一种蚀刻机托盘盖板的测量治具的制作方法
【专利摘要】一种蚀刻机托盘盖板的测量治具，包括待测铝盖板、固定底板、锁紧压板、三坐标定位用直角块，固定底板的圆柱面上两个相邻的平面与三坐标定位用直角块定位；固定底板的上平面设置有待测铝盖板，待测铝盖板的沉孔内均设置有锁紧压板；待测铝盖板为圆柱体；固定底板为圆柱体；锁紧压板为阶梯轴，阶梯轴小端的平面中心设置有通孔。本实用新型结构合理，采用了多点压紧的结构，避免了测量力引起的产品变形对测量结果的影响；锁紧压板的贴合形状及采用固定底板外形定位的方法使测量操作变得方便、可靠、快捷；固定底板两条边为重复测量的定位提供基准，保证了产品的加工质量，推广使用具有良好的经济和社会效益。
【专利说明】一种蚀刻机托盘盖板的测量治具
【技术领域】
[0001]本实用新型属于蚀刻设备【技术领域】，特别是涉及到一种LED蚀刻机托盘盖板的测量治具，适用于蓝宝石装配机构中铝盖板的测量。
【背景技术】
[0002]LED领域蓝宝石衬底图形化刻蚀工艺中，ICP蓝宝石刻蚀机在当前市场得到广泛应用，在ICP刻蚀机工作过程中，通过一套托盘和盖板机构作为蓝宝石装载、传输、刻蚀等整个工艺过程的载体，铝盖板上刻蚀区域的边缘伸出四个深度相等的台阶压在蓝宝石衬底上，蓝宝石衬底向下压缩密封圈使其变形来阻止冷气体的泄漏，蓝宝石衬底装载后的平整度、密封性对工艺效果起到关键的作用，密封圈及铝盖板上伸出的台阶需要足够小，来实现蓝宝石衬底的最大利用率，这就大大增加了托盘和铝盖板在加工上的形位误差要求，其中铝盖板伸出的台阶高度的精度定义在±0.0lmm,在使用过程中因为有多个均布的螺钉锁紧，平面度要求并不高，产品会随三坐标测量机的测力作用而翘曲、晃动，导致测量结果产生偏差，如何快速精确的对产品的尺寸进行测量变成了难题。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的是克服以上所述的问题。
[0004]本实用新型的目的是这样实现的:一种蚀刻机托盘盖板的测量治具，包括待测铝盖板、固定底板、锁紧压板、三坐标定位用直角块，其特征在于:所述的固定底板的圆柱面上两个相邻的平面与三坐标定位用直角块定位；固定底板的上平面设置有待测铝盖板，待测铝盖板的沉孔内均设置有锁紧压板。
[0005]所述的待测铝盖板为圆柱体，待测铝盖板的平面上由内到外依次设置有中心位置的沉孔、数十个圆周均布的通孔、数十个圆周均布的沉孔、数十个圆周均布的通孔、数十个圆周均布的沉孔、数十个圆周均布的通孔。
[0006]所述的固定底板为圆柱体，固定底板的平面上由内到外依次设置有中心位置的螺纹通孔、数十个圆周均布的螺纹通孔、数十个圆周均布的螺纹通孔；固定底板的圆柱面上设置有4个圆周均布的平面，任意两个相邻的平面均互成直角。
[0007]所述的锁紧压板为阶梯轴，阶梯轴小端的平面中心设置有通孔；阶梯轴圆柱面上设置有4个圆周均布的凹槽。
[0008]所述的三坐标定位用直角块的两个支脚上设置有数个与三坐标测量机台面孔位对应的沉孔。
[0009]所述的待测铝盖板的材质采用铝板。
[0010]本实用新型结构合理，采用了多点压紧的结构，避免了测量力引起的产品变形对测量结果的影响；锁紧压板装配锁紧后，铝盖板底面与固定底板贴实，解决薄片状铝盖板结构的高精度测量问题，锁紧压板的贴合形状及采用固定底板外形定位的方法使测量操作变得方便、可靠、快捷；固定底板两条边为重复测量的定位提供基准，保证了产品的加工质量，推广使用具有良好的经济和社会效益。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]图1为本实用新型的安装示意图。
[0012]图2为本实用新型的待测铝盖板俯视图。
[0013]图3为图2的A-A剖视图。
[0014]图4为图3的I放大图。
[0015]图5为本实用新型的固定底板俯视图。
[0016]图6为图5的B-B剖视图。
[0017]图7为本实用新型的锁紧压板结构示意图。
[0018]图8为本实用新型的三坐标定位用直角块结构示意图。
[0019]图中:1.待测铝盖板；2.固定底板；3.锁紧压板；4.三坐标定位用直角块。
【具体实施方式】
[0020]下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
[0021]一种蚀刻机托盘盖板的测量治具，包括待测铝盖板1、固定底板2、锁紧压板3、三坐标定位用直角块4，所述的固定底板2的圆柱面上两个相邻的平面与三坐标定位用直角块4定位；固定底板2的上平面设置有待测铝盖板1，待测铝盖板I的沉孔内均设置有锁紧压板3 ;所述的待测铝盖板I为圆柱体，待测铝盖板I的平面上由内到外依次设置有中心位置的沉孔、数十个圆周均布的通孔、数十个圆周均布的沉孔、数十个圆周均布的通孔、数十个圆周均布的沉孔、数十个圆周均布的通孔；所述的固定底板2为圆柱体，固定底板2的平面上由内到外依次设置有中心位置的螺纹通孔、数十个圆周均布的螺纹通孔、数十个圆周均布的螺纹通孔；固定底板2的圆柱面上设置有4个圆周均布的平面，任意两个相邻的平面均互成直角；所述的锁紧压板3为阶梯轴，阶梯轴小端的平面中心设置有通孔；阶梯轴圆柱面上设置有4个圆周均布的凹槽；所述的三坐标定位用直角块4的两个支脚上设置有数个与三坐标测量机台面孔位对应的沉孔；所述的待测铝盖板I的材质采用铝板。
[0022]具体实施时，I)、待测铝盖板I为厚度4mm，外径330mm的薄板，待测尺寸为
2.5±0.0lmm的台阶深度；2)、固定底板2根据待测铝盖板I的外形尺寸，选定厚度为25mm左右的铝板，精加工两个平面，两个平面的平面度、平行度分别控制在0.01mm、0.02mm,在与待测铝盖板I相对应的孔位上再加工M8螺纹孔；3)、锁紧压板3的外形与待测铝盖板I上的孔一致，尺寸控制在0.05?0.1mm间隙配合，在锁紧压板3上与待测铝盖板I上待测量的凸台区域加工出避让的凹槽，便于三坐标测量机的测针采集测量点；4)、三坐标定位用直角块4的内侧两条边垂直度要求不大于0.005_，用于重复测量时的定位。
【权利要求】
1.一种蚀刻机托盘盖板的测量治具，包括待测铝盖板(I)、固定底板(2)、锁紧压板(3)、三坐标定位用直角块(4)，其特征在于:所述的固定底板(2)的圆柱面上两个相邻的平面与三坐标定位用直角块(4)定位；固定底板(2)的上平面设置有待测铝盖板(1)，待测铝盖板(I)的沉孔内均设置有锁紧压板(3)。
2.根据权利要求1所述的一种蚀刻机托盘盖板的测量治具，其特征在于:所述的待测铝盖板(I)为圆柱体，待测铝盖板(I)的平面上由内到外依次设置有中心位置的沉孔、数十个圆周均布的通孔、数十个圆周均布的沉孔、数十个圆周均布的通孔、数十个圆周均布的沉孔、数十个圆周均布的通孔。
3.根据权利要求1所述的一种蚀刻机托盘盖板的测量治具，其特征在于:所述的固定底板(2)为圆柱体，固定底板(2)的平面上由内到外依次设置有中心位置的螺纹通孔、数十个圆周均布的螺纹通孔、数十个圆周均布的螺纹通孔；固定底板(2)的圆柱面上设置有4个圆周均布的平面，任意两个相邻的平面均互成直角。
4.根据权利要求1所述的一种蚀刻机托盘盖板的测量治具，其特征在于:所述的锁紧压板(3)为阶梯轴，阶梯轴小端的平面中心设置有通孔；阶梯轴圆柱面上设置有4个圆周均布的凹槽。
5.根据权利要求1所述的一种蚀刻机托盘盖板的测量治具，其特征在于:所述的三坐标定位用直角块(4)的两个支脚上设置有数个与三坐标测量机台面孔位对应的沉孔。
6.根据权利要求1所述的一种蚀刻机托盘盖板的测量治具，其特征在于:所述的待测铝盖板(I)的材质采用铝板。
【文档编号】G01B21/00GK203929045SQ201420349481
【公开日】2014年11月5日 申请日期:2014年6月28日 优先权日:2014年6月28日
【发明者】游利 申请人:靖江先锋半导体科技有限公司