电源装置以及使用该电源装置的试验装置制造方法
【专利摘要】本发明涉及电源装置以及使用该电源装置的试验装置，在包括负载的系统变动时能以高速使电源信号稳定化。电源装置经由电源线对设备的电源端子提供电源信号SPS。A/D转换器经由反馈线接收与提供给设备的电源端子的电源信号SPS相应的模拟观测值VM，并转换为数字观测值DM。数字运算部通过数字运算处理生成控制值DOUT，该控制值被调节为来自A/D转换器的数字观测值DM与规定的基准值Ref一致。D/A转换器对控制值DOUT进行数字/模拟转换，将模拟的电源信号SPS经由电源线提供给设备的电源端子。反馈比计算部计算出控制值DOUT与数字观测值DM的比。数字运算部根据反馈比计算部计算出的比能够变更其运算处理的内容。
【专利说明】电源装置以及使用该电源装置的试验装置
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及一种对设备提供电源电压或者电源电流的电源装置。
【背景技术】
[0002]试验装置具备:对被试验设备(DUT)提供电源电压或者电源电流(以下称为电源电压Vdd)的电源装置。图1是示意性地表示以往的电源装置的框图。电源装置1100具备:电源输出部1026 ;以及控制电源输出部1026的频率控制器(以下称为控制器)1024。例如，电源输出部1026是运算放大器(缓冲器)、DC/DC转换器、线性稳压器或者恒定电流源，并生成要提供给DUTl的电源电压或者电源电流(输出信号OUT)。
[0003]在DUTl的电源端子的最近处设置去耦电容器Cl，并且电源装置1100的输出端子与DUTl的电源端子之间经由线缆进行连接。电源装置1100的控制对象不是电源输出部1026的输出信号0UT，而是实际施加给DUTl的电源端子的电源电压VDD。以往，控制器1024以反馈的观测值(控制对象)与规定的参照值(基准值)的差分值成为零的方式，输出控制值。作为观测值，例示了与提供给DUTl的电源电压、电源电流等相对应的反馈信号。例如在图1中用减法器的符号表示的电路元件1022是误差放大器(运算放大器)，其对观测值与基准值的误差进行放大。模拟的控制器1024以使误差为零的方式生成控制值。电源输出部1026的状态与控制值相对应而进行反馈控制，其结果是，将作为控制对象的电源电压Vdd稳定为目标值。作为对控制对象1010进行控制时要考虑的参数，示意性地表示了寄生参数1030。寄生参数1030包括电源线缆、电源装置1100内部的寄生电阻、寄生电容、寄生电感等。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献1:日本特开平6-249889号公报
[0006]专利文献2:日本特开2012-2666号公报
【发明内容】
[0007]以往，使用模拟电路而构成控制器1024。因此存在以下问题:其综合性能被构成该控制器1024的模拟元件的性能所决定。也就是说，假设某一控制对象1010和寄生参数1030而进行设计的电源装置1100在控制对象1010、寄生参数1030与设计时的假设值不同时，无法发挥如设计那样的性能。
[0008]另外，以往虽然使用与控制对象1010和寄生参数1030很好地匹配的等效电路、将这些控制对象1010和寄生参数1030进行近似，但是在这种近似中无法实现高精度。因此，以往将控制器1024的反馈频带设计得较窄，虽然不是本意但会使特性恶化，从而需要实现电路动作的稳定化。
[0009]本发明是鉴于上述问题而完成的，其某一方式的例示的目的之一是，提供一种在包括负载的系统的变动时、能够以高速使电源信号稳定化的电源装置。
[0010]本发明的某一方式涉及一种经由电源线对设备的电源端子提供电源信号的电源装置。电源装置具备:A/D转换器，其经由反馈线接收与提供给设备的电源端子的电源信号相对应的模拟观测值，并对模拟观测值进行模拟/数字转换而生成数字观测值；数字运算部，其通过数字运算处理而生成控制值，所述控制值被调节为来自A/D转换器的数字观测值与规定的基准值一致；D/A转换器，其对控制值进行数字/模拟转换，并将其结果所得到的模拟的电源信号，经由电源线提供给设备的电源端子；以及反馈比计算部，其计算出控制值与数字观测值的比。数字运算部的结构为，根据反馈比计算部计算出的比，能够变更其运算处理的内容。
[0011]在控制值Dtot与数字观测值Dm之间，DOUT≥ DM的关系成立，作为它们之比的反馈比β =DM/DOUT在0~1的范围内发生变动。根据该方式,通过响应控制部，以反馈比β越小则系统的响应越快的方式来控制数字运算部30，由此能够在短时间内将电源信号收敛为目标值和/或能够抑制电源信号的变动。
[0012]数字运算部可以包括:减法器，其生成表示数字观测值与基准值的误差的误差信号；缩放部，其将误差信号乘以与反馈比计算部计算出的比相对应的系数；以及控制器，其根据从缩放部输出的误差信号来生成控制值。
[0013]通过缩放误差信号，能够使系统的响应速度发生变化。
[0014]数字运算部还可以包括选择器，所述选择器选择从减法器输出的误差信号和从缩放部输出的误差信号中的任一个，并将其输出到控制器。
[0015]由此，能够切换成以下状态:即根据控制值Dtot与数字观测值Dm的比而使系统的响应速度发生变化的状态、以及不发生变化的状态。
[0016]反馈比计算部可以通过下式，计算出作为控制值Dott与数字观测值Dm之比的反馈比β:
[0017]β =Dm/D0UT
[0018]缩放部可以以实际上与反馈比β成反比的方式决定系数。
[0019]反馈比计算部可以通过下式，计算出作为控制值Dott与数字观测值Dm之比的反馈比的倒数I/β:
[0020]I/β =D0UT/Dm
[0021]缩放部可以以实际上与反馈比的倒数l/β成正比的方式决定系数。
[0022]数字运算部可以包括:减法器，其生成表示数字观测值与基准值的误差的误差信号；控制器，其根据误差信号，通过比例控制、比例/积分控制、比例/积分/微分控制中的任一个，生成控制值；以及系数控制部，其根据反馈比计算部计算出的比，而使控制器的比例系数、积分系数、微分系数中的至少一个发生变化。
[0023]通过使控制器的系数发生变化，能够使系统的响应速度发生变化。
[0024]数字运算部的结构为，能够切换成第一模式和第二模式，所述第一模式是固定其运算处理的内容；所述第二模式根据反馈比计算部计算出的比，来控制其运算处理的内容。
[0025]例如在将电源装置用于半导体试验装置的情况下，能够预先预测出系统的变动。在该情况下，在系统的变动之前通过切换为第二模式，能够使电源信号稳定化。
[0026]数字运算部可以在产生以下至少一个事件之前，先选择第二模式:
[0027](I)电源信号Sps的启动(接通电源)；
[0028](2)检测电阻Rs的电阻值的切换；[0029](3)负载阻抗的变动；
[0030](4)电源电压Vdd的目标值的变更；
[0031](5)电源电流Idd的目标值的变更。
[0032]模拟观测值可以表示提供给电源端子的电压。
[0033]模拟观测值也可以表示:经由电源线提供给电源端子的电流。电源装置还具备检测电阻和读出放大器，所述检测电阻设置于电源线上；所述读出放大器生成与检测电阻的两端之间的电压相对应的模拟观测值。
[0034]模拟观测值也可以表示:从提供给电源端子的电压、以及经由电源线提供给电源端子的电流中所选出的任一个。
[0035]本发明的另一方式涉及一种试验装置。试验装置具备:对被试验设备提供电源信号的所述电源装置。
[0036]根据该方式，能够抑制电源的影响，同时能够判断出被试验设备的好坏、不良部位。
[0037]此外，以上的结构要素的任意组合、或者在方法、装置、系统等之间相互替换了本发明的结构要素或表现后的方式，作为本发明的方式都是有效的。
[0038]根据本发明的某一方式，在包括负载的系统的变动时，能够使电源信号高速地稳定化。
【专利附图】
【附图说明】
[0039]图1是示意性地表示以往的电源装置的框图。
[0040]图2是表示具备实施方式所涉及的电源装置的试验装置的框图。
[0041]图3是表示数字运算部的结构例的电路图。
[0042]图4(a)、图4(b)是表示反馈比β与系数K的关系的具体例的图。
[0043]图5是表示图2的电源装置的动作序列的流程图。
[0044]图6(a)、图6(b)是表示图2的电源装置的电流提供模式启动时的电流Idd(Dm i)的波形图。
[0045]图7(a)、图7(b)是表示图2的电源装置的电流提供模式启动时的电流Idd(Dm i)的波形图。
[0046]图8是表示第一变形例所涉及的数字运算部的结构图。
[0047]附图标记说明
[0048]I:DUT ；2:试验装置；4:电源线；6:反馈线；DR:驱动器；CP:比较器；100:电源装置；10:控制对象；20:A/D转换器；22:电流用A/D转换器;24:电压用A/D转换器；30:数字运算部；32:减法器；34:控制器；36:缩放部；38:选择器；39:模式控制部；40:D/A转换器；42:缓冲放大器；44:读出放大器；RS:检测电阻；50:反馈比计算部；SPS:电源信号；D0UT:控制值；VM:模拟观测值；Dm:数字观测值；SEKK:误差信号。
【具体实施方式】
[0049]下面，根据优选的实施方式，参照附图来说明本发明。对各附图所示的同一或者相等的结构要素、部件、处理附加同一符号，并适当地省略重复的说明。另外，实施方式是示例而不是限定发明，实施方式所记载的所有特征及其组合并不一定是发明的本质的部分。
[0050]在本说明书中，“部件A与部件B相连接的状态”是指，除了包括部件A与部件B以物理方式直接连接的情况以外，还包括部件A与部件B经由其它部件进行间接连接的、且不会对它们的电连接状态产生实质性影响或者不损害由它们的结合而实现的功能或效果的情况。
[0051]同样，“部件C被设置在部件A和部件B之间的状态”是指，除了包括部件A和部件C、或者部件B和部件C直接连接的情况以外，还包括不会对它们的电连接状态产生实质性影响或者不损害由它们的结合而实现的功能或效果的、经由其它部件进行间接连接的情况。
[0052]图2是表示具备实施方式所涉及的电源装置100的试验装置2的框图。试验装置2对DUTl提供信号，并将来自DUTl的信号与预期值进行比较，从而判断DUTl的好坏、不良部位。
[0053]试验装置2具备驱动器DR、比较器(定时比较器)CP、电源装置100等。驱动器DR对DUTl输出测试模式信号。通过未图不的定时发生器TG、模式发生器PG和波形整形器FC(Format Controller)等,来生成该测试模式信号,该测试模式信号被输入到驱动器DR。由DUTl输出的信号被输入到比较器CP。比较器CP将来自DUTl的信号与规定的阈值进行比较，并以适当的定时锁存比较结果。将比较器CP的输出与其预期值进行比较。以上是试验装置2的概要。
[0054]电源装置100生成针对DUTl的电源信号Sps，经由电源线缆(电源线)4等提供给DUTl的电源端子P1。
[0055]本实施方式所涉及的电源装置100的结构为，能够切换成以下模式:将提供给DUTl的电源信号Sps的电压值Vdd保持恒定的电压提供(VS)模式；以及将电源信号的电流量Idd保持恒定的电流提供(IS)模式。
[0056]当负载急剧变动时，通常的电源装置无法追踪由反馈引起的电源信号的控制，输出信号会偏离目标值。当在试验装置2中电源装置的输出信号发生变动时，对DUTl输出的信号带来影响。也就是说，无法区别由比较器CP判断出的不良(Fail)是由DUTl本身引起的、还是由电源装置引起的。
[0057]特别是试验工序中的DUTl的负载变动，大于在DUTl出厂之后搭载于机组(电子设备)的状态下的负载变动。根据上述情形，在搭载于试验装置2的电源装置100中，对于负载变动的追踪性的要求很严格。下面，对能够适合用于试验装置2中的电源装置100的结构进行说明。
[0058]电源装置100具备A/D转换器20、数字运算部30、D/A转换器40、缓冲放大器42、检测电阻Rs、读出放大器44以及反馈比计算部50。
[0059]A/D转换器20经由反馈线6，接收与提供给DUTl的电源端子Pl的电源信号31^相对应的模拟观测值\，并对该模拟观测值\进行模拟/数字转换，从而生成数字观测值Dm。
[0060]更具体地说，在电压提供模式下，A/D转换器20对表示提供给DUTl的电源电压Vdd的模拟观测值Vm v进行模拟/数字转换，从而生成数字观测值DM—v。模拟观测值Vm v可以是提供给DUTl的电源电压Vdd本身，也可以是通过分压使电源电压Vdd降压而得到的电压。[0061 ] 在电流提供模式下，A/D转换器20对表示提供给DUTl的电源电流Idd的模拟观测值Vm i进行模拟/数字转换，从而生成数字观测值DM—卩例如在电源线4的路径上，设置有检测电阻Rs。在检测电阻Rs中产生与电源电流Idd成正比的电压下降。读出放大器44对检测电阻Rs的电压下降进行放大，并生成模拟观测值Vm工。检测电阻Rs是与电源电流Idd的电流范围相对应而能够切换电阻值的可变电阻。
[0062]A/D转换器20包括:将模拟观测值Vm v、Vm i分别转换为数字观测值的电流用A/D转换器22和电压用A/D转换器24。此外，在电流提供模式和电压提供模式下，也可以分时
共享一个A/D转换器。
[0063]数字运算部30通过数字运算处理，生成数字的控制值Dtot。数字控制值Dot被调节为，来自A/D转换器20的数字观测值Dm与规定的基准值Ref —致。例如数字运算部30能够由 CPU (Central Processing Unit:中央处理器)、DSP (Digital Signal Processor:数字信号处理器)或者FPGA (Field Programmable Gate Array:现场可编程门阵列)等构成。
[0064]数字运算部30的结构为，能够变更其运算处理的内容、也就是控制特性。在本说明书中，还将运算处理的内容控制称为响应速度控制。例如数字运算部30可以根据数字观测值Dm和基准值Ref的差分(误差)，来进行PID(比例、积分、微分)控制。在该情况下，运算处理的内容变更也可以是PID控制中的各种参数(例如增益、过滤次数、截止频率)的变更或者运算式的变更。或者数字运算部30可以进行P控制、PI控制、PD控制中的任一个，来代替PID控制。
[0065]更具体地说，数字运算部30包括减法器32和控制器34。
[0066]减法器32生成表示数字观测值Dm与基准值Ref的误差的误差信号SEKK。控制器34根据误差信号SEKK，通过⑴比例⑵控制、⑵比例/积分(PI)控制、⑶比例/积分/微分(PID)控制中的任一控制，来生成控制值Dtm。
[0067]D/A转换器40对控制值Dott进行数字/模拟转换，将其结果所得到的模拟电压Vtot作为电源信号Sps，经由电源线4提供给被试验设备I的电源端子P1。在D/A转换器40的后级中，设置输出阻抗低的缓冲放大器42。
[0068]反馈比计算部50对作为控制值Dott与数字观测值Dm之比的反馈比β或者其倒数进行计算。
[0069]通过下式计算出在电压提供模式下的反馈比βν:
[0070]β v=Dm_v/Dout *..(Ia)
[0071]另外，通过下式计算出在电流提供模式下的反馈比:
[0072]β J=Dm iZDout...(Ib)
[0073]数字运算部30的结构为，根据反馈比(或者其倒数)能够变更其运算处理的内容。运算处理的内容包括在生成控制值Dott时所使用的参数、运算方法等。具体地说，数字运算部30以反馈比β越小则响应速度越高、反馈比β越大则响应速度越低的方式，来变更运算处理的内容。根据其它观点来说，与反馈比β相对应，数字运算部30的频率特性会发生变化。
[0074]图3是表示数字运算部30的结构例的电路图。
[0075]数字运算部30除了包括减法器32、控制器34以外，还包括缩放部36、选择器38以及模式控制部39。[0076]缩放部36将误差信号Sekk乘以与反馈比β相对应的系数K。系数K可以定义为，将反馈比β作为自变量的函数f(i3)。
[0077]最简单地说，系数K实质上可以与反馈比β成反比。也就是说，以与反馈比β的倒数成正比的方式，可以按照式(2a)、式(2b)来决定系数K。其中，~、&1为常数。
[0078]Kv=av/ β V...(2a)
[0079]K1=B1/ β j...(2b)
[0080]图4(a)、图4(b)是表示反馈比β与系数K的关系的具体例的图。在图4(a)中，K与β成反比。在该情况下，由于需要除法运算，因此需要用于计算系数K的除法器。在图4(b)中，根据β的范围，选择离散系数K。在该情况下，由于通过参照表来设定系数K，或者能够根据移位来计算系数K，因此不需要除法器。
[0081]在变形例中，反馈比计算部50可以按照式(3a)、式(3b)来计算反馈比的倒数I/β。
[0082]I/ β v=D0UT/Dm v...(3a)
[0083]I/β J=DoutZDmj...(3a)
[0084]在该情况下，缩放部36可以根据由反馈比计算部50计算出的反馈比的倒数I/ β，更具体地说通过将倒数l/β乘以系数a来计算系数K。在该情况下，能够将用于计算系数K的除法器替换为乘法器，从而能够节约硬件资源。
[0085]此外，系数K不一定必须与反馈比β成反比，根据仿真或者实测，只要以作为系统的控制量即电源信号Sps的变动变小的方式决定即可。
[0086]选择器38接收来自减法器32的误差信号Sekk和来自缩放部36的误差信号SEKK，在第一模式下选择前者，在第二模式下选择后者。模式控制部39对第一模式和第二模式进行控制。例如，模式控制部39在包括DUTl和电源装置100在内的系统整体稳定的通常状态下，选择第一模式。模式控制部39在产生应提高电源装置100的响应速度的事件之前，先选择第二模式。模式控制部39在选择第二模式之后，若系统稳定，则选择第一模式。
[0087]作为应提高响应速度的事件，例示有以下的情况:
[0088](I)电源信号Sps的启动(接通电源)；
[0089](2)检测电阻Rs的电阻值的切换；
[0090](3)负载阻抗的变动；
[0091 ] (4)电源电压Vdd的目标值的变更；
[0092](5)电源电流Idd的目标值的变更。
[0093]以上为电源装置100的结构。接着，说明其动作。
[0094]图5是表示图2的电源装置100的动作序列的流程图。在第一模式Φ I下，反复进行以下的动作:
[0095].通过A/D转换器20获取数字观测值Dm(SIOO)；
[0096].通过数字运算部30生成误差信号Sekk (S102)；
[0097].通过控制器34生成控制值Dqut (S104)；
[0098].通过D/A转换器40生成模拟电压Vqut (S106)。
[0099]在第二模式Φ 2下，反复进行以下的动作:
[0100].通过A/D转换器20获取数字观测值Dm (S200)；[0101].通过数字运算部30生成误差信号Sekk(S202)；
[0102].通过反馈比计算部50计算出反馈比β (S204)；
[0103].通过数字运算部30控制响应速度(S206)；
[0104].通过控制器34生成控制值Dqut (S208)；
[0105].通过D/A转换器40生成模拟电压Vqut (S210)。[0106]模式控制部39根据系统的状态，来切换第一模式Φ I与第二模式Φ2。具体地说，在产生上述任一事件时，在该事件之前先切换成第二模式Φ 2 (S300)，当系统稳定时返回到第一模式 Φ I (S302) ο
[0107]图6(a)、图6(b)是表示图2的电源装置100的电流提供模式启动时的电流Idd(Dmx)的波形图。纵轴表示相对于目标值Ref的比。图6(a)表示:选择第一模式Φ1而不进行数字运算部30的响应速度控制的情况下的动作，图6(b)表示:选择第二模式Φ 2而进行了数字运算部30的响应速度控制时的动作。DUTl的阻抗为0Ω。
[0108]如图6 (a)所示，在不进行数字运算部30的响应速度控制的情况下，数字观测值Dm!达到目标值Ref的99%所需要的调节时间(settling time)为66 μ S。与此相对，在根据反馈比β进行了数字运算部30的响应速度控制的情况下，如图6(b)所示，调节时间能够缩短至60 μ S。
[0109]该效果在负载阻抗变大时更明显。图7(a)、图7(b)是表示图2的电源装置100的电流提供模式启动时的电流Idd(Dm i)的波形图。DUTl的阻抗为64kΩ。
[0110]如图7 (a)所示，在不进行数字运算部30的响应速度控制的情况下，数字观测值Dm工达到目标值Ref的99%所需要的调节时间为4.7ms。与此相对，在根据反馈比β进行了数字运算部30的响应速度控制的情况下，如图7(b)所示，调节时间能够缩短至60 μ S。
[0111]这样，根据实施方式所涉及的电源装置100，通过计算反馈比β或者其倒数1/β，来推测负载的状态，根据其结果来控制数字运算部30的响应速度，由此能够在短时间内将电源信号Sps收敛为目标值。
[0112]另外，如图6(a)和图7(a)所示，在不进行数字运算部30的响应速度控制的情况下，调节时间根据DUTl的阻抗而发生变化。与此相对，通过进行数字运算部30的响应速度控制，不管DUTl的阻抗值等系统的状态如何，都能够将调节时间保持为恒定。
[0113]虽然在图6 (a)、图6 (b)和图7 (a)、图7 (b)中，说明了电流提供模式，但是电压提供模式也能够得到相同的效果。
[0114]以上，根据实施方式说明了本发明。该实施方式是示例，在这些各结构要素、各处理工艺、它们的组合中，能够存在各种变形例。以下，说明这种变形例。
[0115](变形例I)
[0116]图8是表示第一变形例所涉及的数字运算部30a的结构图。
[0117]数字运算部30a的控制器34a是PID控制器。乘法器60将误差信号Sekk乘以比例系数KP。积分器62对误差信号Sekk进行积分。乘法器64将积分器62的输出乘以积分系数K”微分器66对误差信号Sekk进行微分。乘法器68将微分器66的输出乘以微分系数KD。加法器70加上乘法器60、64、68的输出，从而生成控制值DQUT。
[0118]在该结构中，控制器34a的乘法器60、64、68根据反馈比β (或者其倒数)，而使比例系数ΚΡ、积分系数K1、微分系数Kd中的至少一个发生变化。系数可以是通过运算处理进行计算，也可以参照预先决定的表。
[0119]通过该变形例，也能够得到与实施方式相同的效果。并且，由于能够使系数
Kd具有不同的β依赖性，因此与实施方式所涉及的数字运算部30相比，能够进行更佳的控制。
[0120](变形例2)
[0121]图8的数字运算部30a作为与β相对应的运算处理的内容控制，也可以切换PID、p、p1、ro等的控制方式本身。
[0122](变形例3)
[0123]在实施方式中，虽然说明了能够切换电压提供模式与电流提供模式的电源装置100，但是还可以将仅通过电压提供模式、或者仅通过电流提供模式能够进行动作的电源装置应用于本发明中。
[0124](变形例4)
[0125]在实施方式中，虽然说明了能够切换第一模式与第二模式、并在产生使系统变动的规定的事件时选择第二模式的情况，但是，也可以始终使第二模式进行动作。
[0126]虽然根据实施方式说明了本发明，但实施方式只不过表示了本发明的原理、应用，在实施方式中，在不脱离权利要求限定的本发明思想的范围内，允许有很多变形例或配置的变更。
【权利要求】
1.一种电源装置，其经由电源线对设备的电源端子提供电源信号，其特征在于，所述电源装置具备:A/D转换器，其经由反馈线，接收与提供给所述设备的所述电源端子的所述电源信号相对应的模拟观测值，并对所述模拟观测值进行模拟/数字转换而生成数字观测值；数字运算部，其通过数字运算处理而生成控制值，所述控制值被调节为，来自所述A/D转换器的所述数字观测值与规定的基准值一致；D/A转换器，其对所述控制值进行数字/模拟转换，将其结果所得到的模拟的电源信号，经由所述电源线提供给所述设备的电源端子；以及反馈比计算部，其计算出所述控制值与所述数字观测值的比，所述数字运算部的结构为，根据所述反馈比计算部计算出的比，能够变更其运算处理的内容。
2.根据权利要求1所述的电源装置，其特征在于，所述数字运算部包括:减法器，其生成表示所述数字观测值与所述基准值的误差的误差信号；缩放部，其将所述误差信号乘以与所述反馈比计算部计算出的比相对应的系数；以及控制器，其根据从所述缩放部输出的所述误差信号，来生成所述控制值。
3.根据权利要求2所述的电源装置，其特征在于，所述数字运算部还包括选择器，所述选择器选择从所述减法器输出的误差信号和从所述缩放部输出的误差信号中的任一个，并将其输出到所述控制器。
4.根据权利要求2或3所述的电源装置，其特征在于，所述反馈比计算部通过下式，计算出作为所述控制值Dott与所述数字观测值Dm之比的反馈比β:所述缩放部以实际上与所述反馈比β成反比的方式决定所述系数。
5.根据权利要求2或3所述的电源装置，其特征在于，所述反馈比计算部通过下式，计算出作为所述控制值Dott与所述数字观测值Dm之比的反馈比的倒数I/β:I / β =dout/dm所述缩放部以实际上与所述反馈比的倒数l/β成正比的方式决定所述系数。
6.根据权利要求1所述的电源装置，其特征在于，所述数字运算部包括:减法器，其生成表示所述数字观测值与所述基准值的误差的误差信号；控制器，其根据所述误差信号，并通过比例控制、比例/积分控制、比例/积分/微分控制中的任一个，生成所述控制值；以及系数控制部，其根据所述反馈比计算部计算出的比，而使所述控制器的比例系数、积分系数、微分系数中的至少一个发生变化。
7.根据权利要求1~3中任一项所述的电源装置，其特征在于，所述数字运算部的结构为，能够切换成第一模式和第二模式，所述第一模式是固定其运算处理的内容；所述第二模式根据所述反馈比计算部计算出的比，来控制其运算处理的内容。
8.根据权利要求7所述的电源装置，其特征在于，所述数字运算部在产生以下至少一个事件之前，先选择所述第二模式:(1)电源信号Sps的启动即接通电源；(2)检测电阻Rs的电阻值的切换；(3)负载阻抗的变动；(4)电源电压Vdd的目标值的变更；(5)电源电流Idd的目标值的变更。
9.根据权利要求1~3中任一项所述的电源装置，其特征在于，所述模拟观测值表示提供给所述电源端子的电压。
10.根据权利要求1~3中任一项所述的电源装置，其特征在于，所述模拟观测值表示:经由所述电源线提供给所述电源端子的电流，所述电源装置还具备检测电阻和读出放大器，所述检测电阻设置于所述电源线上；所述读出放大器生成与所述检测电阻的两端之间的电压相对应的所述模拟观测值。
11.根据权利要求1~3中任一项所述的电源装置，其特征在于，所述模拟观测值表示:从提供给所述电源端子的电压、以及经由所述电源线提供给所述电源端子的电流中所选出的任一个。
12.—种试验装置，其特征在于，所述试验装置具备:对被试验设备提供电源信号的权利要求1~3中任一项所述的电源装置。
【文档编号】G01R1/28GK103513073SQ201310256176
【公开日】2014年1月15日 申请日期:2013年6月25日 优先权日:2012年6月28日
【发明者】清水贵彦, 出川胜彦 申请人:株式会社爱德万测试