一种带应力隔离槽的压阻式压力传感器基座的制作方法

文档序号:6046065阅读:271来源:国知局
一种带应力隔离槽的压阻式压力传感器基座的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开一种带应力隔离槽的压阻式压力传感器基座,包括壳体(1),壳体(1)顶部沿轴向设有充油腔(2),充油腔(2)底部沿轴向设有贯通壳体(1)的充油孔(3),芯片(6)安装于充油腔(2)底部并位于充油孔(3)的上方,所述充油腔(2)底部设有环绕芯片(6)的应力隔离槽(5);应力隔离槽(5)为环形,且与充油孔(3)同圆心;由于在充油腔(2)底部设置了应力隔离槽(5),使芯片所处的安装位置相对独立,从而对传感器在装配与使用安装过程中产生的应力起到隔离的作用,减少应力对芯片的影响,从而减少了此类应力对传感器性能与精度的干扰,提高传感器的整体性能与精度。
【专利说明】一种带应力隔离槽的压阻式压力传感器基座
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及传感器领域,具体是一种带应力隔离槽的压阻式压力传感器基座。
【背景技术】
[0002]公知的,压阻式压力传感器的芯片被安装在基座上,在传感器的装配过程中,如充油管和引压管的焊接、充油孔打销钉或油管夹紧等工序都会产生外应力;另外在传感器的使用过程中,一般会通过螺栓拧固或其它方式连接在被测管路中,此时也不可避免的会产生外应力;而目前芯片一般安装于基座中充油孔的上方,与充油腔底面同一水平,外应力通过递延作用于芯片,对传感器的整体性能和精度都会产生一定的影响,特别是高精度、小量程的传感器受这种外应力的影响更加突出,严重时导致传感器不能正常工作。

【发明内容】

[0003]本实用新型的目的在于提供一种带应力隔离槽的压阻式压力传感器基座,该基座能够有效隔离传感器在装配与使用安装过程中对芯片产生的应力,减少此类应力对传感器性能与精度的干扰,提高传感器的整体性能与精度。
[0004]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
[0005]一种带应力隔离槽的压阻式压力传感器基座,包括壳体,壳体顶部沿轴向设有充油腔,充油腔底部沿轴向设有贯通壳体的充油孔,芯片安装于充油腔底部并位于充油孔的上方,所述充油腔底部设有环绕芯片的应力隔离槽。
[0006]进一步地,所述应力隔离槽为环形,且与充油孔同圆心。
[0007]本实用新型的有益效果是,通过在充油腔底部设置环绕芯片的应力隔离槽,使得芯片所处的安装位置相对独立,从而对传感器在装配与使用安装过程中产生的应力起到隔离的作用,减少应力对芯片的影响,从而减少此类应力对传感器性能与精度的干扰,提高了传感器的整体性能与精度。
【专利附图】

【附图说明】
[0008]下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明:
[0009]图1是本实用新型的结构示意图;
[0010]图2是本实用新型的俯视图。
【具体实施方式】
[0011]结合图1、图2所示,壳体I顶部沿轴向设有充油腔2,充油腔2底部沿轴向设有贯通壳体I的充油孔3,充油腔2底部沿圆周设有一组贯穿壳体I的引线脚4 ;芯片6安装于充油腔2底部并位于充油孔3的上方,所述充油腔2底部设有环绕芯片6的应力隔离槽5 ;应力隔离槽5为环形,且与充油孔3同圆心。[0012]由于在充油腔2底部设置了环绕芯片6的应力隔离槽5,使芯片6所处的安装位置相对独立,从而对传感器在装配与使用安装过程中产生的应力起到隔离的作用,减少应力对芯片的影响,从而减少此类应力对传感器性能与精度的干扰,提高了传感器的整体性能与精度。
[0013]以上所述,仅是本实用新型的较佳实施例而已,并非对本实用新型作任何形式上的限制;任何熟悉本领域的技术人员,在不脱离本实用新型技术方案范围情况下,都可利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰,或修改为等同变化的等效实施例。因此,凡是未脱离本实用新型技术方案的内容,依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同替换、等效变化及修饰,均仍属于本实用新型技术方案保护的范围内。
【权利要求】
1.一种带应力隔离槽的压阻式压力传感器基座,包括壳体(1),壳体(I)顶部沿轴向设有充油腔(2),充油腔(2)底部沿轴向设有贯通壳体(I)的充油孔(3),芯片(6)安装于充油腔(2)底部并位于充油孔(3)的上方,其特征在于,所述充油腔(2)底部设有环绕芯片(6)的应力隔尚槽(5) ο
2.根据权利要求1所述的一种带应力隔离槽的压阻式压力传感器基座,其特征在于,所述应力隔离槽(5)为环形,且与充油孔(3)同圆心。
【文档编号】G01L1/18GK203758656SQ201420044333
【公开日】2014年8月6日 申请日期:2014年1月24日 优先权日:2014年1月24日
【发明者】王维东, 王维娟, 谢成功 申请人:蚌埠市创业电子有限责任公司
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