包含波导的生物传感器的制作方法

文档序号:18684836发布日期:2019-09-13 23:48阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于处理与特征波长(λ)相关联的输入光(IL)的光学设备(110),包括:

-波导基底(130),其具有第一表面(131)和第二表面(132);

-反射结构(120),其被设置在所述基底(130)的所述第一表面上;

-穿孔结构(140),其被设置在所述基底(130)的所述第二表面上并且其包括孔(141),所述孔具有在至少一个方向上小于所述特征波长(λ)的直径(Δ),

其中,所述反射结构(120)包括在同一个组合结构内的衍射结构,所述衍射结构允许将从外部进入所述基底(130)的光衍射到所述基底(130)中并对在所述基底(130)中传播的光进行反射;

其中,所述穿孔结构(140)的所述孔(141)中的至少一个为零模式波导。

2.一种探测装置(100),包括:

-根据权利要求1所述的光学设备(110);

-光源(150),其用于将与特征波长(λ)相关联的输入光(IL)发射到所述光学设备(110)中;

-光探测器(160),其用于探测来自于所述光学设备(110)的光(FL)。

3.一种用于处理与特征波长(λ)相关联的输入光(IL)的方法,所述方法包括经由被设置在波导基底(130)的第一表面上的反射结构(120)在所述基底(130)中对所述输入光(IL)的传播,使得所述输入光到达所述基底(130)的第二表面(132)上的穿孔结构(140)的孔(141),

其中,所述反射结构(120)包括在同一个组合结构内的衍射结构,所述衍射结构允许将从外部进入所述基底(130)的所述输入光衍射到所述基底(130)中并对在所述基底(130)中传播的所述输入光进行反射;

其中,所述穿孔结构(140)的所述孔(141)中的至少一个为零模式波导。

4.根据权利要求1所述的光学设备(110),

其特征在于,所述光学设备被设计为使得在所述穿孔结构(140)的所述孔(141)处发生所述输入光(IL)的相长干涉。

5.根据权利要求1所述的光学设备(110),

其特征在于,所述衍射结构包括相位光栅。

6.根据权利要求1所述的光学设备(110)或者根据权利要求3所述的方法,

其特征在于,所述波导基底(130)包括电介质层。

7.根据权利要求1所述的光学设备(110)或者根据权利要求3所述的方法,

其特征在于,所述穿孔结构包括线栅(140)。

8.根据权利要求1所述的光学设备(110)、根据权利要求2所述的探测装置(100)或者根据权利要求3所述的方法,

其特征在于,所述输入光(IL)是偏振的。

9.根据权利要求8所述的光学设备(110)、探测装置(100)或者方法,

其特征在于,所述输入光(IL)是偏振的,使得偏振方向垂直于小于所述特征波长(λ)的所述直径(Δ)的方向。

10.根据权利要求1所述的光学设备(110)或者根据权利要求3所述的方法,

其特征在于,所述穿孔结构(140)包括专用物体,所述专用物体定位在所述穿孔结构的外部上,使得它们能够被要被处理和/或检查的介质进入。

11.根据权利要求10所述的光学设备(110)或者方法,所述专用物体是探测探针。

12.根据权利要求11所述的光学设备(110)或者方法,所述探测探针是核苷酸序列。

13.将根据权利要求1所述的光学设备(110)或根据权利要求2所述的探测装置(100)用于核酸测序、分子诊断和/或生物样本分析的用途。

14.对根据权利要求1所述的光学设备(110)或根据权利要求2所述的探测装置(100)用于化学样本分析和/或食品分析的使用。

15.对根据权利要求1所述的光学设备(110)或根据权利要求2所述的探测装置(100)用于法医分析的使用。

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