一种无尘车间内空气分析方法及系统的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种无尘车间内空气分析方法及系统，在所述无尘车间内设置多个采样点；在所述各采样点处进行外气采样、及空气进入所述过滤器的过滤出口之前和之后的采样；对所采样空气样本进行元素分析；对所述元素分析获得的数据进行与标准数据的比对及监控，对监控发现的异常数据并进行管理改善和处理；本发明保证产线内空气中SO4情况被管理，以预防因其超管理线而导致的产品信赖性失效。
【专利说明】 一种无尘车间内空气分析方法及系统
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体制造【技术领域】，特别是涉及一种无尘车间内空气分析方法及系统。
【背景技术】
[0002]现有半导体无尘车间内，需要对空气进行过滤净化，但目前缺乏有效的空气分析，往往使得空气中S04含量超标，会导致产品良率降低。
【发明内容】
[0003]鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种无尘车间内空气分析方法及系统，解决上述现有技术中无尘车间空气过滤缺少配套分析使得产品良率降低的问题。
[0004]为实现上述目标及其他相关目标，本发明提供一种无尘车间内空气分析方法，所述无尘车间内设有过滤器，所述方法包括:在所述无尘车间内设置多个采样点；在所述各采样点处进行外气采样、及空气进入所述过滤器的过滤出口之前和之后的采样；提供元素分析设备对所采样空气样本进行元素分析；对所述元素分析获得的数据进行与标准数据的比对及监控，对监控发现的异常数据并进行管理改善和处理。
[0005]可选的，所述提供元素分析设备以对所采样空气样本进行元素分析，包括:在所述采样分析设备对与所述标准数据对应的用来分析用的标准溶液进行配比、安装和测试以确保所述分析数据的准确性，进而对采样进入设备的样本进行定性和定量分析。
[0006]可选的，所述元素包括S04。
[0007]为实现上述目标及其他相关目标，本发明提供一种无尘车间内空气分析系统，所述无尘车间内设有过滤器，所述系统包括:多个空气采样装置，分别设置于所述无尘车间内所预设的多个采样点处，用于进行外气采样、及空气进入所述过滤器的过滤出口之前和之后的采样；元素分析设备，用于对所采样空气样本进行元素分析，并对所述元素分析获得的数据进行与标准数据的比对及监控，对监控发现的异常数据并进行管理改善和处理。
[0008]可选的，所述空气采样装置包括采样管。
[0009]可选的，所述采样管长度为100m。
[0010]可选的，所述提供元素分析设备以对所采样空气样本进行元素分析，包括:在所述采样分析设备对与所述标准数据对应的用来分析用的标准溶液进行配比、安装和测试以确保所述分析数据的准确性，进而对采样进入设备的样本进行定性和定量分析。
[0011]可选的，所述元素包括S04。
[0012]如上所述，本发明提供一种无尘车间内空气分析方法及系统，在所述无尘车间内设置多个采样点；在所述各采样点处进行外气采样、及空气进入所述过滤器的过滤出口之前和之后的采样；对所采样空气样本进行元素分析；对所述元素分析获得的数据进行与标准数据的比对及监控，对监控发现的异常数据并进行管理改善和处理；本发明保证产线内空气中S04情况被管理，以预防因其超管理线而导致的产品信赖性失效。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]图1显示为本发明的无尘车间内空气分析方法的一实施例的流程示意图。
[0014]图2显示为本发明的无尘车间内空气分析系统的一实施例的结构示意图。
[0015]元件标号说明:
1-无尘车间；
2-过滤器；
3-空气分析系统；
31-空气采样装置；
32-元素分析设备；
S1—S4-方法步骤。
【具体实施方式】
[0016]以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的【具体实施方式】加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0017]如图1所示，本发明提供一种无尘车间内空气分析方法，无尘车间不同级别空气洁净度的空气过滤器的选用、布置要点:对于300000级空气净化处理，可采用亚高效过滤器代替高效过滤器；空气洁净度100级、10000级及100000级的空气净化处理，应采用初、中、高效过滤器三级过滤器；中效或高效空气过滤器宜按小于或等于额定风量选用；中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节的正压段；高效或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统的末端。所述无尘车间可以是电子半导体制备及封装作业的用途，里面设有半导体制造的产线。
[0018]所述方法包括:
步骤S1:在所述无尘车间内设置多个采样点；在一实施例中，各个采样点覆盖整个车间产线；
步骤S2:在所述各采样点处进行外气采样、及空气进入所述过滤器(MAU)的过滤出口之前和之后的采样；
步骤S3:提供元素分析设备对所采样空气样本进行元素分析；
步骤S4:对所述元素分析获得的数据(SPEC)进行与标准数据的比对及监控，对监控发现的异常数据并进行管理改善和处理。在一实施例中，所述分析数据可形成图表，例如，纵轴是成分含量，横轴是时间等；并且对应各种不同气体成分均有不同图线例如折线等。
[0019]在一实施例中，所述提供元素分析设备以对所采样空气样本进行元素分析，包括:在所述采样分析设备对与所述标准数据对应的用来分析用的标准溶液进行配比、安装和测试以确保所述分析数据的准确性，进而对采样进入设备的样本进行定性和定量分析。
[0020]在一实施例中所述元素，包括S04 ;当然还可能包括氯气等。
[0021]如图2所示，本发明提供一种无尘车间I内空气分析系统3，所述无尘车间I内设有过滤器2，需说明的是，所述系统3实施例的技术原理与前述实施例相类似，上述实施例中的技术特征均可应用于所述系统3实施例中，因此不再对相同的技术细节作重复赘述。
[0022]所述系统3包括:多个空气采样装置31，分别设置于所述无尘车间I内所预设的多个采样点处，用于进行外气采样、及空气进入所述过滤器2的过滤出口之前和之后的采样；元素分析设备32，用于对所采样空气样本进行元素分析，并对所述元素分析获得的数据进行与标准数据的比对及监控，对监控发现的异常数据并进行管理改善和处理，其例如为气体检测仪，质谱仪等。
[0023]在一实施例中，所述空气采样装置31包括采样管。
[0024]在一实施例中，所述采样管长度为100m。
[0025]在一实施例中，所述提供元素分析设备32以对所采样空气样本进行元素分析，包括:在所述采样分析设备对与所述标准数据对应的用来分析用的标准溶液进行配比、安装和测试以确保所述分析数据的准确性，进而对采样进入设备的样本进行定性和定量分析。
[0026]在一实施例中，所述元素包括S04。
[0027]综上所述，本发明提供一种无尘车间内空气分析方法及系统，在所述无尘车间内设置多个采样点；在所述各采样点处进行外气采样、及空气进入所述过滤器的过滤出口之前和之后的采样；对所采样空气样本进行元素分析；对所述元素分析获得的数据进行与标准数据的比对及监控，对监控发现的异常数据并进行管理改善和处理；本发明保证产线内空气中S04情况被管理，以预防因其超管理线而导致的产品信赖性失效。
[0028]上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属【技术领域】中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。
【权利要求】
1.一种无尘车间内空气分析方法，所述无尘车间内设有过滤器，其特征在于，所述方法包括: 在所述无尘车间内设置多个采样点； 在所述各采样点处进行外气采样、及空气进入所述过滤器的过滤出口之前和之后的采样； 提供元素分析设备对所采样空气样本进行元素分析； 对所述元素分析获得的数据进行与标准数据的比对及监控，对监控发现的异常数据并进行管理改善和处理。
2.根据权利要求1所述的无尘车间内空气分析方法，其特征在于，所述提供元素分析设备以对所采样空气样本进行元素分析，包括:在所述采样分析设备对与所述标准数据对应的用来分析用的标准溶液进行配比、安装和测试以确保所述分析数据的准确性，进而对采样进入设备的样本进行定性和定量分析。
3.根据权利要求1所述的无尘车间内空气分析方法，其特征在于，所述元素包括S04。
4.一种无尘车间内空气分析系统，所述无尘车间内设有过滤器，其特征在于，所述系统包括: 多个空气采样装置，分别设置于所述无尘车间内所预设的多个采样点处，用于进行外气采样、及空气进入所述过滤器的过滤出口之前和之后的采样； 元素分析设备，用于对所采样空气样本进行元素分析，并对所述元素分析获得的数据进行与标准数据的比对及监控，对监控发现的异常数据并进行管理改善和处理。
5.根据权利要求4所述的无尘车间内空气分析系统，其特征在于，所述空气采样装置包括采样管。
6.根据权利要求5所述的无尘车间内空气分析系统，其特征在于，所述采样管长度为10m0
7.根据权利要求4所述的无尘车间内空气分析系统，其特征在于，所述提供元素分析设备以对所采样空气样本进行元素分析，包括:在所述采样分析设备对与所述标准数据对应的用来分析用的标准溶液进行配比、安装和测试以确保所述分析数据的准确性，进而对采样进入设备的样本进行定性和定量分析。
8.根据权利要求4所述的无尘车间内空气分析系统，其特征在于，所述元素包括S04。
【文档编号】G01N33/00GK104459059SQ201510005253
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2015年1月7日 优先权日:2015年1月7日
【发明者】卞正凤 申请人:海太半导体（无锡）有限公司