与陀螺仪传感器10的连接端子44b 44d、44g 44i电连接的一端部320a以及作为传感器器件的安装用端子的另一端部324a。另外，在一端部320a与另一端部324a之间设有中间部322a。在实施方式的传感器器件IOOd中，中间部322a承担改变属于第I引脚组316a的引脚318b 318d、318g 318 的延伸方向的作用，在中间部322a上设有角度部328，该角度部328用于改变从一端部320a向另一端部324a延伸的平板的延伸方向。另外，第I引脚组316a被配置成在一端部320a与连接端子44b 44d、44g 44i连接的状态下，从端子形成面的一对边向封装部件的外侧延伸设置。延伸设置的引脚318b 318d、318g 318i从详情后述的树脂部370露出。并且，在从树脂部370露出的部分中设有第I弯折部325和第2弯折部326。第I弯折部325位于一端部320a与中间部322a之间，第2弯折部326位于中间部322a与另一端部324a之间。并且，中间部322a、另一端部324a分别沿着树脂部370进行配置。通过这样的结构，属于第I引脚组316a的引脚318b 318d、318g 318 采用了将树脂部370包围的方式。属于第2引脚组316b的引脚318a、318e、318f、318j通过弯折如下导电平板而形成，所述导电平板具有一端部320b，该一端部320b与陀螺仪传感器10的连接端子44a、44e.44f.44j以彼此的主面相对的方式电连接；以及作为传感器器件IOOd的检查/写入用端子的另一端部324bο另外，与构成第I引脚组316a的引脚318b 318d、318g 318i同样，在一端部320b与另一端部324b之间具有中间部322b。在实施方式的传感器器件IOOd中，中间部322b的一端部320b侧埋设在树脂部370内，另一端部324b从树脂部370露出。另外，第2引脚组316b在一端部320b与连接端子44a、44e、44f、44j连接的状态下，被布置在沿着端子形成面的一对边形成的2列连接端子44a 44j之间，并从与一对边相交的另一边延伸设置到陀螺仪传感器10的外侧。此时，引脚318b 318d、318g 318i的中间部322b被配置为不与其它引脚318b 318d、318g 318i以及连接端子44b 44d、44g 44i电连接。在中间部322b与另一端部324b之间设置有第I弯折部330。另外，在另一端部324b设置有用于沿着树脂部370配置前端部320b的第2弯折部332。此外，只要按如下方式设置第I弯折部330及第2弯折部332即可在构成第2引脚组316b的各引脚318b 318e、318g 318i的另一端部324b与树脂部50之间略微设有间隙(退避部344)。这是因为，在将另一端部324b用作检查/写入用端子时，随着检查/写入用探针的接触，另一端部324b向树脂部370侧弯曲(参照图16 :在图16中，图16(A)示出探针接触前的状态，图16⑶示出探针接触时的状态。)。通过这样的作用，能够降低探针前端部的磨损。另外，即使由于端子形成时的弯折角度的偏差等而导致检查/写入用端子产生偏差等，也能够压入检查/写入用探针，因此能够防止接触不良。
树脂部370是以保护连接端子44a 44j与引脚318a 318j之间的连接面等为目的的树脂，覆盖连接面和陀螺仪传感器10。在树脂部370上设有用于配置第2引脚组316b的另一端部324b的切口部342。切口部342相对于树脂部的外形而形成为凹状，在俯视处于安装状态的传感器器件IOOd的树脂部370时，该切口部342成为将作为检查/写入端子的另一端部324b遮蔽的状态。因此，配置在该切口部342处的属于第2引脚组316b的引脚318a、318e、318f、318j的另一端部324b的下端部，与配置在树脂部370的底面侧的属于第I引脚组316a的引脚318b 318d、318g 318i的另一端部324a的下端部相比，位置更靠近上方。根据这样的结构，在将传感器器件IOOd安装到安装基板上时，不会暴露出作为检查/写入用端子的另一端部324b，能够降低与其它电子部件等的电极误接触的危险。另外，在作为安装用端子的另一端部324a与作为检查/写入用端子的另一端部324b之间形成台阶，因此能够可靠地防止两者之间的短路。另外，另一端部324b处于从安装面悬浮起来的状态，因此显然不需要在安装基板上形成用于安装另一端部324b的图案。在上述这种结构的传感器器件IOOd中，连接端子44a 44j与引脚318a 318j通过导电粘结剂或粘结剂及金属引线(均未图示)来实现电连接、物理固定。另外，构成第I引脚组316a的引脚318b 318d、318g 318 的第I弯折部325、第2弯折部326以及构成第2引脚组316b的引脚318a、318e、318g、318 j的第I弯折部330、第2弯折部332，是在树脂部370形成之后形成的。另外，树脂部370是通过使用模具的成型加工来形成的。作为用于制造上述结构的传感器器件IOOd的具体制造步骤，首先，形成属于第I引脚组316a、第2引脚组316b的各引脚318a 318j。接着，进行所形成的引脚318a 318j与另行制造的陀螺仪传感器10之间的物理固定及电连接。接着，将与引脚318a 318j相连后的陀螺仪传感器10导入到模具中，利用树脂将其覆盖，以形成所希望的形状的树脂部370。然后，对构成第I引脚组316a、第2引脚组316b的各引脚318a 318j实施弯折加工，形成第I弯折部325、330、第2弯折部326、332。根据这种结构的传感器器件100d，能够沿着传感器器件IOOd底面的不同的边，形成作为用户端子(安装用端子)的另一端部324a和作为检查/写入用端子的另一端部324b。因此，能够抑制安装用端子与检查/写入用端子之间的短路。
另外，构成第2引脚组316b的引脚318a、318e、318f、318j被布置在陀螺仪传感器10的端子形成面上，因此能够提高陀螺仪传感器10载置在引脚318a 318 j上时的安装稳定性。对于角速度传感器或加速度传感器等内置在陀螺仪传感器10中的元件的安装面与安装基板所成的角度(安装角度)的偏差成为难题的传感器器件而言，这种安装稳定性还有助于提闻检测精度。此外，在上述实施方式中采用了这样的结构通过在属于第I引脚组316a的引脚318b 318d、318g 318i的中间部322a设置角 度部328，能够将陀螺仪传感器10的端子形成面与传感器器件IOOd的安装面，以相对于安装基板的不同角度安装到安装基板上。但是，也可以将中间部322a的平面形状设置为扇型、即将中间部322a延伸设置成圆弧状，由此来形成端子形成面与安装面之间的角度。这是因为，根据这种结构，能够利用中间部322a的长度来改变端子形成面与安装面之间的角度。
权利要求
1.一种传感器器件，该传感器器件具有 传感器部件，其在封装的内部收容有具有检测轴的传感器元件，且在上述封装的端子形成面上具有多个连接端子；以及多个安装用引脚， 该传感器器件的特征在于， 上述传感器部件被配置成上述端子形成面相对于上述传感器器件的安装面倾斜或垂直， 沿着上述传感器部件的构成上述端子形成面的外形的边中、相对于上述安装面处于倾斜或垂直方向的一边，配置上述多个连接端子， 上述多个连接端子具有多个第I连接端子， 上述多个安装用引脚分别具有 一端部，其是相对于上述端子形成面弯折该安装用引脚的一端而形成的，并且该一端部与上述传感器部件的上述端子形成面上的上述第I连接端子以彼此的主面相对的方式连接； 中间部，其从上述一端部向上述传感器器件的上述安装面延伸；以及 另一端部，其是弯折上述安装用引脚的另一端而形成的， 上述中间部设有角度部， 上述端子形成面与上述安装面之间的角度是通过确定上述中间部的形状而形成的。
2.根据权利要求I所述的传感器器件，其特征在于， 上述传感器部件被配置成上述端子形成面与上述传感器器件的上述安装面垂直的状态， 沿着上述传感器部件的构成上述端子形成面的上述外形的上述边中、与上述安装面垂直的上述一边，配置上述多个连接端子。
3.根据权利要求I或2所述的传感器器件，其特征在于， 上述多个安装用引脚的上述另一端部的弯折方向分为上述安装用引脚的一个主面侧和另一个主面侧。
4.根据权利要求3所述的传感器器件，其特征在于， 上述多个安装用引脚的上述另一端部在相邻的安装用引脚处，交替地向上述一个主面侧和上述另一个主面侧弯折。
5.一种传感器器件，该传感器器件具有 传感器部件，其在封装的内部收容有具有检测轴的传感器元件，且在上述封装的端子形成面上具有多个连接端子；以及多个安装用引脚， 该传感器器件的特征在于， 上述传感器部件被配置成上述端子形成面相对于上述传感器器件的安装面倾斜或垂直， 沿着上述传感器部件的构成上述端子形成面的外形的边中、相对于上述安装面处于倾斜或垂直方向的一边，配置上述多个连接端子， 上述多个连接端子具有多个第I连接端子，上述多个安装用引脚分别具有 一端部，其是相对于上述端子形成面弯折该安装用引脚的一端而形成的，并且该一端部与上述传感器部件的上述端子形成面上的上述第I连接端子以彼此的主面相对的方式连接； 中间部，其从上述一端部向上述传感器器件的上述安装面延伸；以及 另一端部，其是弯折上述安装用引脚的另一端而形成的， 上述中间部的平面形状呈圆弧状， 上述端子形成面与上述安装面之间的角度是通过确定上述中间部的形状而形成的。
6.根据权利要求5所述的传感器器件，其特征在于， 上述传感器部件被配置成上述端子形成面与上述传感器器件的上述安装面垂直的状态， 沿着上述传感器部件的构成上述端子形成面的上述外形的上述边中、与上述安装面垂直的上述一边，配置上述多个连接端子。
7.根据权利要求5或6所述的传感器器件，其特征在于， 上述多个安装用引脚的上述另一端部的弯折方向分为上述安装用引脚的一个主面侧和另一个主面侧。
8.根据权利要求7所述的传感器器件，其特征在于， 上述多个安装用引脚的上述另一端部在相邻的安装用引脚处，交替地向上述一个主面侧和上述另一个主面侧弯折。
全文摘要
一种传感器器件，具有传感器部件，其在封装的内部收容有传感器元件，且在封装的端子形成面上具有多个连接端子；和多个安装用引脚，传感器部件被配置成端子形成面相对于传感器器件的安装面倾斜或垂直，沿着传感器部件的构成端子形成面的外形的边中、相对于安装面倾斜或垂直的一边，配置上述多个连接端子，这多个连接端子具有多个第1连接端子，上述多个安装用引脚分别具有一端部，其是相对于端子形成面弯折安装用引脚的一端而形成的，且与上述第1连接端子连接；中间部，其从一端部向传感器器件的安装面延伸；另一端部，其是弯折安装用引脚的另一端而形成的，中间部设有角度部，端子形成面与安装面之间的角度是通过确定中间部的形状而形成的。
文档编号G01C19/5783GK102865863SQ20121032875
公开日2013年1月9日 申请日期2009年12月16日 优先权日2008年12月16日
发明者松永雅敬 申请人:精工爱普生株式会社